Варт

Номер патента: 1507865

Опубликовано: 15.09.1989

Авторы: Варт, Корпачева

МПК: C23F 1/02, C23F 1/44

Метки: металлосодержащих, покрытий, раствор, толстопленочных, травления

...наблюдать по появлению на пробель ных участках блестящей полированной поверхности подложки. Об окончании процесса травления судят по времени травления (2-3 мин) и по полному вскрытию полированной поверхности под 15 ложки в местах стравленного покрытия, По окончании травления плату промывают сначала погружением в емкость с водой (для сбора травителя, содержащего растворенное азотнокислое сереб ро), а затем под струей проточной воды для удаления остатков травителя, после чего плату высушивают.Составы опробованных растворов для травления, а также результаты травле ния в этих растворах представлены в табл,1.Из данных табл.1 видно, что время травления покрытия толщиной 10-15 мкм составляет 2-5 мин, а величина подтрава пленочных элементов...