Устройство для химической резки кристаллов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистическик Республик(22) Заявлено 250679 (21) 2785487/29-33 (51)М. КЛ. С ПРИСОЕДИНЕНИЕМ ЗаЯВКИ Йо(23) Приоритет В 28 0 5/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(53) УДК 679. 8. .053(088.8) Дата опубликования описания 15,1281(72) Авторы изобретения Б,З. Балан, А.Д. Евпрев, И.К. Засимчук В,И, Коробка, Д.Е. Овсиенко и А.В. Ф С Р и Оиытйоен титурЗ";," "А Институт металлофиз конструкторско-технметаллофизики А ки АН Украинск логическое бюр Украинской СС(71) Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ РЕЗКИ КРИСТАЛЛОВ и 20 станину 1,на сталлодержа о содержновлены Изобретение относится к устройствам для резки кристаллов и можетбыть использовано для приготовленияобразцов для изучения физическихсвойств материалов и их структурыс помощью электронной микроскопии ирентгенографических методов,Известно устройство для химическорезки монокристаллов, содержащеекристаллодержатель,. механизм подачикристаллодержателя с электродвигателем подачи, режущую струну, соединенную с системой смачивания струнытравильным раствором, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещения режущей струны 1.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсяустройство для химической резки кристаллов, содержащее станину, на которой смонтированы кристаллодержательс механизмом его подачи, каретку скоромыслом, на котором закрепленарежущая струна, стол с установленными на нем системой смачивания режу 2щей струны и привод каретки 2);Недостатком известных устройствявляется то, что они не обеспечиваютысркого качества поверхности реза,еобходимого для некоторых физических 3 исследований, в результате перемеще-,ния режущей струны и монокристалла внаправлении, перпендикулярном плоскости реза и неравномерного смачивания струны травильным раствором.Цель изобретения - повышение качества поверхности реза.Поставленная цель достигается тем, что устройство для химической резкикристаллов, содержащее станину, на которой смонтированы кристаллодержатель с механизмом его подачи, каретку с коромыслом, на котором закреплена режущая струна, стол с установленными на нем системой смачивания режущей струны и привод каретки, оно снабжено установленными на столе гребенками, стабилизирующими положение струны относительно базирующих поверхностей кристаллодержателя и механизмом коррекции положения гребенок относительно кристаллодержателя, а стол установлен с воэможностью перемещения относительно кристалла.На фиг. 1 изображено предлагаемое удтройство, на фиг, 2 - вид А на фиг. 1, на фиг, 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.Устройствиткоторой уста крися в поступательное перемещениекристаллодержателя 2. Коромысло 12весовой системы по мере резки монокристалла нли опускается нз первоначального положения под действием усилия контакта, определяемого грузом15, или поднимается за счет перемещения монокрнсталла. При этом возникает сигнал разбаланса на датчике 14подачи. Сигнал через электронный усилитель поступает на электродвигатель,5, который перемещает монокристалли возвращает коромысло 12 в первоначальное положение.В процессе резки положение режуцей струны 13, а следовательно, и поверхности реза определяется двумявертикальными гребенками 20, жесткоустановленными на горизонтальном столе 4, который поджимается пружиной 18к вертикальной контактной плите 9 иупирается в нее упорами 19. Поскольку вертикальная плита 9 жестко связана с горизонтальной плитой 9, на ко-.торой установлен кристаллодержатель2, режущая струна 13 повторяет всевозможные перемещения разрезаемогокристалла в направлении, перпендикулярном плоскости реза, Корректировкавзаимного положения струны 13, стола4 и кристаллодержателя 2 обеспечивается воэможностью поворота стола 4в подшипниковых узлах 16 и 17, установленных на станине 1.Возможны также н другие вариантыосуществления корректировки взаимного положения струны 13 и кристаллодержателя 2. В частности тот же эффект можно получить, если Узел 17с вертикальной осью закрепить накрнсталлодержателе 2,Таким образом, при условии высокой чистоты поверхности контактнойвертикальной плиты, поверхности направляющих гребенок, точности устаковки зазора в гребенках и правильности заполнения ванн травильнымраствором, достигается повышениечистоты поверхности реза, так какпреддагаемое устройство значительноуменьшает относительные смецениямонокристалла и струны в направлении,поперечном плоскости реза. Устройство для химической резки кристаллов, содержащее станину, на которой смонтированы кристаллодержатель с механизмом его подачи, каретку с коромыслом, на котором закреплена режущая струна, стол с установленными иа нем системой смачивания режущей струны, и привод каретки, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,а. тель 2 с механизмом его подачи, каретка 3 и горизонтальный стол 4.Механизм подачи кристаллодержателя 2 состоит из электродвигателя 5, редуктора б, штока 7, горизонтальной плиты8 и жестко связанной с ней верти".кальной контактной плиты 9. Каретка3 связана с электродвигателем 10посредством реечной передачи 11. Каретка 3 несет коромысло 12 весовойсистемы, на котором закреплена режу-щая струна 13, датчик 14 подачи игруз 15 для приведения системы в равновесие и установки необходимого усилия контакта струны 13 и кристалло"держателя 2,Горизонтальный стол 4 соединен состаниной 1 посредством двух подшипниковых узлов 1 б и 17, предназначенныхдля корректировки взаимного положениястола 4 и кристаллодержателя 2. Стол4 поджат к плите 9 пружиной 18 посредством двух упоров 19. На столе 4жестко закреплены две вертикальныегребенки 20, состояцие иэ двух алундорых трубок 21 и установлены с возможностью поворота вокруг вертикальной оси для регулирования зазора между вырубками 21,УстРойство содержит систему смачивания 22 режущей. струны, режущаяструна 13 заводится в направляющиегребенки 20 и канавки 23 роликов 24,где она проходит на расстоянии 12 мм от наружной поверхности роликов24, не касаясь канавки 23.Устройство работает следующим образом.В систему смачивания 22 заливается соответствуюций травильный раствортаким образом, чтобы ролики 24 былипогружены в него на три четверти своей высоты, что позволяет нри ширинекольцевой канавки 23 мм и диаметрероликов 24-30 мм заполнить канавку23 кислотой за счет капиллярных сйл.С помощью груза 15 задается усилиеконтакта режущей струны 13 и монокристалла. При этом сигнал от датчика 14 подачи устанавливается равнымО, .а коромысло 12 занимает горизонтальное положение.В процессе работы устройства реечная передача 11 преобразует вращение оси электродвигателя 10 в возвратно-поступательное перемецение каретки 3. Вместе с Кареткой 3 перемещается коромысло 12 весовой системыс закрепленной на нем режуцей отру"ной 13. Последняя, проходя черезкапиллярные кольцевые канавки 23 роликов 24, смачивается травильныараствором, залитым в ванны, и переносит его к месту реза монокристалла,.Ролики 24 совершают возвратно-вра"щательное движение, задаваемое кареткой 3, тем самьзй обеспечивается постоянное равномерное обновление тра.вильного раствора в месте реза моно 5 16 3 Ю 25 30 35 40 4 6 кристалла. Вращение оси электродвигателя 5 подачи через механизм подачи кристаллодержателя 2 преобразуетФормула изобретения889439 12 3 6 Фиг,7 целью повышения качества поверхностиреза, оно снабжено установленными настоле гребенками, стабилизирующимиположение струны относительно базирующих поверхностей кристаллодержателя и механизмом коррекции положениягребенок относительно кристаллодержателя, а стол установлен с возможностью перемещения относительнокристалла. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР Р 447288, кл. В 28 О 5/06,5 1973. 2. Авторское свидетельство СССР9 605721, кл. В 28 д 5/06,1976.889439 ВидА 3 18 Х Уровень расодоа убоине Составитель Б,МоисеевРедактор М.Бандура Техред А.Ач Корректор С. щом фПатент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 % лиал каэ 10858/31 Тираж ВНИИПИ Государ по делам иэо 113035, Москва632венноетениЖ,Подписноео комитета СССРи открытийРаушская наб., д; 4/5