Электролит для анодного окисления сложных полупроводниковых соединений а3в5

Номер патента: 553699

Опубликовано: 05.04.1977

Авторы: Козлов, Петрова, Сорокин

МПК: H01L 21/316

Метки: анодного, индийсодержащих, окисления, полупроводниковых, соединений, электролит

...не лектролита каждая из ой кислоты концентра. 17,6 44 25,2 52 290 35 до 10 до 10 до 10 А 70 10,2 2200 19,8 2800 30,0 3000 о 100 о 100 до 1000 70 60 3смеси, Каждую смесь готовят отдельно при 20 Снепосредственно перед проведением анодированияиз препаратов марки "чда",При концентрац. ях ортофосфорноме ньших 1,0 об. %, процесс анхарактеризуется невысокой скоросотсутствии ее полупроводники вокисляются.П р и м е р 2. Для полученияготовят три смеси компонентов,которых содержит 4 об, % ортофосфорЙ= 1,69 г/смэ) и отличается от други При увеличении концентрации изопропилового спирта выше 70 об, % резко возрастает сопротивление раствора, в результате чего образуется неравномерный по толщине окснд.При уменьшении концентрации резко снижается...

Номер патента: 1840202

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Алехин, Емельянов, Лаврищев

МПК: H01L 21/306

Метки: iiiвv, анодного, окисления, полупроводников, типа, электролит

1. Электролит для анодного окисления полупроводников типа АIIIВV, содержащий органический растворитель, кислородосодержащую и электропроводную составляющую, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров границы раздела полупроводник - анодный окисел, электролит дополнительно содержит четыреххлористый углерод в количестве 5-15 вес.%.2. Электролит по п.1, содержащий органический растворитель, пирофосфорную кислоту, отличающийся тем, что электролит дополнительно содержит четыреххлористый углерод при следующем соотношении компонентов, вес.%:Пирофосфорная кислота 0,3-3,0Четырехлористый углерод 5-15Растворитель остальное

Номер патента: 1840203

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Алехин, Емельянов, Лаврищев

МПК: H01L 21/316

Метки: анодного, галогенсодержащих, окисления, пластин, полупроводниковых, электролитах

1. Способ анодного окисления полупроводниковых пластин в галогенсодержащих электролитах путем подачи положительного напряжениян на окисляемую пластину, отли-чающийся тем, что, с целью повышения качества окисления, перед подачей положительного напряжения на пластину в непосредственной близости от нее генерируют галоген-радикалы путем подачи отрицательного напряжения 3-10 В на пластину или на дополнительно вводимый электрод.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что отрицательное напряжение, поданное на пластину, выдерживают в течение 5-60 с, после чего полярность меняют.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что отрицательное напряжение на дополнительно вводимый электрод подают в...

Номер патента: 33134

Опубликовано: 30.11.1933

Автор: Щербаков

МПК: C25B 1/00

Метки: анодного, металлов, окисления, продуктов, солей, щелочных, электролитического

...анодную реакцию, не исполь. зуется. Кроме того, энергичное окислительное действие тока сильно разру- (174) шает анод, загрязняет электролит и затрудняет тем самым процесс. Существующие способы совместного использования катодного и анодного процессов состоят в применении диафрагм. Однако они не позволяют избежать взаимного переноса ионов из катодного пространства в анодное и в обратном направлении от, анода к катоду;,более удачйым с этой точки зрения является применение сдвоенных диафрагм, как напр. в аппаратах типа Финлея, однако, область применения их весьма ограничена, так. как создает необходимость применения общего исходного электролита, приливаемого в междудиафрагменное пространство.Предлагаемый способ электролитического окисления...

Номер патента: 43460

Опубликовано: 30.06.1935

Автор: Жуков

МПК: H01G 9/045

Метки: алюминия, анодного, конденсаторов, окисления, электролитических

...раствора аммиака от пяти тысячных грамма, до одного грамма, или без него, и с добавлением органических кислот, как например, лимонной, винной, щавелевой, молочной или же их амми ачных, натриевых или калиевых солей в количестве от пяти тысячных грамма до до одного грамма, или же без добавления указанных кислот и солей, а также с добавлением углекислых солей аммония или калия, или натрия, или же без них, при температуре от пятидесяти градусов Цельсия и выше.Для этой же цели применим раствор соединений молибденовой и вольфрамовой кислот с фосфорной, кремневой, борной или мышьяковой кислотой и аммонийных натриевых или калиевых солей этих соединений в концентрациях от пяти тысячных грамма до одного грамма на литр, одних или же с...