Манипулятор, работающий в герметизированном объеме

)5 В 25 3 21/00/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЪТИПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) МАНИПУЛЯТОР, РАБОТАЮЩИЙ ВГЕРМЕТИЗИРОВАННОМ ОБЪЕМЕ(57) Изобретение относится к мациностроению, в частности к манипуляторам и про.Ы 2 1604609 А 1 мышленным роботам, работающим в герметиэированном объеме, и может быть использовано в технологических процессах изготовления электронных приборов и обработки радиоактивных, токсичных и взрывчатых веществ, осуществляемых в высоком вакууме, а также для осуществления ряда дистанционно - управляемых технологических процессов в открытом космосе. Целью изобретения является повышение производительности за счет возможности работы с несколькими иэделиями и повышение чистоты технологических процессов эа счет ис1604609 5 10 15 20 30 351 выполнен бурт 27. ключения попадания в зону обслуживания продуктов трения. Манипулятор содержит крышку 1 вакуумной камеры, исполнительный орган 3, винтовые механизмы ввода поступательного, вращательного и кача- тельного движений. Исполнительный орган выполнен в виде стакана 3, установленного с воэможностью вращения по полой штанге 4, внутри которой помещен шток 9 с платформой 10, связанной тягами 13 с основным и дополнительными предметными столикаИзобретение относится к машиностроению, в частности к манипуляторам и промышленным роботам, работающим в герметиэированном объеме, и может быть использовано в технологических процессах изготовления электронных приборов и обработки веществ, осуществляемой в высоком вакууме, а также для осуществления ряда дистанционно управляемых технологических процессов.Цель изобретения - повышение производительности за счет возможности работы с несколькими изделиями и повышение частоты технологических процессов за счет исключения попадания в зону обслуживания продуктов трения.На фиг. 1 изображен манипулятор, продольный разрез; на фиг. 2 - , разрез А-А на фиг, 1; на фиг.3 - разрез Б - Б на фиг. 1; на фиг."4 - узел 1 на фиг. 2,Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержит крышку 1 вакуумной камеры, которая герметично соединена с корпусом 2, исполнительный орган, выполненный в виде стакана 3, свободно установленного на полой штанге 4 и зафиксированного на ней от продольного перемещения двумя кольцами 5 и 6, смонтированными на полой штанге 4 над торцами стакана 3. На торцовой части стакана 3 выполнены пазы для установки основного и дополнительных предметных столиков 7, Предметные столики установлены на элементах крепления, например на осях 8, ввинченных в пазы стакана 3, т.е. образуют со стаканом 3 шарнирное соединение. Оси 8 шарниров расположены в одной плоскости, перпендикулярной оси штока 9, на котором закреплена платформа 10 с помощью колец 11 и 12,Платформа 10 связана с каждым из предметных столиков 7 двумя расположенными один относительно другого крест-нами 7, закрепленными в пазах торцовой части стакана 3 на осях, расположенных в плоскости, перпендикулярной оси штока 9, причем стакан 3 связан с механизмом ввода вращательного движения, полая штанга связана с механизмом ввода поступательного движения, шток 9 связан с механизмом ввода качательного движения. Стакан 3 свободно установлен на полой штанге 4 между двумя кольцами 5 и 6, ограничивающими его продольное перемещение. 1 з.п.ф - лы, 4 ил. кресттягами 13. Концы одной иэтяг 13 каждой пары присоединены к низу платформы 10 и к верху предметного столика 7, а концы другой тяги 13 этой пары присоединены, наоборот, к верху платформы 10 и низу предметного столика 7. Шток 9 проходит внутри полой штанги 4, которая связана со штоком 9 пружинами 14 и 15. Стакан 3 связан с. механизмом авода вращательного движения, включающим зубчато-реечную передачу, зубчатое колесо 16 которой нарезано на конце стакана 3, установленного на корпусе 2, а две зубчатые рейки 17 установлены в корпусе 2 и на их концах выполнены резьбы, на которые навинчены рукоятки 18. Рукоятки 18 закреплены от продольного перемещения на корпусе 2 прижимными дисками 19. На входящих из корпуса 2 концах зубчатых реек 17 выполнены герметизирующие сильфоны 20. Между сильфонами 20 и рукоятками 18 установлена пружина 21. Полая штанга 4 связана с механизмом ввода поступательного движения, Механизм ввода поступательного дви 25 жения состоит из рукоятки 22, установленной на выходе полой штанги 4 из корпуса 2, герметизирующего сильфона 23, прижимного диска 24, закрепленного с помощью винтов на корпусе 2. Рукоятка 22 выполнена с внутренней резьбой, находящейся в зацеплении с резьбой на полой штанге 4, На эту же резьбу полой штанги 4 навинчена рукоятка.25 механизма ввода качательного движения, связанная через пружину 15,герметизирующий сильфон 26 со штоком 9, Яа концах зубчатых реек 17, выходящих из рукояток 18, и конце штока 9, выходящем из рукоятки 25, нанесены деления для определения величины перемещения, На штоке 9 Манипулятор работает следующим образом.1604609 А-А На предметных столиках 7 закрепляют образцы. Выводят образцы в вакуумную камеру, завинчивают крышку 1. Вакуумную камеру промывают инертным газом, затем, откачивая инертный газ, создают в камере вакуум.Вращая рукоятки 22 и 18, вводят один иэ предметных столиков 7 в зону обработки образца. Поскольку рукоятка 22 от продольного перемещения зафиксирована на корпусе 2 диском 24, при ее вращении перемещается полая штанга 4 вместе со штоком 9 и стаканом 3. Так как шток 9 и стакан 3 перемещаются одновременно, платформа 10 вместе с предметными столиками 7 совершает поступательное движение. Изменение угла наклона предметных . столиков 7 осуществляется благодаря кача- тельным движениям, При вводе качательного движения вращают рукоятку 25. Она перемещается по резьбе полой штанги 4, упирается через пружину 15 в сильфон 26, и, сжимая, его, перемещает шток 9 вместе с платформой 10. Поскольку стакан 3 с предметными столиками 7 остается на месте, то платформа 10 тянет тяги 13 за собой и поворачивает предметные столики 7. При вращении рукоятки 25 в другую сторону она упирается в бурт 27 штока 9 и вытягивает шток 9 из вакуумной камеры. Предметные столики 7 поворачиваются вокруг осей 8 в другую сторону,После обработки образца (изделия) на одном предметном столике 7 поворотом стакана 3 в зону обработки вводят другой предметный столик 7. Для этого, вращая рукоятки 18, перемещают зубчатые рейки 17, которые поворачивают стакан 3 вместе с предметными столиками 7, Герметизи;,.;ощие сильфоны 20, 23 и 26 препятствуют попаданию воздуха в вакуумную камеру.5 Формула изобретения1. Манипулятор, работающий в герметизированном обьеме, содержащий крышку вакуумной камеры, исполнительный орган, имеющий шток, установленный в стакане и 10 несущий платформу, основной предметныйстолик и приводы перемещения платформы и основного предметного столика, включающие механизмы ввода поступательного и вращательного движений, о т л и ч а ю щ и й с я 15 тем, что, с целью повышения производительности за счет возможностиработы с несколькими изделиями, он снабжен дополнительными предметными столиками, полой штангой, установленной в поло сти стакана и связанной с механизмомввода поступательного движения, и механизмом ввода качательного движения, выходное звено которого связано со штоком исполнительного органа, причем механизм 25 ввода вращательного движения выполнен ввиде зубчато-реечной передачи, зубчатое колесо которой нарезано на одном из концов стакана, а на другом его конце выполнены пазы, в которых установлены элементы 30 крепления основного и дополнительныхпредметных столиков, при этом все предметные столики связаны с платформой посредством дополнительно введенных тяг.2, Манипулятор по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что он снабжен двумя кольцами,жестко закрепленными на полой штанге над торцами стакана.Составитель А.ШиряеваТехред М.Моргентал . Корректор Э.Лончако едактор А,Козори ательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 Производстве аказ 3422 Тираж 689 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4 И