Устройство для герметизации контейнеров

(5 ЗО В З 5/ОО ИЗО ЛЬСТ роводяроводитьраэло -й в нем х токооляет ра б меще инстит ет акуумнукамерыржательержателностью Внут емые атор рия роста таллов./П возм вращения и вертКонцентратор вына, имеющего встиеОтверстиетейнераДано сющее периметрытора и контейне Мир(54) УС ТЕЙНЕРО (57) Из О етение отно емпературно ся к обласехнологии и высо Изобретение относ м 9 подъема я к высо ни елем 6 коакси азмещен водоор 10, выполериимеющего в 1, повторяю ера, На боратор 10п огрузки. щее орм онте ство эрез г 1ую ка стаью рной ст меру 1, обрканом 2, усвакуумного уплотплите металличес м тановленным ения 3 на о ого каркаса такана 2 ра а ще ружи кварцевогоВЧ-индуктор 5, вспирали иэ медно полненныи к ямоуголькамере 1 держатель с помого сеч я. В вакуумноиводоохлаждаемыйа 7, соединенный ановле нтеине ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР К А 8 ТОРСКОМУ СВИ(21) 3926551/31-26 (22) 03.07.85 (46) 23.03.90, Бюл. М 1 (71) Физико-технический им. А.Ф,Иоффе АН СССР (72) А,В.Голубков (53) 621.315,592(088,8) (56) Рост кристаллов, Т и методы выращивания крред, К,Гудмана, Т, , 1977, с. 28. РОИСТВО ДЛЯ ГЕРМЕТИЗА емпературнои технологии сое угоплавких токопроводящих м Целью изобретения является исклюение разложения и сублимации заНа фиг. 1 изображено усдля герметизации, частичныйна фиг. 2 - разрез А-А на ф ство содержит вак азованную кварц соединения тугоплавк щих материалов и поз герметизацию контейн жения и сублимации п загрузки, Устройство камеру, ВЧ-индуктор размещены водоохлажд контейнера и концент установлен на штоке кального перемещения.олнен в виде стакаонной части отверповторяет форму конотношение, связыватверстия концентраа. 2 ил,щью штока 8 со средси вращения, Над держально ВЧ-индуктору 5охлаждаемый концентрненный в виде стакандонной части отверст ковои поверхности концентимеет вертикальную сквозную р резь 12Охлаждение концентратора 10 осуществляют через вводы 13. Кварцевый стакан 2 снабжен смотровым окном 14.Устройство работает следующим образом,Герметизируемый контейнер 7 в виде цилиндрического тигля из тугоплавкого металла, например тантала, загружают веществом и закрывают крышкой из того же материала, Затем устанавливают контейнер в водоохлаждаемыйдержатель 6, Торец контейнера в месте сварного цаава помещают в отверстие 11 снцентрдторд 10 при помощи средства 9 подъема и вращения.5Пл вакуумное уплотнение 3 устанавливают кварцевый стакан 2, вакуумную камеру 1 откачивают. Затем подают напряжение высокой частоты ат ВЧ-индуктора 5 на рабочий контур.10В концентраторе 10 генерируется ток, который вызывает в зоне сварки контейнера 7 вторичный ток.После снятия мощности место расплава затвердевает и образуется непроницаемое соединение между крьццкоп и контейнером. Затем извлекают контейнер 7 из камеры 1, при этом в контейнере сохрдняется вакуум или соответствующая газовая атмосфера в зависимости от условий герметизации. Наблюдение за процессом осуществляют через смотровое окно 1 ч.Выполнение отверстия 11 в концентраторе 10, повторяющего форму торца 25 контейнера 7, необходимо для обеспечения равномерности нагрева зоны соединения и создание требуемой концентрации нагрева, Что касается соотношения между периметрами отверстия 11 и торца контейнера 7, то герметизация контейнера возможна только при соотношении периметров1,1 - 1,2Гри соотношении периметров мень 35 ше 1,1 происходит замыкание расплавленной зоны с водоохлаждаемым концентратором, При соотношении больше 1,2 возникает пробой,С помощью устройства герметизиру ют контейнеры из следуюцих материалов: молибдена, вольфрама, ниобия, тантала, рения и графита при загрузке их различными полупроводниковыми соединениями, упругость пара которыхфболее 1 О мм рт.ст. 1.ри герметизации не происходит разложения и сублимации загрузки.Устройство позволяет производить герметизацию контейнеров не только путем сварки, но и пайки.ЭормулаизобретенияУстройство для герметизации контейнеров с загрузкой, имеющей высокую упругость пара, включающее вакуумную камеру с расположенным внутри нее водоохлдждаемым держателем контейнера, выполненного из тугоплавкого токопроводящего материала и установленного с возможностью вращения вокруг вертикальной оси, и нагреватель, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью исключения разложения и сублцации загрузки, вакуумная камера снабжена водоохлаждаемым концентратором, выполненным в виде стакана из проводящего материала, имеющего в донной части отверстие, повторяющее форму торца контейнера, причем периметр его составляет 1,1-1,2 периметра торца контейнера, концентратор размещен над водсохлаждаемым держателем, который соединен со средством его перемещения в вертикальной плоскости, а нагреватель выполнен в виде ВЧ индуктора, установленного коаксиально с концентратором снаружи вакуумной камеры, 15)1750.Малец одписно ГКНТ СССР изводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул арина, 1 аказ 309 Тираж 338 НИИПИ Государственного комитета113035, Москва, Ж изобретениям и открытия Раушская наб., д, 4/5