Устройство для контроля интегральных схем

/1 г ГОСУДА ПО ДЕЛ ЛЬСТ НА и втор ка, со первым вертым за бра"дом ся, четко дом л тьим в ыхо ом устроис ж и вторым вхова, а пе тветстве о СССР1971.СССР1982. дами совторым ервым и мерительног ретьим вход ыходами ииненного лосбло ка, соевыходомка и с реключа нтакт, ходом второго ге рой выход блока с входом блока о третий выход - сустройствами чравляющими вх тока, втоя соединен ато равл напряжении,тым выходомыходы - с уп.ого коммутарнык етве етвертыеодами пер р т ров измери между собои иния является тельного блокрого соединендами первогоров, входы оп ТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССРМ ИЗОБРЕТЕКИЙ И ОТКРЫТИЙ(56); Авторское свидетельсР 376851, кл. О 06 Р 11/Авторское свидетельств9 1049912, кл, О 06 Р 11/ 54)(57) 1, УстРОйстВО дЛЯ КОнтРОля ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее первый коммутационный блок, соединенный первым и вторым сигнальными входами с первым и вторым выходами блока питающих напряжений, первым выходом . с первым выходом устройства, блок опорных напряжений, соединенный первым и вторым выходами с первым и вторым выходами измерительного блока, блок индикации, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства путем обе:печения возможности контроля качества охранных защитных) диодов, введены блок управления, блок анализа брака, реле, два генератора тока, второй коммутационный блок, а измерительный блок содержит первый и второй компараторы, первый коммутационный блок соединен вторым выходом с вторым выходом устройства, первые входы которого соединены с информационными входами второго коммутационного блока, соединенного управляющими входами с соответствующими выходами блока управления и с первыми входами блока индикации, вторые входы которого ЯО 1208555 инены соответственно с первыь выходами блока анаиненнаго третьим выхходом блока управле второго коммутационн ле, размыкающии контакт которого с единен с выходом первого генератор тока, а замыкающий контакт - с выционного блока, пятыи выход черезобмотку реле - с третьим выходомблока питающих напряжений, второйвход - с вторым входом устройстваи с третьим входом блока анализа бка, соединенного четвертым входомс шестым выходом блока управленияи с четвертым входом измерительного блока, четвертый выход блокапитающих напряжений соединен с треим сигнальным входом первого коммутационного блока, измерительныевходы первого и второго компаратоного блока соединены данная точка соедине ретьим входом измери четвертый вход котсо стробирующими вхо второго компаратоых напряжении кото1208555 рых являются соответственно первым ивторым входами измерительного блока,первый и второй выходы которого соедииены соответственно с выходами первого и второго компараторов.2. Устройство по и. 1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что блок управления содержит блок памяти, соединен.ный первым, вторым, третьим, четвертым и пятым выходами с одноименными выходами блока управления, адресными входами с выходами счетчика адреса, соединенного установочнымвходом с вторым входом блока управления, счетным входом - с выходомпервого элемента И и с входом первого одновибратора, соединенноговыходом с шестым выходом блока управления, соединенного первым входом с первым входом первого элемента И, второй вход которого соединенс выходом генератора тактовых импульсов,3. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что блок анализа брака содержит элемент ИЛИ-НЕ,соединенный выходом с третьим выходом блока анализа брака, соединенного первым и вторым выходами соответственно с первыми выходами первогои второго триггеров, вторые выходыкоторых соединены соответственно спервым и вторым входами элементаИЛИ-НЕ, четвертый выход блокаанализа брака соединен с вторым выходом второго триггера, соециненногопервым входом с первым входом перво-,го триггера и с третьим входом блокаанализа брака, соединенного вторым1Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле интегральных схем (ИС).Цель изобретения - расширение, функциональных возможностей устройст ва путем обеспечения возможности контроля качества охранных 1 защитных) диодов.На чертеже приведена блок-схема 1 О устройства. входом с вторым входом первого триггера и с входом элемента НЕ, вы- ход которого соединен с первым входом второго элемента И, соединен" ного вторым входом с первым входом блока анализа брака, третьим входом через второй одновибратор - с четвер тым входом блока анализа брака, вьг ходом - с вторым, входом второго триг. гера..4. Устройство по и, 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что второй ком. мутационный блок содержит первые клю. чевые элементы, соединенные выходами с выходом второго коммутационного блока, соединенного информационными входами с информационными входами соответствующих первых ключевых элементов, управляющие входы которых со" единены с управляющими входами второго коммутационного блока.5. Устройство по п, 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что первый ком мутационный блок содержит второй и третий коммутационные элементы, соединенные сигнальными входами с треть. им сигнальным входом первого коммутационного блока, соединенного первым и вторым сигнальными входами соответственно с сигнальными входами четвертого и пятого ключевых элементов, управляющими входами соответственно - с управляющими входами второго, третьего и четвертого ключевых элементов, первым выходом - с выходами третьего и пятого ключевых элементов, вторым выходом - с выходами второго и четвертого ключевых элементов. Устройство содержит блок 1 индикации блок 2 питающих напряжений, блок 3 опорных напряжений, измерительный блок 4, первый 5 и второй 6 комапараторы, реле 7 с обмоткой 7.1 и контактами 7,2, первый 8 и второй 9 генераторы тока, первый коммутационный блок 1 О, второй 11, четвертый 12, пятый 13 и третий 14 клю. чевые элементы, например реле, второй коммутационный блок 15, блок 161208управления, второй вход 17, счетчик 18 адреса, первый одновибратор,19, первый элемент 20 И, генератор21 тактовых импульсов, блок 22 памя.ти, блок 23 анализа брака, элемент24 НЕ, второй элемент 25 И, первый26 и второй 27 триггеры элемент28 ИЛИ-НЕ, второй одновибратор 29,.первые ключевые элементы 30.1-30.1,например, реле, четвертый 31 и тре Отий 32 выходы. На чертеже показанатакже контролируемая ИС 33,Устройство работает следующимобразом.При поступлении сигнала с входа7 происходит сброс счетчика 18 адреса триггеров 26 и 27 в блоке 16управления в исходное состояние. Приэтом на входы элемента 28 ИЛИ-НЕ поступают логические нули с выходов 20триггеров 26 и 27. Импульсы с выхода генератора 21 тактовых импульсовчерез элемент 20 И поступают на входы счетчика 18 адреса и одновибратора19, поскольку элемент 20 И открыт логической единицей, поступающей свыхода элемента 28 ИЛИ-НЕ при заполнении счетчика 18 адреса, происходитпоследовательно во времени считывание программ контроля из блока 22 З 0памяти, что обеспечивает все необходимые виды проверок ИС 33.Первоначально устройство осуществляет контроль падения напряжения (1 ) на охранных диодах. Приэтом по сигналам с блока 22 памяти 5554новибратора 19, осуществляющего согласование во времени включения измерительных цепей и монтажа измерений, В зависимости от значения выходных сигналов компараторов 5 и 6блок 23 анализа брака фиксируетрезультат измерений в триггерах 26и 27.Если контактирование выходов устройства с выводами ИС ЗЗ отсутствует, то максимальный сигнал с генератора 8 тока поступает на входы компараторов 5 и 6, которые срабатывают, и на их выходах формируются единичные импульсы в момент строба отодновибратора 19. Триггер 27 не срабатывает, так как элемент 25 И запертнулевым сигналом с элемента 24 НЕ,Триггер 26 изменяет свое состояниепо сигналу с компаратора 6, чтоприводит к прекращению подачи тактовых импульсов с генератора 21 тактовых импульсов через элемент 20 Ина счетчик 18 адреса и останову рабо"ты устройства. При этом на блоке 1индикации светятся индикаторы, указывающие вид отказа по сигналу стриггера 26 и контролируемый выводИС 33 по сигналам с выходов блока 22памяти. Для исключения гонки сигналов с выходов компараторов 5 и 6 име"ется одновибратор 29, который стробирует элемент 25 И в момент наличияна нем уже сформированных сигналовс выходов компараторов 5 и 6,происходит включение ключевогоэлемента 11 в блоке 10, который передает нулевой потенциал с блока 2питающих напряжений на подложку ИС 33ключевые элементы 12, 13 и 14 разомкнуты. В коммутационном блоке 15 поочереди включаются ключевые элементы 30.1 - 30, Ь (соответствующиевыводам, имеющим охранный диод), ичерез них осуществляется подача токазаданной величины с генератора 8 тока через контакты 7.2 реле 7 на. соответствующий ИС 33. 40 45 При наличии контакта зондов к под ложке и выводу ИС 33 в результате протекания тока генератора создается падение напряжения на охранном диоде, которое поступает на входыдвух компараторов 5 и 6 в измери-55 тельном блоке 4. Моменты работыкомпараторов 5 и 6 определяютсястробами, постугающими с выхода одПри наличии контактирования нанегодном охранном диоде в ИС 33 наэтом диоде выделяется падение напряжения больше нормы, задаваемой потехническим условиям.В этом случае компаратор 6 срабатывает,на его выходе формирует ся логический ноль, который создает на выходе элемента 24 НЕ логическую единицу. На выходе сработавшего компаратора 5 в момент строба одно- вибратором 19 формируется единичный импульс, который по стробу от одновибратора 29 проходит через элемент 25 И на вход триггера 27. Триггер 27 фиксирует отказ. На блоке индикации индицируется вид отказа по сигналу с триггера 27. С триггера 27 Формируется через элемент 28 ИЛИ-НЕ запрещающий сигнал на элемент 20 И, прекращая работу устройства.120 акаэ 289/58одписное ВНИИПИТираж 673 П Патентул.Проектная,.Ужго 3Окончание контроля контактирова-ния Фиксируется по сигналам, поступающим на выходы 31 и 32. На выход 32 поступает сигнал "Брак" с триггера 27, фиксируя брак ИС 33 и окончание контроля ИС 33. На выход 31 поступает сигнал с выхода блока 22 памяти, Фиксируя окончание программы контроля с выдачей признака годности, в случае, если все измерения по всем выводам показали годность ИС 33 и компараторы 5 и 6 не сработали. С выхода блока 22 памяти поступают сигналы на блок 3 опорных напряжений, устанавливающие полярность и величину опорных напряжений, задаваемых на блок 4. В ИС 33 охранные диоды могут иметь различную полярность по отношению к подложке, поэтому в предлагаемом устройстве предусмотрена возможность подачи различных по направлению токов с двух генераторов тока 8 и 9. Выбор генератора тока 8 или 9 осуществляется по сигналу с блока 22 памяти, поступающему на обмотку 7.1 реле 7, что приводит к 8555 Ьтому или иному вклочению его контакта 7,2,В случае проверки контактирования по выводам ИС 33, не имеющим охранных циодов, осуществляется подача напряжения на вывод питания ИС33 1,нулевой потенциал) через ключевой элемент 14, при этом ключевыеэлементы 11, 12 и 13 закрыты по10 сигналам с выходов блока 22 памяти. Проверка контактирования. в этомслучае аналогична ранее описаннойэа исключением иной формы браковкипо напряжению, падающему на р-я-пе 15 реходах ИС 33 от шины питания до кон.тактной площадки. Изменение нормыбраковки осуществляется по сигналамс выхода блока 22 памяти, поступающим на вход блока 3 опорных напря 20 жений, который изменяет величинуопорного напряжения, поступающегона вход компаратора 5,Ключевые элементы 12 и 13 предусмотрены для того, чтобы задавать25 иную полярность напряжений на выводы ИС ЗЗ (подложка и шина питания)в зависимости от вида проводимостир-канала или И -канала.