Устройство для ввода образцов из атмосферы в вакуум

(51)4 Н 0 ОБРЕТЕНИЯ ИОАН НА ИДЕТЕЛЬСТВУ СНО метОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Сумский завод электронных микроскопов им. 50-летия. ВЛКСМ(56) Фэерман В.И. и др. Вакуумный шлюз для масс-спектрометрического анализа поверхностных загрязнений, - ПТЭ, М., 1982, У 2., с. 188-189.Стоффелс и Лагергрен. Плунжерный вакуумный шлюз для масс-спектро ра, Приборы для научных исследований. М., 1969, с. 19-21.(54)(57) 1, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА ОБРАЗЦОВ ИЗ АТМОСФЕРЫ В ВАКУУМ, содержащее корпус с системой уплотнений и камерами предварительной и высоковакуумной откачки, в котором размещен шток с объектодержателем и механизм осевого перемещения штока, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, .с целью увеличения надежности и удобства в эксплуатации, шток выполнен разъемным в виде цилиндра с наружной проточкой, сопряженной с гильзой, жестко связанной со стержнем, размещенным в продольном отверстии, выполненном в цилиндре, и снабженным коническим зубчатым колесом, образующим зубчатую пару с приводом осевого перемещения гильзы.2. Устройство по п.1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что в цилиндре выполнено второе продольное отверстие, в котором размещен дополнительный стержень, соединенный одним концом через вторую зубчатую пару с приводом вращения, а другим - с . кулачком, торцовая поверхность которого выполнена с возможностью взаимодействия с толкателем, связанным системой рычагов с подпружиненным сбрасывателем образцов с объектодержателя, выполненного в виде гильзы с выступом и сквозными секторными пазами, один из которых совмещен с входом магазина-накопителя, расположенного в осевой полости штока, а выступ объектодержателя выполнен с возможностью взаимодействия с радиальной поверхностью кулачка.3. Устройство по п. 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что стержни уплотнены в цилиндре тороидальными уплотнителями.11810 Изобретение предразначено для ввода образцов из атмосферы в высоковакуумный объем и может быть использовано в приборостроении.5 20 Цель изобретения - увеличение надежности и удобства в эксплуатацииэа счет нового конструктивного решения механизма ввода и вывода образцов и выполнения штока разъемным.На фиг. 1 изображено устройстводля ввода образцов, осевое сечение;на фиг, 2 - то же, другое исполнение; на фиг. 3 - изометрическоепостроение звеньев устройс 1 ва,Устройство содержит (фиг,1) корпус 1 с системой уплотнений 2, служащих для вакуумплотного закрепления в нем штока 3, предназначенногодля перемещения иэ атмосферы в вакуум объектодержателя 4 при помощимеханизма 5 для осевого перемещения.Шток выполнен разъемным, состоящимиэ цилиндра 6 с наружной проточкой7, сопряженной с гильзой 8. Гильза 825жестко связана со стержнем 9, на другом конце которого закреплено коническое зубчатое колесо 10, образующее зубчатую пару с зубчатым колесом 11 привода 12 осевого перемещения гильзы, Механизм смены образ-, З 0цов (фиг. 2 и фиг. 3) состоит иэкулачка 13, который закреплен наконце второго стержня; 14 и торцовая поверхность которого взаимодействует с толкателем 15, связанным 35двумя рычагами 16 и 17 с подпружиненным пружиной 18 сбрасывателем19 образцов объектодержателя 4,предназначенного для хранения образцов, выполненного в виде гильзы 40с выступом 20 и сквозными секторными пазами 21 и 22, в один из которыхвходит сбрасыватель 19, а другойрасположен рядом с магазином-накопителем 23, служащим для хранения про- ф 5анализированных образцов. На другомконце стержня 14 закреплено коническое зубчатое колесо 24, которое образует зубчатую пару с зубчатым колесом 25 привода 26 вращательного движения кулачка 13. Стержни уплотненыв гильзе посредством тороидальныхуплотнителей 27.Устройство работает следующим образом. 55В момент загрузки образцов элементштока 3 (гильза 8) смещен относительно цилиндра б влево, чем обеспечива 15 гется доступ к объектодержателю 4. Образцы упорядоченно, в заданной последовательности вводятся в секторный паз 22 (фиг. 3) в верхней части объектодержателя 4, Первый образец ложится на столик, подпружиненный снизу, второй образец вводится в секторный паэ над отведенным предварительно вниз при помощи пинцета первым образцом. Третий образец, введенный вслед, располагается в объектодержателе над вторым и так далее, вплоть до загрузки последнего образца. При помощи привода 12 для перемещения гильзы 8 (фиг. 1 и 2) производится смещение гильзыдо смыкания с цилиндром 6 по плоскости разъема. Шток 3 вводится в область промежуточной откачки на форвакуум при помощи приводаи гильза 8 вновь отводится от плоскости разъема с цилиндром для откачки образцов до давления форвакуумной магистрали. Затем гильза переводится вправо, зазор между ее торцовой,поверхностью и уступом цилинд-. ра сводится к нулю, чем обеспечивается дальнейшее продвижение штока с объектодержателем 4 в высоко- вакуумный объем корпуса 1. Гильза вновь переводится в левое крайнее положение, и происходит откачка образцов на высокий вакуум. Затем осу- . ществляется подвод рабочей поверхности (торца) первого образца к фокальной плоскости - в зону действия пучка первичных ионов. Для этого от привода 26 (фиг. 2) вращение передается на зубчатую пару (колеса 24 и 25), от нее - через стержень 14 на кулачок 13. От кулачка движение передается на объектодержатель, имеющий выступ 20 (фиг. 3), связанный с радиальным профилем кулачка. При вращении кулачка происходит первоначальное передвижение объектодержателя вверх, Первый образец совмещен с плоскостью фокусирования, и производится анализ первого образца, по завершению которого дальнейшим вращением кулачка в том же направлении объектодержатель вместе с образцами движется вниз. В моменткогда совмещаются радиальный секторный паэ 21 в верхней части объектодержателя и сбрасыватель 19, последний полу - чает перемещение от торцовой по.г верхности кулачка через систему двух плоских рычагов 16 и 17 (фиг. 3) и толкателя 15, входит в секторный паз 21 и выталкивает через секторный паэ 22 образец из объектодержателя в магазин-накопитель 23.После этого второй образец становится на место первого образца и осуществляется новый цикл перемеще,ний и анализа,По завершении анализа всех образ-.цов шток 3 при сомкнутых по плоскости разъема гильзе и цилиндревыводится из области высокого ва куума, минуя остановку в областипромежуточной откачки, в атмосферу,и производятся вывод проанализированных образцов из магазина-на,копителя и загрузка в объектодержатель второй партии образцов1181015 Составитель В. Чальактор О. Бугир Техред М.Пароцай орректорА. Зимокос Филиал П 1 П 1 "Патент", г. Ужгород, ул. Проектна аз 5938/54 Тираж 678 ВНИИПИ Государственн по делам изобрете 113035, Москва, Ж - 35, Подписноего комитета СССРий и открытийаушская наб., д. 4/5