Способ измерения макрорельефа поверхности объекта

(59 4 С 01 В 11/309 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ии институ Ю.И.Островский,менова и И.В.Щит 8) Бутусов М,М., ографическая инНаука, 1977,(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА(57) Изобретение отнотельной технике, в чарению макрорельефа пота. Цель изобретенияточно и измерения за МАКРОРЕЛЬЕФА ится к измер тности к изм К ерхности объ повьппение счет суженияст СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(56) Островский Ю.Островская Г.В. Готерферометрия, - Мс. 277-283, 285-28Там же, с. 283 интерференционныхполос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта, Помещают объект 7 в кювету 5 с иммерсионной средой 6, голограмму экспонируют предметным и опорным пучками света многократно (три и более раз), причем показатель и преломления иммерсионной среды при каждом последующем экспонировании выбирают из соотношения п=п,+(Е)ьп, где и, - показатель йреломления среды при 1-м экспо нировании, 1 - порядковый номер экспонирования, ап - изменение показателя преломления. Каждое последующее экспонирование голограммы осуществляют с экспозицией 1предметной волны определяемой из соотношеУния 1=1, (11-1) 1/ (1 с) 1 (Ис) 11, где Н - полное число экспозиций, 1, экспозиция предметной волны при 1-м экспонировании. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.1 13Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению макрорельефа поверхности объекта.Цель изобретения - повышение точности измерения за счет сужения интерференционных полос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта,На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения макрорельефа поверхности объекта.Устройство содержит последовательно установленные лазер 1, светоделительную пластину 2,зеркало 3, фотопластину 4 для записи голограммы вовстречных пучках, кювету 5 с иммерсионной средой 6 в виде жидкости илигаза,Способ осуществляют следующим об- разом.Объект 7 помещают в кювету 5 с иммерсионной средой 6, Излучение от лазера 1 делится светоделительной пластиной 2 на два луча, один из которых проходит через нее к фотопластине 4, отражаясь от зеркала Э, и далее к объекту 7, а другой, отража- ясь от пластины 2, проходит к объекту 7, После первой экспозиции изменяют показатель преломления иммерсионной среды 6 в кювете 5, в которую помещают исследуемый объект 7. Затеи Делают вторую экспозицию и снова изменяют показатель преломления среды 6. Делают третью экспозицию и т.д. При каждом Е-м экспонировании показатель преломления иммерсионной среды 6 выбирают из соотношенияп=п,+(1 с)дп,где.п, - показатель преломления среды при 1-м экспонировании;- порядковый номер экспониро.вания;п - изменение показателя преломленияВ соответствии с этим соотношением показатель преломления среды 6 перед каждой экспозицией изменяют на одинаковую величину Ьп, которая определяет цену интерференционных полос на контурной карте.При многократном экспонировании голограммы с равными экспозициями как опорной, так и предметной волн интерференциоиные полосы существенно сужаются. Однако при этом на контурной карте возникают промежуточные 15802 2интерференционные максимумы, которыев отдельных случаях могут служитьпомехой при расшифровке интерферограмм. С целью их ослабления каждоеэкспонирование голограммы можно осуществлять с экспозицией 1 предметной волны, отвечающей соотношению(к1 к 1 Чили 1 (11- 1 ) 1 к(1, 1)1(1 1)1 где М - полное число экспозиций;1 - экспозиция предметной волны 15 при 1-м экспонировании,аФ 1 (ц выбирается из предполагаемого числа М экспозиций так, чтобы (И+1)-я экспозиция мало влияла на ширину голос).Формула изобретения1. Способ измерения макрорельефаповерхности объекта, заключающийся в25том, что помещают объект в иммерси-.онную среду, производят экспонирование голограммы поверхности, изменяютпоказатель преломления иммерсионнойсреды, вновь производят экспонирование голограммы поверхности, восстаЗ 0 навливают интерференционную контурную карту поверхности объекта и измеряют макрорельеф поверхности, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения,35 осуществляют по крайней мере ещеодно экспонирование голограммы поверхности, а показатель и преломления иммерсионной среды при каждомпоследующем экспонировании выбирают40 из соотношенияп=п+(1 с)р,п,где и, - показатель преломления сре-ды при 1-м экспонировании,порядковый номер экспониро 45 вания;Ьп - изменение показателя преломления,2. Способ по п. 1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что каждое последующее экспонирование голограммыосуществляют с экспозицией 1 к предметной волны, определяемой из соотношениягде И - полное число экспозиций;1, - экспозиция предметной волны на при 1-м экспонировании.