Установка для нанесения покрытий из газовой фазы

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОВСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сфюэ Сове тсннкСфцналнстнчесникРеспублик(5 З) Д ( 621.793. . 16(088.8) Опубликовано 07,03.83, Ьюллетень М 9 Дата опубликования описания 10.03.83 Ф) Заявител есоюзный на технопогичес ватель пр кабельной пром и инсти 54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫЫТИ тж- елий гат терн алытолькоксплуаси Изобретение относится к области на- ф тему продувки реагентов, газовые эатво-. несения покрытий, в частности, к уста- ры, токоподводы, приемное. и отдающее новкам для нанесения металлических и устройство 2. неорганических покрытий осаждением из В этой установке с обеих сторон газовой фазы на движущиеся проволочные реактора установлены попые перфорирои ленточные изделия, и может быть ж5 ванные внутри камеры продувки реагенпользовано в металлургии, электротехни- тов с печами нагрева и блоки контактных ческой промышленности, космической роликов (токоподводов), благодаря кото- нике и других отраслях техники для п рым созданы относительно благоприятные чения ленточных и проволочных изд условия равномерного нагрева изделия, с жаростойкими сверхпроводяшими, туго О Однако указанная установка, как и нлавкнми, защитными и другими покрытия другие известные установки аналогичного мие типа, имеет недостаточную эксплуатаИэвестна установка для нанесения по- ционную надежность, В частности, уже крытий из газовой фазы, содержащая при неболыпих забивках отверстий в катрубчатый реактор. систему продувки 1 мере вывода реагентов (или соответствую. зообразных реагентов, токоподводы, при- щего штуцера) в реакторе создается иземно-отдающее устройство и газовые быточное давление, достаточное для прозатворы1). никновения наро-газовой смеси в блокиНаиболее близкой к изобретению поконтактных роликов и приемно-отдающего20ехнической сущности и достигаемому ре- устройства, что обуславливает коррозионзультату является установка для нанесения ное воздействие на изделия и ма покрытий иэ газовой фазы, содеркащая смотровых окон. При этом не вертикально расположенный реактор с улучшаются хсловии дальнейшей эщим газом.Целью изобретения является повышение эксплуатационной надежности, расширение технологических возможностей и улучшение качества получаем х покрытий.2404 ф зуют омедненные стальные окатьгши илипроволочные обрезки. В установке система продувки реагентов образована штуцерами, секционной обечайкой, расположенной вокруг реактора, и отверстиямив стенках реактора, расположенными равномерно по его высоте, а приемное и отдающее устройства размещены на однойоси,Предложенная установка показана начертеже.Она состоит из реактора, включающеговерхнюю и нижнюю соединительные камеры 1 и 2, с приводными роликами 3 иштуцерами 4 газовых затворов, стаканов5 с засыпкой 6 из метвллокомпозиционнсъго гранулированного материала, размещенных в рабочем зазоре электромагнитов 7,электрически изолированных от остальныхчастей установки с помощью прокладок 8,реактора 9, выполненного из двух колен,системы продувки реакторов включающейсекционные обечайки 10, расположенныевокруг каждого колена реактора 9, штуцера 11 и отверстия 12 в стенках реактора 9, кассеты 13 и 14 приемного иотдающего устройств, расположенных наодной оси. Реактор 9 помещен в теплоизолированный корпус 15.Установка работает следующим образом.После заправки покрываемой подложки-ленты или проволоки 16 установкугерметизируют, продувают инертным газом и газом-восстановителем, после чего с помощью приводных рынков 3 иприемной кассеты 13 подложку 16 перемешают с заданной скоростью, Подачейэлектрического напряжения на клеммыэлектромагнитов 7 задают определенноеприжатие магнитных гранул к подложке,после чего с помощью внешних исгочников (на чертеже не показаны) осудествМ 25 36 35 е4 О 45 50 55 Поставленная йель достигается тем, что в установке для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащей вертикально расположенный реактор, систему продувки реагентов, газовые затворы, токоподводы, приемное и отдающее устройства, реактор выполнен из двух колен, герметизированных с обеих сторон соединительными камерами, при атом токоподводы и газовые затворы выполнены совмещенными в виде стаканов с электромагнитами с отверстиями в днищах, при атом стаканы запопнены металлокомпозиционным магнитным гранулированным материалом, Кроме того, в качестве металлоком позиционного материала испольЬ 10024 ляют нагрев подложки 16 в коленах реактора 9 до рабочей температуры. Подают в колена реактора 9 реакционные газы. Прн этом на подложке происходит осаждение покрытия. В случае подачи в колена реактора 9 отличающихся. по составу реакционных газов происходит осаждение на подложке двух раапичных покрытий. Регулированием электрической нагрузки на подложку 16 в коленах реактора 9 0 может быть обеспечена различная температура осажденияеПредложенноевыполнение установки практически полностью исключает вожжность взаимодействия движущегося на гретого изделия с агрессивными составляющими наро-газовой реакционной смеси вне реакционного пространства реактора обеспечивает стабильный безискровой подвод электропитания к покрывае мому издеппо, что не только повышает надежность работы установки, но и снижает ее взрывоопасность, обрывность иэделий и улучшает качество последних.Одновременно значительно расширяются 2% технологические возможности установки, в частности обеспечиваются условия создания самых разнообразных комбинаций слоистых покрытий, регулирования температурных и концентрапионных условий ЗЕ по длине движущегося покрываемого изделия. В установке использована для получения однородных и равномерных покрытий система подачи реагентов - перпендикулярно покрываемому изделию по всей высоте реактора. Установка компактна, проста в изготовлении и эксплуатации.При испопьзовании установки за счет экономии материала подложки экономи ческий эффект ориентировочно составляет 31500 руб, на 10 ю готовой продукции при выпуске 5-10-метровых отрезков и 134000 руб, на 10 кг готовой продук 0 бцин при выпуске 25-50-метровых отрез- ков,Формула изобретения 1. Установка дпя нанесения покрытийиз газовой фазы, содержащая вертикальнорасположенный реактор, систему продувкиреагентов, газовые затворы, токоподводы,приемное и отдающее устройства, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения эксплуатационной надежности,расширения технологических возможностей и улучшения качества получаемыхпокрытий, реактор выполнен из двух колен, герметизированных с обеих сторонсоединенными камерами, при этом токоподводы и газовые затворы выполненысовмещеннымИ в виде стаканов с электромагнитами, при этом стаканы заполненыметвлдокомпозипионным магнитным гранулированным материалом,2. Установка по п.1, о т л и ч а вщ а я с я тем, что в качестве металлокомпозиционного материала испол зуютомедненные стальные окатыши или проволочные обрезки.3. Установка по пп. 1 н 2, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что системапродувки реагентов образована штуцерами, секционной обечайкой, расположеннойвокруг реактора, и отверстиями в стенкахреактора, равномерно расположеннымипо его высоте.4. Установка по пп 1-3, о т л и ч а ющ а я с я тем, что приемное м отдающее. устройства размещены на одной оси.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР% 717150, кл. С 23 С 11/08, 1976.2, Авторское свидетельство СССРПодписноекомитета СССРний и открытийРаушская наб., д, 4/ Завю 1733/11 Тираж 954 ВНИИ ПИ Государственного по делам изобрете 113035, Москва, Ж