Устройство для измерения вакуума

)М Клз б 01 1. 21/О б 01 1. 9/02 2989952 И 8-10 еударствеввые кемвтет СССР бликовано 23.04.82. Бюллетень 15 3) м нзебретенивоткрытий2) Авторы изобретен вицкии,цов и Н ательский технохимический институт обслуживания чно-ис(71) Заявит ЙСТВО Д,ЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА 4 ые друг на втоы ферждой из корпусе Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения вакуума,Известно устройство для измерения вакуума, содержащее установленную в корпусе мембрану 1. 5Известно устройство для измерения вакуума, содержащее установленную в корпусе мембрану из эластомера 12., Недостатком известного устройства является пониженная чувствительность в области низких давлений, обусловленная не- линейностью выходной характеристики чувствительного элемента.Цель изобретения - повышение чувствительности в области низких давлений.Поставленная цель достигается тем, что 15 в устройство для измерения вакуума, содержащее установленную в корпусе мембрану. из эластомера, введены постоянные магниты, ферромагнитные пластины, установленная параллельно первой вторая мембрана и упорные профилированные кольца, обращенные к соответствующим мембранам со стороны подвода вакуума параболическими поверхностями, причем на противоположных поверхностях мембран по их центру установлены, постоянные маги н к другу разноименнымрых поверхностях мем н ромагнитные пластинькоторых с зазором упостоянный магнит.На чертеже представлено предлагаемое устройство.Устройство содержит корпус 1 со штуцером 2, сообщенный с контролируемой средой. Внутри корпуса размещены параллельно установленные и образующие замкнутую герметичную измерительную полость две мембраны 3 из электропроводного эластомера. На противолежащих поверхностях мембран по их центру размещены постоянные магниты 4, обращенные друг к другу разноименными полюсами. На вторых поверхностях мембран закреплены ферромагнитные пластины 5. С зазором относительно пластин в корпусе установлены магниты 6. В измерительной камере расположены профилированные упорные кольца 7 из изоляционного немагнитного материала, имеющие в поперечном сечении параболическую форму с наименьшей толщиной у поверхности, контактирующей с мембраной. Электрически мембраны связаны соответственно с нагрузочными резисторами Кн Кн, и цепью индикации с миллиамперметром 8, имеющим внутреннее сопротивление Кв . Устройство питается от источника 9 напряжения.При падении давления в измерительной полости на мембраны 3 действует усилие, сближающее их. Однако взаимодействие ферромагнитной пластины 5, расположенной на мембране, и неподвижного магнита 6 создает противодействующее усилие, которое уменьшает деформацию мембран. По мере откачки среды усилие на мембранах возрастает и происходит их деформация, уменьшающая воздушный зазор между пластинами 5 магнитами 6. Усилие, формируемое магнитным полем, пропорционально квадра ту магнитного потока, который в первом приближении можно считать зависимым от величины воздушного зазора в первой степени, поэтому при деформации мембран 3 влияние усилия, создаваемого магнитами 4 и.сближающее, их, возрастает, а противодействие пар пластина-магнит 6 уменьшается. Этим достигается выравнивание зависимости приращения тока от приращения давления на начальной и средней стадиях процесса. По существу, пара магнитов 4 фор мирует положительную обратную связь по магнитному потоку. Поэтому при выходе мембран из-под воздействия постоянных магнитов 6, происходит сложение усилий, развиваемых мембранами и формируемых магнитами. В этой сумме усилий наибольший удельный вес должно иметь усилие, развиваемое мембраной во всем диапазоне приращений давления. Для обеспечения этого и с целью формирования зависимости приращения электрического сопротивления мембран 35 от приращения. давления, обеспечивающей линейность выходной характеристики, в устройстве использованы упорные профилированные кольца 7, имеющие в сечении форму параболы. При деформации мембран в сторону колец происходит постепенное увеличение их жесткости, что компенсирует избыток усилия развиваемого магнитами 4. Профиль колец выбирается таким образом, чтобы не уменьшить чувствительность мембран к перепаду давления (с учетом тянущего усилия магнитов 4), в тоже время формируя требуемую зависимость их электрического сопротивления от давления.Устройство обладает высокой чувствительностью в области низких давлений.Формула изобретенияУстройство для измерения вакуума, содержащее установленную в корпусе мембрану из эластомера, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности в области низких давлений, в него введены постоянные магниты, ферромагнитные пластины, установленная параллельно первой вторая мембрана и упорные профилированные. кольца, обращенные к соответствующим мембранам со стороны подвода вакуума параболическими поверхностями, причем на противоположных поверхностях мембран по их центру установлены постоянные магниты, обращенные друг к другу разноименными полюсами, а на вторых поверхностях мембран размещены ферромагнитные пластины, напротив каждой из которых с зазором установлен на корпусе постоянный магнит.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Востров Г. А. и др. Вакуумметры. Л Машиностроение, 1967, с. 40, 41.2. Авторское свидетельство СССР437940, кл, б 01 1 91/02, 16.11.66 (прототип).Составитель 3, КрысаноТехред А, бойкасТираж 883дарственного комитетаизобретений и открыЖ - 35, Раушская нант,. г. Ужгород, ул. Редактор Н. БобковаЗаказ 2569/55ВНИИПИ Госупо делам113035, Москва,Филиал ППП Пате Корректор Л. БокшаПодписноеСССРий роектная