Оптический виброметр

Союз СоветскикСоциалистически кРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ц 911168(23) Приоритет(51)М. Кл. Н 9/00 ГееударстеекеыЯ кащнтет СССРдо делан изобретение и етерытвй(5 З) ИК 620,178; .53 (088.8) Дата опубликования описания 07,03,82 71) Заявитель РОМ ЕТР ИЧЕСКИ ерит ться машин оптичес- ерфероибратор, зеркалоюченный килитель и я Изобретение относится к измной технике и мо 1 кет испольэовдля измерения вибраций деталейбесконтактными средствами.Наиболее близким к изобрететехнической сущности являетсякий виброметр, содержащий интметр Майкельсона, генератор, вс которым связано подвижноеинтерферометра, входом подклприемнику интерферометра, усрегистратор 11. Недостатком известного виброметравляется недостаточная точность нз.юа. низкой помехоустойчивости широкочаототного выходного сигнала,Цель изобретения - повышение точности измерений .Поставленная цель достигается тем,что вибратор снабжен нуль индикатором,20соединенным с приемником интерферомеъ.. ра, включенными между усилителем и регистратором и последовательно свяэанны 1 ми между собой линией задержки, акуо. тическим излучателем и кюветой с супругой средой, установленной между све-. тоделителем и референтным зеркалом интерферометра, и акустическим приемником, а регулятор начальной разности фаз интерферометра выполнен в виде оптически прозрачной кюветы со сжатым воздухом,На чертеже схематически изображен оптический виброметр.Оптический.виброметр содержит интерферометр Майкельсона (не показан) генератор 1, вибратор 2, с которым связано подвижное зеркало 3 интерферометра, приемник 4 интерферометра, входом подключенный к нему усилитель 5 и регистратор 6. Нуль-индикатор 7 соединен с приемником 4 интерферометра. Между усилителем 5 и регистратором 6 вклкьчены последовательно связанные между собой теиния 8 задержкиакустический иэ лучатель 9, кювета 10 с упругой средой, установленная между светоделитеОптический виброметр, содержащийинтерферометр Майкельсона. генератор,вибратор, с которым связано подвижноезеркало интерферометра, входом пошцпоченный к йриемнику интерферометра, усилитель и регистратор, о т л и ч а ю щ и й.с я, тем, что, с целью повышения точности:соединенным с приемником интерферометра,включенными между усилителем и регистратором и последовательно .связаннымимежду собой линией. задержки акустическим излучателем и кюветой с упругойсредой, установленной между светоделителем и референтным зеркалом интерферометра, и акустическим приемником, арегулятор начальной разности фаэ интерферометра выполнен в виде оптическипрозрачной кюветы со сжатым воздухом.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМ 230434, кл. 601 Н 9/00, 1967,( прототип) 3 91116 лем 11 и референтным зеркалом 12 интерферометра и акустический приемник 13. Регулятор начальной разности фаз интерферометра выполнен в виде оптически прозрачной кюветы 14 со сжатым воздухом.Виброметр работает следующим обрезом.Излучение лазера 15 интерферометра направляется" светоделителем 11 на рео ферентное зеркало 1:2 через кювету 10 и на подвижное зеркало 3 интерферометра через оптически прозрачную кювету 14. С генератора 1 подаются колебания на вибратор 2, с которым связано подвижное зеркало 3 интерферометра, Отраженные от зеркал 3 и 12 лучи интерфер 1 е" руют на фотоприемнике 4. Электрический сигнал с фотоприемника 4 пропорционален изменению оптического пути между зер калами 3 и 12. В первом случае оптический путь изменяется эа счет колебаний зеркала 3, а во втором- за счет измерения показателя преломления в кювете 10 с упругой средой, например с дисти лированной водой.Предварительно регулятором начальной разности фаз интерферометра устанавливают разность фаз, соответствующую линейному участку выходной функции интер- з 0 ферометра. Коэффициент усиления усилителя 5 берется таким, чтобы при заданной ширине кюветы 10 за счет изменения показателя преломления упругой среды в ней обеспечить компенсацию изменений оптического пути за счет изменении расстояния между подвижным зеркалом 3 интерферометра и светоделителем 11. Ком ценсация сигнала контролируется нуль- индикатором 7.40Прн включении генератора 1 зеркало 3 интерферометра вибрирует, меняя длину оптического пути между зеркалом 3 и светоделнтелем 11. На выходе приемника 4 интерферометра появляется сигнал, который пройдя усилитель 5, попадает на акустический излучатель 9, представляющий собой многослойный пьезокерами" ческий преобразователь. Излучатель 9 создает колебания в упругой жидкости кюветы 10, за счет которых происходит изменение оптического пути между референтным зеркалом 12 и светоделителем 11 интерферометра относительно оптичеокого пути между подвижным зеркалом и светоделителем 11. Указанное изменение контролируется нуль-индикатором 7.Акустический сигнал с излучателя 9, пропорциональный величине вибрации зеркала 3, пройдя упругую среду в кювете 10, улавливается акустическим приемником 13, сигнал с которого анализируется по форме амплитуды и частоте регистратором 6. При высоких частотах вибрации (до нескольких килогерц) начиНают сказываться инерционность электрс- акустической системы обратной связи между усилителем 5 и регистратором 6. В этом случае регулировкой линии 8 задержки задерживают электрический сигнал с усилителя 5 на акустический юлучатель 9 на величину, при которой фазы процессов, изменяющих оптический путь в обеих плечах интерферометра, совпадают.Использование изобретения обеспечивает повышение точности измерений и расширение амплитудного. и частотного диапазонов измерений, что дает воэможность повысить качество измерения. формула изобретения911168 ференц Т к алап едакто Тираж 505рственного комитета обретений и открыт а, Ж, Раушская одписноР кы д. 4/ атентф Филиал ПП 1 2/23ВНИИПИ Госудапо делам ю113035, Москв авитель В, Лопукеа Е.Харитончнк Ужгород, уп, Проектная