Патенты с меткой «качестваповерхностей»

Интерферометр для контроля качестваповерхностей, определения аберрацийкрупногабаритных оптических элементови исследования прозрачных неоднородностей

Загрузка...

Номер патента: 848996

Опубликовано: 23.07.1981

Авторы: Бубис, Губель, Духопел, Серегин

МПК: G01B 9/02

Метки: аберрацийкрупногабаритных, интерферометр, исследования, качестваповерхностей, неоднородностей, оптических, прозрачных, элементови

...положительной линзы, а сканирующее зеркало - с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль оптической оси интерферометра.На чертеже представлена принципиальная оптическая схема предлагаемого интерферометра.Интерферометр содержит монохроматический (лазерный) источник 1 света, первый светоделитель 2, направляющий световой поток в две ветви - рабочую и опорную, фокусирующий элемент 3, сканирующее зеркало 4, выполненное с воэможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль оптической оси, плоское зеркало 5 рабочей ветви, телескопическую систему б, расположенную между плоским зеркалом 5 и вторым светоделителем 7, высокоапертурный .микрообъектив 8 и регистрирующее устройство 9.Интерферометр, работает следующим...