Устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок

Союз Сфеетскня Соцнаектнчесинк Ресвублнн(22) Заявлено 16.11,67 (21) 1197384/18-21 (51 М с присоединением заявки Йо(23) Прморитет Н 05. К 3/14 Государственный комитет СССР по делам нзобретеннй н открытнйОпубликовано 07,10,81, Бюллетень М 37 Дата опубликования описания 07. 10. 81(54) УСТРОЙСТВО СОВМЕЩЕНИЯ МАСОК И ПОДЛОЖЕК ДНЯ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ УСТАНОВОКИзобретение относится к микроэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных блоков микроэлектроники.Известно устройство совмещения масок и подложек, содержащее держатели масок и подложек 111.Это устройство работает с недостаточной очностью.Известно также устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок изготовления тонкопленочных блоков микроэлектроники, содержащее неподвижный диск с держателями масок и подвижйый диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически .связанные с подожным диском 2 .У этого устройства тот же недостаток.ЦЕль изобретения - повышение точности совмещения масок и подложек.Укаэанная цель достигается тем, что в устройстве совмещения масок и подложек для напылительных установок, содержащее неподвижный диск с;держателями масок и подвижный диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически связанныес подвижным диском, держатели ма-сок выполнены в виде подвижных рамок с возможностью перемещения вдвух взаимно перпендикулярных направлениях, расположенных в плоскости, параллельной держателям подложек, которые снабжены упорами,взаимодействующими с рамками. На фиг. 1 изображен продольныйразрез устройства; на фиг, 2 - видсверху на держатель маски.Устройство содержит неподвижный 1и подвижный 2 диски, на которых установлены держатель 3 для маски 4и держатель 5 для подложки 6.Диск 2установлен на валу 7 с возможностьювращения посредством зубчатой передачи 8, связанной с вакуумным вводом9. Он может также перемещаться повертикали с помощьв вакуумного ввода 10.Держатель З.выполнен в виде подвижной рамки, установленной на неподвижном диске 1 с воэможностьювзаимно перпендикулярного перемеще ния.Штифты 11 и отверстия 12 предназначены для предварительного совмещения дисков 1 и 2,Толкатель 13 снабжен роликом 14,аподвижный диск 2 имеет наклоннуюплоскую пружину 15, предназначеннуюдля перемещения толкателя 13 в радиальном направлении вдоль диска 1при опускании диска 2. Упоры 16 икромки 17 держателя 3 предназначеныдля окончательного точного совмещения маски 4 с подложкой 6.При помощи шариков 18 и пружин19 держатель 3 подвижно связан столкателем 13. В исходном положении толкатели прижаты к штифтам 20плоскими пружинами 21.Устройство работает следующимобразом,При опускании диска 2 с помощьювакуумного ввода 10 штифты 11 заходят в отверстия 12 диска 1. При этомпроисходит предварительное совмещениедисков.При дальнейшем опускании диска 2пружина 15, воздействуя на ролики 14,перемещает толкатель 13, а вместес ним и держатель 3 с маской 4, врадиальном направлении до "контактакромок 17 с упорами 16. При этомосуществляется точное совмещениемасок 4 с подложками 6 эа счет возможности дополнительного перемещения держателя 3 в перпендикулярномнаправлении по шарикам 18.При.подъеме диска 2 процесс идетв обратной последовательности, адиск 2 может быть повернут с помощью вакуумного ввода 9 и зубчатой передачи 8 для последующей обработки подложки 6.Использование данного изобретения обеспечивает возможность точного совмещения масок и подложек при напылении тонких пленок на подложки различных деталей микроэлектронной техники,10Формула изобретенияУстройство совмещения масок иподложек для напылительных установок,содержащее неподвижный диск с держа телями масок и подвижный диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически связанные с подвижным диском, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышенияточности совмещения, держатели масок выполнены в виде подвижных рамок с воэможностью перемещения вдвух взаимно перпендикулярных направлениях, расположенных в плоскости,параллельной держателям подложек,которые снабжены упорами, взаимодействующими с подвижными рамками.30Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 486497, кл. Н 05 К,з/14, 1965.2. Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок, М.,ффЭнергия,1967, с. 267-289 (прототип).871353 Составитель Е. Техред Т.Маточк льский Корректор Н, Стец дактор Б. Федото Тираж 892 Подпис НИИПИ Государственного комитета ССС по делам изобретений и открытий 035, Москва, Ж, Раушская наб., д