Многоместный держатель подложек

Номер патента: 184947

Авторы: Бина, Чирков

ZIP архив

Текст

О П и С А н И Е 184947изоьеетенияк Автоескомь свидетяльствь Союз Сооетокий Социалистический РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваКл, 21 а 4, 75 Заявлено 28 Х.1965 ( 1009979/26-9) с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 30.711.1966. Бюллетень16Дата опубликования описания 28,1 Х.1966 Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Сосете Министров СССР(088.8) Авторыизобретения В, А. Чирков и М. Г. ДрябинаТ.0 Р:. г " Е Г;т.3л. Заявитель МНОГОМЕСТНЫЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК Предмет изобретения Известные многоместные держатели подложек, предназначенные для напыления микросхем и содержащие фиксаторы, не позволяют с достаточной точностью фиксировать и прижимать подложки в процессе производства микросхем.В предлагаемом держателе повышение надежности фиксации подложек достигнуто использованием в качестве фиксаторов штырей крестообразной формы, снабженных пазами, в которых размещены волнистые пружины.На чертеже изображен описываемый держатель,В основании 1 держателя выполнены отверстия под штыри 2 крестообразной формы. Штыри служат фиксаторами подложек 3 и снабжены пазами 4, где размещены волнистые пружины 5.Основание изготовляется из материала с хорошей теплопроводностью для поддержания одинаковой температуры в различных местах всех закрепленных подложек. Последние фиксируются на плоскости основания благодаря крестообразной форме штырей и 5 прижимаются к основанию волнистыми пружинами через круглые головки штырей. Пружины продеваются через пазы 4 так, что каждый их гребень упирается в штырь, а каждая впадина - в основание.10 Многоместный держатель подложек, предназначенный для напыления микросхем и со держащий фиксаторы, отличающийся тем,что, с целью повышения надежности фиксации подложек, в нем в качестве фиксаторов использованы штыри крестообразной формы, снабженные пазами, в которых размещены 20 волнистые пружины.184947 Иль едактор 75 формат бум, 60 К 90/з Объем 0,13 изд. л. Подписное елам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 погрзфия, пр. Сапунов Заказ 2724/11 ТираНИИПИ Комитета остаоитель Л. МатевосовТехред Т. П. Курилко орректоры: Л. Е. МарисиМ и Е. Д. Курдюмова

Смотреть

Заявка

1009979

В. А. Чирков, М. Г. бина

МПК / Метки

МПК: H05K 13/04

Метки: держатель, многоместный, подложек

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-184947-mnogomestnyjj-derzhatel-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Многоместный держатель подложек</a>

Похожие патенты