Патенты с меткой «напылительных»

Устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок

Загрузка...

Номер патента: 871353

Опубликовано: 07.10.1981

Автор: Коледа

МПК: H05K 3/14

Метки: масок, напылительных, подложек, совмещения, установок

...вводом9. Он может также перемещаться повертикали с помощьв вакуумного ввода 10.Держатель З.выполнен в виде подвижной рамки, установленной на неподвижном диске 1 с воэможностьювзаимно перпендикулярного перемеще ния.Штифты 11 и отверстия 12 предназначены для предварительного совмещения дисков 1 и 2,Толкатель 13 снабжен роликом 14,аподвижный диск 2 имеет наклоннуюплоскую пружину 15, предназначеннуюдля перемещения толкателя 13 в радиальном направлении вдоль диска 1при опускании диска 2. Упоры 16 икромки 17 держателя 3 предназначеныдля окончательного точного совмещения маски 4 с подложкой 6.При помощи шариков 18 и пружин19 держатель 3 подвижно связан столкателем 13. В исходном положении толкатели прижаты к штифтам 20плоскими пружинами...