Интерферометр для контроля качествалинз

(22 Заявлено 11,1079 (21) 2827072/25-28с присоединением заявки Йо(23) ПриоритетОпубликовано 150781, Бюллетень 149 26 51)М. Клз О 01 В 9/02 ГосударствеиныЯ комитет СССР оо яеаам изобретениЯ,и открытиЯ.1(088.8) Дата опубликования описания 10181(72) Автор . изобретения Д.Т. Пуряевиа Октябрьскойамалии иысшее тна Московское ордена Ленина, орде и ордена Трудового Красного Знучилище им. Н.Э. Баума юции ское 71) Заявите хни "ил4) ИНТЕРФЕРОМЕТР Изобретение относится к измерительной технике, предназначено дляконтроля качества линз и может бытьиспользовано в производстве, оптических систем.Известен интерферометр для контроля качества линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей светоделитель, объектив, компенсатор, эталонное сферическое зеркало и регистратор интерференционной картины Ц,Недостатком данного интерферометра является сложность конструкции,обусловленная необходимостью применения эталонного сферического зеркала, диаметр которого превышает диаметр контролируемой линзы.,Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению является ннтерферометр для контроля качества оптических деталей, например линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей свето- делитель, компенсатор и регистратор интерференционной картины 21 .Недостатками этого интерферометра являются сравнительно низкая точОНТРОЛЯ КЛЧЕСТВЛ ЛИНЭ ность контроля, обусловленная тем,что компенсатор вносит дополнительные аберрации в волновой фронт, отраженный от поверхности контролируемойлинзы, а также узкий диапазон параметров контролируемых линз, поскольку один компенсатор позволяет контролировать, как правило, только однулинзу, а именно ту, для которой онрассчитан.Цель изобретения - повышение точности контроля и расширение диапазона параметров контролируемых линз.Указанная цель достигается тем, 15 что интерферометр снабжен эталоннойлинзой, установленной за компенсатором, плоскопараллельной светоделительной пластиной, установленной перпендикулярно оптической оси интерфе рометра эа эталонной линзой так,что расстояние от светоделительнойповерхности пластины до эталонной . ",и контролируемой линз равны между собой. На чертеже представлена принципиальная схема одного из возможных варчантов интерферометра для контроля качества линз.Интерферометр содержит источ 1 света, расположенные последовно по ходу его лучей днрагму 2, светоделитель 3, компенсатор 4, эталонную линзу 5, плоскопараллельную светоделительную пластину б и регистратор 7 интерференционной картины. Пластина 6 установлена перпендикулярно оптической оси интерферометра так, что расстояния от ее светоделительной поверхности до эталонной линзы 5 )и контролируемой линзы 8 равны между собойИнтерферометр работает следующим образом.Пучок света от источника 1 проходит диафрагму 2, светоделитель 3, компенсатор 4, эталонную линзу 5 и падает на плоскопараллельную светоделительную пластину б, которая делит его на две части. Одна часть пучка преломляется поверхностью Б эталонной линзы 5, отражается от ее поверхности А и повторяет свой путь в обратном направлении. Другая часть преломляется поверхностью Б контролируемой линзы 8, отражается от ее поверхности А и повторяет свой путь в обратном направлении. Объединив; шись на светоделительной пластине б, обе части интерферируют между собой и поступают в регистратор 7 интерференционной картины.Поскольку обе части пучка проходят в плечах интерферометра одинаковые оптические пути, нет необходимости осуществлять полную компенсацию аберраций пучка лучей, подающего на светоделительную пластину б, что позволяет значительно расширить диапазон параметров контролируемых линз 8 и повысить точность контроля за счет исключения ошибок, вносимых компенсатором в обратном ходе лучей.Таким образом, снабжение интерферометра эталонной линзой 5 и плоско- параллельной светоделительной пластиной б позволяет повысить точность контроля и расширить диапазон параметров контролируемых линз.Формула изобретенияИнтерферометр для контроля качества линз, содержащий источник света,расположенные последовательно по 15 ходу.его лучей светоделитель, компенсатор и регистратор интерференционной картины, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности контроля и расширения диапа О эона параметров контролируемых линз,он снабжен эталонной линзой, установленной за компенсатором, плоскопараллельной светоделительной пластиной, установленной перпендикулярнооптической оси интерферометра заэталонной линзой так, что расстояния от светоделительной поверхности пластины до эталонной и контролируемой линз равны между собой.30 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМ 448347, кл. С 01 В 9/02.2. Авторское свидетельство СССР35 9 373519, кл. О 01 В 9/02, 12.03.73847013 Составитель О. Фоминедактор М. Бандура Техред З. Кастелевич Корректор М Шар писное 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Заказ 5462/61 Тираж ВНИИПИ Государстве по делам нзобрет 113035, Москва, Ж 42ого комиий и отРаушс та Стий наб