Интерферометр для контроля выпуклых поверхностей линз большого диаметра

Сфеэ СфветсиикСоцнапистнчасииаРеспубпнн ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ, СВИДЕТЕЛЬСТВУ(53)М. Хл. С 01 В 9/02 веудвретюемВ кеиитет СССР вв аемаи вэебретенкй и втерытиВ72) Авторы 5") ИНТЕРФЕРОИЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЫПУКЛЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ЛИНЗ БОЛЬШОГО ДИАИЕТРА 1Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля выпуклых сферических и асферических поверхностей.Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей, содержащий источник излучения , гюследовательно установленные телескопическую систему, полупрозрачное зеркало,. объектив, компенсатор и сферическое зеркало 111.Недостатком известного интерферометра является невысокая точность контроля, обусловленная высокими требованиями, предъявляемыми к компен" сатору в части его остаточных абер" раций.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля качества выпуклых поверхностей линз, большого диаметра, содержащий источник излучения и фокусирующую систему, образующие осветительную ветвь, объектив и регистратор интерференционной картины, образующие наблюдательную ветвь, элемент разделения светового потоМа на.два, в одном иэ которых расположеноэталонное сферическое зеркало, являют щееся эталонной ветвью, а в другом - компенсатор и жидкостная линза, образующие рабочую ветвь 2.Этому интерферометру присуща недостаточно высокая точность контролявследствие значительной удаленностиэталонной ветви от рабочей, а также.вследствйе применения иммерсионнойжидкости со строго определенным показателем преломпения.15Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля,а также расширение диапазона контролируемых поверхностей20Указанная цель достигается тем,что жидкостная линза выполняется споказателем преломления, отличным от,показателя преломления контролируемой линзы, и располагается между кон 3 89006тролируемой линзой и компенсатором,компенсатор выполнен с вогнутой поверхностью и обращенным вогнутой поверхностью к источнику излучения,апоследовательно расположенные по ходуизлучения компенсатор, контролируемая и жидкостная линзы образуют систему с отрицательной оптическойсилой,Кроме того, интерферометр снабжен олинзой, установленной с возможностьюперемещения вдоль оптической оси интерферометра между компенсатором иэлементом разделения светового потокана два. 15Йа чертеже представлена оптическаясхема интерферометра.Интерферометр содержит источник 1излучения и фокусирующую систему 2,образующие осветительную ветвь, объектив 3 и регистратор ч интерференционной картины, образующие наблюдательную ветвь, элемент 5 разделения све, тового потока на два, в одном из которых расположено эталонное сферическое зеркало 6, являющееся эталоннойветвью, а в другом - компенсатор 7и жидкостная линза 8, выполненная изиммерсионной жидкости с показателемпреломления, отличным от показателяпреломления контролируемой линзы 9,и расположенная между контролируемойлинзой 9 и компенсатором 7, выполненным с вогнутой поверхностью 10 иобращенным вогнутой поверхностью кисточнику 1 излучения, а последо 35вательно располагаемые по ходу излучения компенсатор 7, контролируемаялинза 9 и жидкостная линза 8 образуют систему с отрицательной оптическойсилой, и линзу 11, установленную с40возможностью перемещения вдоль оптической оси интерферометра между компенсатором 7 и элементом 5 разделениясветового потока на два.Интерферометр работает следующимобразом.,Излучение от источника 1 под действием элементов 2,5,7,11 и поверхности контролируемой линзы 9, контактирующей с жидкостной линзой 8, падает 0нормально на:,. контролируемую поверхность К линзы 9, частично отражаетсяот нее, а частично проходит к эталонной поверхности Э эталонного сферического зеркала 6.55Волновой фронт, созданный излучением, отраженным от контролируемойповерхности К линзы 9, интерферирует 7 4с эталонным волновым фронтом, идущимот поверхности Э. По виду интерференционной картины, для регистрации которой используют объектив 3 и регистратор 1 интерференционной картины,судят о форме контролируемой поверхности К.,Перемещением линзы 11 вдоль оптической оси при смене контролируемыхлинз достигается устранение остаточных аберраций, вызванных изменениемконструктивных элементов контролируемой линзы, что повышает производительность контроля.Таким образом, повышение точностиконтроля достигнуто за счет совмещения эталонной и рабочей ветвей интеоферометра, так как эталонное сферическое зеркало расположено непосредственно за контролируемой поверхностью поэтому остальные элементы ин)терферометра практически не вносятпогрешности в результаты контроля.а также за счет снижения требованийк показателю преломления иммерсионной жидкости. Кроме того, данный интерферометр позволяет контролировать высокоапертурные сферическиеповерхности, что расширяет диапазонего применения,Формула изобретения1, Интерферометр для контроля выпуклых поверхностей линз большого диаметра, содержащий источник излучения и фокусирующую систему, образующие осветительную ветвь, объектив и регистратор интерференционной картины, образующие наблюдательную ветвь, элемент разделения светового потока на два, в одном из которых расположено эталонное сферическое зеркало, являющееся эталонной ветвью, а в другом - компенсатор и жидкостная линза, образующие рабочую ветвь, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, а также расширения диапазона контролируемых поверхностей, жидкостная линза выполняется с показателем преломления, отличным от показателя преломпения контролируемой линзы, и располагается между контролируемой линзой и компенсатором, компенсатор выполнен с вогнутой поверхностью и обращенным вогнутой- поверхностью к источнику излучения,890067Фоптической оси интерферометра междукомпенсатором и элементом разделениясветового потока на два.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРИ 448347, кл. С 01. В 9/02 ф 15. 12.74,2, Авторское свидетельство СССРМ 415482, кл. С 01 В 9/02, 10.07.74(прототип) . а последовательно располагаемые по хрду излучения компенсатор, контролируемая и .жидкостная линзы образуют систему с отрицательной оптической силой.2. Интерферометр по и, 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности контроля, он снабжен линзой, установленной с возможностью перемещения вдоль Синицкая Заказ 10948/62 Тираж 645 ВНИИПИ Государственного комит по делам изобретений и откр 113035, Москва, Ж, Раушска