Устройство для осаждения слоев изгазовой фазы

Союз Советских Социалистических Республик) Заявлено 18 Р 6,79 (21) 2780938/18-21рисоедииеиием заявки Йо Ь 21/00 Государственный комите СССР но делам изобретений и открытий(23) Приоритет Опубликовано 3006.81, Бюллетень Но Дата опубликования описания 30,06,81 3) УДК 621. 382088.8) и В И Иванов 2 Авторыизобретения. Н. Баран 1 Заявитель 54) УСТРОЙСТ ЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛ ИЗ РАЗОВОЙ ф обо О койИзобретение относится к изготовлению установок для осаждения слоевиз парогазовой фазы с лучистым нагревом и может быть использовано впроизводстве полупроводниковых прибОров и интегральных схем для проведения процессов эпитаксиального наращивания кремния,. нитрида кремния,ниэкотемнературного осаждения легированных слоев 810 и т.д.Известна установка осаждения слоер иэ парогазовой фазы с лучистымнагревом 1.Наиболее близким к предлагаемомупо технической сущности являетсяустройство для осажденияслоев иэгазовой фазы, содержащее реактор,выполненный в виде двух коаксиальноустановленных кварцевых оболочек,с размещенным в нем подложкодержателем, водоохлаждаемые отражателис излучателями, расположенные с еговнешней стороны, и систему подачи иотвода газовой смеси 2,Недостатками известных устройствявляются неравномерность нагреваподложек и низкая надежность.Цель изобретения - повышениеравномерности нагрева подложек иповышение надежности. Указанная цель достигается тем,что в устройстве для осаждения сло-,ев из газовой фазы, содержащем реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевыхоболочек, с размещенным в нем подложкЬдержателем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенныес его внешней стороны, и системуподачи и отвода газовой смеси, наружная кварцевая оболочка реакторавыполнена в виде набора цилиндрических стержней, плотно прилегающихдруг к другу по образующим,На фиг. 1 изображено предлагаемоеустройство; на фиг. 2 - разрез А-Ана фиг 1Устройство для осаждения слоевиэ газовой фазы включает в себя четыре водоохлаждаемых отражателя 1,внутри которых установлены,в шахматном порядке по высоте излучатели2 типа галогенных или гаэоразрядныхламп. С отражателями 1 состыкованыфланцы 3 с коллекторами подачи 4 иотвода 5 воздуха, охлаждающего уплотненный в них кварцевый реактор 6В фланцах 3 закреплена кварцеваялочка 7, являющаяся внешней стенреактора б. Кварцевая оболочка 7выполнена в виде набора цилиндрических стержней 8, плотно прилегающих друг к другу по образующим.Кварцевый реактор 6 уплотнен крьшкой 9 и имеет устройства подачи 10и отвода 11 газовой смеси, В крьааке9 установлен вращаемый подложкодер 5жатель 12 в виде тонкостенной усеченной пирамиды, на гранях которойразмещены полупроводниковые подложки 13.Отражатели 1 с установленными наних элементами закреплены в герметичном каркасе 14, в который нагнетается охлаждающий колбу излучателей 2воздух.Устройство работает следующим образом.Оболочка 7 обеспечивает светорассеивание лучистых потоков, так каккаждый цилиндрический стержень 8является линзой с минимальным фо- ;фкусным расстоянием. В результате наличия большого числа линз обеспечивается перераспределение и выравнивание лучистых потоков по поверх-,ности пирамиды, что уменьшает влияние явления фполосатости нагрева.Воздушное охлаждение реактора 6 иизлучателей 2 осуществляется двумяпараллельными потоками воздуха,один из которых поступает из коллектора 4, другой - из каркаса 14через отверстия 15 для установкиизлучателей 2. Потоки воздуха объединяются в коллекторе 5, причем воздухот излучателей 2 поступает черезнеплотности между стержнями 8 эасчет избыточного статического давления в каркасе 14. При взрыве реактора б куски кварца ударяются в цилиндрические стержни 8 и их кинематическая энергия гасится, в то время 40 как взрывная волна может беспрепятственно пройти через неплотности между ними и погаситься в большом объеме. РТаким образом, кварцевая оболочка 7 выполняет несколько функций: рассеивает лучистые потоки, падающие на подложкодержатель, выравнивает температурные поля, организует воздушные потоки в целевом зазоре у поверхности реактора б, гасит взрывную волну и защищает излучатели и отражатели от механических повреждений, При этом конструкция устройства упрощается. формула изобретенияУстройство для осаждения слоевиз газовой фазы, содержащее реактор,выполненный в виде двух коаксиальноустановленных кварцевых оболочек,с размещенным в нем подложкодержателем, водоохлаждаемые отражатели сизлучателями, расположенные с еговнешней стороны, и систему подачии отвода газовой смеси, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения равномерности нагрева подложеки повышения надежности, наружная.кварцевая оболочка реактора выполнена в виде набора цилиндрическихстержней, плотно прилегающих друг кдругу по образующим.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1Обзоры по электронной технике.Сер. Полупроводниковые приборы,вып. П, ч,1, ПМ., 1975.2. Авторское свидетельство СССРВ 180271, кл. 21 Ь 3/02, 1964843028 А едактор А. Лежнина Корректор Н. С аказ 5140/7 раж 784 дписно ВНИИПИ Государственного к Р по делам изобретений и113035, Москва, Ж, Раушска 4/5 П фПатентфф, г. ужгород, ул. Проектная,или Составитель Л Техред М. Ксш еспаловаа омитета СССоткрытийя наб., д.