Номер патента: 843027

Авторы: Богданов, Тер-Акопьян

ZIP архив

Текст

3 дн 843027 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУл 4 СФгл(22) Заявлено 17. 08. 79 (21) 2810353/18-25 Н 01 1 49/26 с присоединением заявки йе -(23) П риоритет Государственный комитет по делам изобретений и открытий(088.8) Опубликовано 30. 06. 81. Бюллетень Рй 24 Дата опубликования описания 30.06.81(54) МАСС-СПЕКТРОМЕТР мов основыИзобретение относится к масс-спектрометрам и может быть использовано в Физических, химических и геологических лабораториях, занимающихся исследованиями, связанными с определением следовых количеств химических элементов.Известны время-пролетные массспектрометры, содержащие источник ионов, устройство извлечения ионов и Формирования пучка, пролетную базу,детектор ионов и устройство для измерения времени пролета ионов от щели источника до детектора 11.Недостатком время-пролетного массспектрометра является невысокая чувствительность, достигающая для не-, которых наиболее благоприятных; хи 6 мических элементов 1 атом на 10 атоИзвестны также масс-спектрометры, содержащие ионный источник, ана- лизатор и детектор ионов 1 1. Недостатком известного масс-спектрометра является невысокая чувствительность, достигающая для лучшихприборов 1 атом на 1 О атомов осно 8вы.Цель изобретения - повьппение чувствительности масс-спектрометра.Указанная цель достигается тем,что в масс-спектрометре, содержащемионный источник, анализатор и детектор, между ионным источником и анали-,затором последовательно установленыгазовая мишень, отклоняющий конденсаттор и стигматическая ахроматическаяионно-оптическая система,Стигматическая ахроматическая ионно-оптическая система состоит из двухили более дипольных магнитов и одной или более квадрупольнйх электронных линз, причем изображение, создавае" мое этой системой, служит для диспергирующей системы в качестве объектной щели источника.Союз Советских Соцнапистических Республик(23) Приоритет . -Государственный комитет СССР ло делам изобретений и открытий(71) Заявитель 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Изобретение относится к изготовлению установок для осаждения слоев из парогазовой фазы с лучистым нагревом и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем для проведения процессов эпитаксиального наращивания кремния,. нитрида кремния, низкотемнературного осаждения леги. рованных слоев 810 и т.д.Известна установка осаждения слоев иэ парогазовой фазы с лучистымнагревом 1.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является 15 устройство для осажденияслоев из газовой фазы, содержащее реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкодержа телем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси 2 .Недостатками известных устройств 25 являются неравномерность нагрева подложек и низкая надежность.Цель изобретения - повышение равномерности нагрева подложек и повышение надежности, 30 Указанная цель достигается тем, что в устройстве для осаждения сло-, ев иэ газовой фазы, содержащем реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкЬдержателем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси, наружная кварцевая оболочка реактора выполнена в виде набора цилиндрических стержней, плотно прилегающих друг к другу по образующим.На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг, 1.Устройство для осаждения слоев иэ газовой фазы включает .в себя четыре водоохлаждаемых отражателя 1, внутри которых установлены в шахматном порядке по высоте излучатели 2 типа галогенных или газоразрядных ламп. С отражателями 1 состыкованы фланцы 3 с коллекторами подачи 4 и отвода 5 воздуха, охлаждающего уплотненный в них кварцевый реактор 6. В фланцах 3 закреплена кварцевая оболочка 7, являющаяся внешней стенкой реактора 6. Кварцевая оболочка 7

Смотреть

Заявка

2810353, 17.08.1979

ОБЪЕДИНЕННЫЙ ИНСТИТУТ ЯДЕРНЫХ ИССЛЕ-ДОВАНИЙ

ТЕР-АКОПЬЯН ГУРГЕН МКРТЫЧЕВИЧ, БОГДАНОВ ДМИТРИЙ ДМИТРИЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 49/26

Метки: масс-спектрометр

Опубликовано: 30.06.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/5-843027-mass-spektrometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Масс-спектрометр</a>

Похожие патенты