Устройство для осаждения слоевиз газовой фазы

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 11 82762 Союз Советских Социалистических Республик(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖД ИЗ ГАЗОВОЙ фАЗЪ10 Изобрстенис относится к области аппаратов лля получения монокристаллов и легированных полупроводниковых материалов непосредственно из газовой фазы, в частности для наращивания кристаллических слоев кремния и его соединений на моиокристаллических поЛложках.Известны устройства лля осаждения слоев из газовой фазь, солсржащие герметичную камеру со средствами подачи и отвода газов и полый держатель подложек, иагревасмый внутренним индуктором, отделенным от полости камеры кварцевым колпа.Ом, который закреплен на верхнем или иижисм фланцс, причем средства отво. ла газов выполнены в виле штуцеров и корпусе камеры, соелиненных гибкими нлангами со стационарной магистралью отвсла газов 1) и 12:. Нслостатком известных устройств является слокиость конструкции, вызваннаясослинеиисм штуцеров отвода газов состационарной магистралью отвода газов спомощью гибких шлангов (или спльфонов), 25что связано с необходимостью регулярнойзагрузки и Выг 11 узки пластин,Как правило, отходящие газы - этоагрессивная срсла с высокой температурой,что приводит к быстрому выходу из строя ЗО гнохих шлангов, в т. ьфонов из нсржавеющей стали.Известно также устройство лля осаждения слоев из газовой фазы, содержащее герметичную камеру, средства подачи и отвода газов и коаксиально размещенный ПО,ь лс 1)ждтсль полложек, Внутри 1 Оторого расположен волоохлажлаемый инлуктор, заключенный в кварцевый колпак, закрепленный на нижнем фланце, причем средство полачи газов выполнено в виде струйных вводов, а срслство отво;а газов - в ви.с штуцсров в корпусе камеры, сослпенных гибкими шлангами со стационарной магистралью отвола газов 3.11 слостатки лаииого устройства заключи:Отс 51 в сложности и непалекности конструкци;1, по вызвано наличием гибких ис 11 гов сильфоов), соелиняющих штуцсра отвола газов со стационарной магисг; илью отвола газов. Гибкие шланги по;ноляОт ироизволить регулярную разгермстзацию камеры, ио в связи с тем, что через них отводится горячий газ, в котором частично про;1 олжается процесс образования твердого кремния, осаждающегося иа стенках устройств отвола, шланги Сильфоны) быстро теряют свою гибкость (эластичность), прогорают, разгерметизируются и в результате выходят из строя, 3 827621что определяет ненаде)кность такого устройства.Цель изобретения - уирощсшс экс плуатяции и повьцпение надежности работы аппарата.Это достигается тем, что устройство содержит герметичную камеру со средствами подачи и отвода газа, внутри которой коаксиальцо смонтированы последовательно один в другом водоохлаждасмый индуктор, кВар цсВый КО 1 па к и по;ложкодержатель. Средство для отвода газа выполнено в виде осевого сквозного патрубка, црох)- ,ящсго через кварцевый колпак, внутри водоохлаждясмого индуктора и сообщающегося с рабочей полостью камеры.На чертеже показац общий ид устройстВа д;151 Осяждсция слосв из ГсЗОВОЙ фазы,УстрОЙство содержитсрмстггиую камеру 1, срс;ство струйной подачи 2 и отвода ) газов, полый дср)катель 4 подложек 5, внутренний Болэохлаждасмый д ктор б, От;слсниый От полости 7 камс- )ы 1 квярцсВым колакОл 8. Срс;стиг) отвода газов ) выполнено в виде осевого патрубкя 9, сос;пшенного с 1 игцем 1 крьппкой 10 колцяа 8 таким Ооразом, что вцутрсиняя полость 11 патрубка 9 сообщена с полостью 7 камеры 1. Пятрубок 9 Выполнен кяк часть колпака 9 п соединен сферическим илифом 2 со стационарной магстрясБ 0 15 о) воля газов.Устр 0 ство )я 00 таст сгц;ъ 10 ии м 00) а ОМ.Подложки 5 загружают иа дсржатсл 4, гермстизируют камеру 1, после чего с помощью внутреннего индуктора б нагревают держатель 4 до температуры проведения процесса. Нагрев осуществляют в газовой среде заданного состава, для чего в полость 7 камерывводят газы через средства струйной их подачи 2. Такая подача газов позволяет турбулизировять га зовую смесь в полости 7, чем предотвра.Цаетея сс раССлОЕНиЕ на СОСтавляЮщие И создаотея условия для равцомсрного осаждения слоев на подложках 5. Вывод газа Осуществляется через крышку 10 колпака 9 ицдуктора 6, а далее через полость 11 сносного иагрубка 9 и через стаципарную магистраль 1;1 Отвода газов.11 рсдло)ксннос выполнение аппарата ио зволяст зцачгТелыо упростить эксплуатацию его за счет облегчения демонтажа обо)у,)ия из аппарата, а также повысить ядсжиосп работы аппарата за счет отказа От установки иена;ежцых в работе Бо ких соединительных шлангов между устройством отвода газов и стяцонарцой маг.Ст р а Г10 и х отвода. 20 Формула изобретения Источик информации, црицятыс во ии,янис ири экспертизе:1. Лвторское свидетельство СССР М 339215 . л. Н 01 1 7,188, 1972.2. Патент Японии Хо 49-9588, кл. 9915) В 15.1. 1 хг. В 01 Я 1732, опублик, 1974.Л. Гятст С 11 Л Хо 3645230, кл, 118-49,), 0 ублик, 1972. 40; стройсп)э для осаж;еш;я слоев из.0 131, сочержящсс с)хсти 1 у 0 камеру со средствами подачи и отвода га зя, ) три которой коаксиально сх 0 тр- Бяцы ш)следовательно олин в другом Бодо-хг аж.я с)ыЙ пи,утор, КВа рцеВый коли я 1Од Ожко,сте 1,1и и а 0 ит с с с я тм, что, с цел 0 у:рощения экснлуата иОВыиси 51 ия.сжности рОот 1 яиярята, срсдсп)о отвода газа выполнено в , С ОССБОГО СВОЗИ)ГО ПЯ РУОКЯ,9)ХО- ,яи 1 сГО 1 с)сз ка рцсвьй косБак Бц,"1) БО- .0 х )кдя смог) 1 дуктОра и сооопя 01 цс Ося с рб)очей полостью камеры.827621 1 1 л 5 Составитель Н, РудькоТехред Л. Куклина Корректор И. Осиновск зедактор лаз п. Харьк. фил. пред. Патент аказ 569/512 Изд,371 Тираж 354ПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 дписное ткрытпй