Патенты с меткой «слоевиз»

Номер патента: 827621

Опубликовано: 07.05.1981

Авторы: Иванов, Николайкин, Павлов, Свинцов, Сигалов

МПК: C30B 25/08

Метки: газовой, осаждения, слоевиз, фазы

...экс плуатяции и повьцпение надежности работы аппарата.Это достигается тем, что устройство содержит герметичную камеру со средствами подачи и отвода газа, внутри которой коаксиальцо смонтированы последовательно один в другом водоохлаждасмый индуктор, кВар цсВый КО 1 па к и по;ложкодержатель. Средство для отвода газа выполнено в виде осевого сквозного патрубка, црох)- ,ящсго через кварцевый колпак, внутри водоохлаждясмого индуктора и сообщающегося с рабочей полостью камеры.На чертеже показац общий ид устройстВа д;151 Осяждсция слосв из ГсЗОВОЙ фазы,УстрОЙство содержитсрмстггиую камеру 1, срс;ство струйной подачи 2 и отвода ) газов, полый дср)катель 4 подложек 5, внутренний Болэохлаждасмый д ктор б, От;слсниый От полости 7 камс- )ы 1...