Устройство для травления микроканальныхпластин

О П И С А Н И Е (п)827433ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51) М. КС ОЗС 150 с присоединением заявкиГосударственный комет СССР по делам изобретенийоткрытии Дата опубликования описания 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕН ПЛАСТИНКРО КАНАЛЬНЫХ Изобретение относится к сти строительных материало оборудованию для изготовле ных микроканальных пластин жет быть использовано в эле тической промышленности. промышленно а именно ия стеклянран в Известны устроиства для получения микроканальных .пластин вытравливанием растворимой составляющей, содержащие электролитическую ванну с платиновыми электродами (1.Однако, существующее устройство сложно в исполнении, так как требует применения электролитической ванны с электродами из драгметалла и не позволяет получить чистые каналы малого диаметра, так как при таком пассивном способе травления в микроканалах остаются продукты распада, для удаления которых требуются дополнительные эффективные способы обработки. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный лоток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели 2. Недостатком известного устройства является длительность процесса вытравливания растворимой составляющей.Целью изобретения является увеличение 5 интенсивности процесса травления.Поставленная цель достигается тем, чтоустройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный 10 шток с поперечными кронштейнами, приводи кассеты-держатели, снабжено перемычками, соединяющими кассеты-держатели с поперечными кронштейнами, причем перемычки выполнены из эластичного материа ла, а длина перемычки составляет 0,1 - 3,0диагонали кассеты-держателя.При этом в качестве эластичного материала для перемычек используют полиэтилен или резину, кассеты-держатели выпол нены в виде карманов со сквозными вырезами, имеющих конфигурацию микроканальной пластины, а поперечные кронштейны смещены друг относительно друга на 30 - 90 и смонтированы на штоке в не сколько рядов,Сущность изобретения поясняется чертежом.Устройство содержит резервуар 1 с твильным раствором 2, который помеще 30 водяную баню 3, подогреваемую нагрева 827433телем 4. На штоке 5 закреплен поперечныйкронштейн 6 с кассетами-держателями 7.Шток приводится в движение электромотором 8. Кассеты-держатели соединены с поперечным кронштейном эластичной перемычкой 9.Устройство работает следующим образом.Замкнутый резервуар с травильным раствором необходимой концентрации нагрева Оется до нужной температуры, Через крышку резервуара вводится шток, на кронштейны которого в кассетах-держателях подвешиваются заготовки МКП. Крышка закрывается, а вертикальный шток выводится через фторопластовую пробку-втулку. Кассеты-держатели соединены с кронштейномэластичными перемычками. Шток вращается при помощи электродвигателя с редуктором. Пакеты с МКП при неподвижном 2 оштоке занимают вертикальное положение,а при вращении - горизонтальное, приэтом поток травильного раствора направлен вдоль поверхности пластины.Количество кронштейнов, которые привариваются к штоку, определяются высотойи шириной сосуда с травящим раствором,т, е. количество пластин, которое одновременно протравливается, составляет несколько десятков штук. 30Наличие эластичных перемычек уменьшает время нахождения заготовок МКП втравильном растворе, поскольку при движении кассет-держателей на эластичнойперемычке возникает вибрация, которая 35способствует более быстрому удалениюпродуктов из каналов,Применение плотных резиновых кассетпозволяет получить технологическую зонукрепления МКП, так как в этом месте не 40производится травление растворимой составляющей МКП. Ф о р м ул а изобретения 1. Устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный шток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели, о т л и ч а ющееся тем, что, с целью увеличения интенсивности травления, оно снабжено перемычками, соединяющими кассеты-держатели с поперечными кронштейнами, причем перемычки выполнены из эластичного материала, а длина перемычки составляет 0,1 - 0,3 диагонали кассеты-держателя.2. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что в качестве эластичного материала для перемычек используют полиэтилен.3. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что в качестве эластичного материала для перемычек используют резину.4. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, отл и ч а ющеес я тем, что кассеты-держатели выполнены в виде карманов со сквозными вырезами, имеющих конфигурацию микроканальной пластины.5. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что поперечные кронштейны смещены друг относительно друга на 30 - 90 и смонтированы на штоке в несколько рядов.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент Великобритании1158353,кл. С 1 М, 1967, 2. Авторское свидетельство СССР546582, кл, С ОЗС 15/00, 1975,827433 7 -Составитель Н. ИльиныхРедактор И. Квачадзе Техред А. Камышиикова Корректор Н. Федоро Типография, пр. Сапунова Заказ 11 ПО 5/5 Изд.307 Тираж 530Поиск Государственного комитета СССР по делам изоб113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 45 Подписноетений и открытий