Устройство для травления кварцевых пластин

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 090178 (21) 257275 3/18-2 3 51) М, КЛ,2 Н 03 Н 3/02 с присоединением заявки Мо Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(53) УДК 621.372. .412 (088.8) Дата опубликования описания 20. 06, 80 В. М. Харитонов, А. С . Савоськин, К. Г. Кожемякин,Г. В. Бузмаков, Ю. С. Бочаров, А, В. Зачесов,В. В. Барышев и Н. М. Литинская(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН что в устрвых пластиприемникго соедине Цель достигается тем тво .для травления квар одержащее измерительный енератором, выход котоИзобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов. 5Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является устройство для травления кварцевых пластин, содержащее измерительный приемник с генератором, счет О но-решающий блок, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру (1).Однако в. этом устройстве производится группоцоб травление пластин, при котором происходит перетравливание одних и недотравливание других пластин.Использование известного устройства приводит к увеЛичению брака и не обеспечивает точной подгонки частоты кварцевых пластин.Целью изобретения является повышение производительности труда и обеспечение точности подгонки частоты кварцевых пластин. с входом счетно-решающего блока, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обеэжиривания и сушильную камеру, введены поворотныймеханизм, выполненный в виде карусели качающихся рычагов, и программныймеханизм, выполненный в виде программной пластины с размещенными на нейпо окружности управляющими выступамии блока управления рычагами, при этомвыступы программного механизма расположены над соответствующими отверстиями поворотного механизма, а выходсчетно-решающего блока соединен свходом блока управления рычагами. На фиг. 1 показана кинематическая схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - схема взаимодействия карусельного механизма с качающимися рычагами; на фиг, 3 - функциональная схема управления процессом.Устройство содержит электродвигатель 1, через редуктор 2 соединенный с двумя полушестернями 3 и 4, через которые вращение передается на шесте ню 5, сидящую на одном полом валу карусельной пластиной 7, и на кр шип 8, находящийся в зацеплении ,лом 9, на котором закреплена проьМйая пластина 10. Совмещение карусельной пластины с программной пластиной обеспечивает выступ 11. На пластине 7 по всей окружности на осях 12 в стойках 13 размещены качающиеся рычаги 14 (журавли) . Пружина 15 удерживает рычаг 14 в нижнем положении, а пружины 1 б с фиксаторами 17 удерживают рычаги в верхнем положении.На длинном конце рычага размещена изготовленная из фторопласта люлька 18, на коротком конце журавля установлены ролики 19, взаимодействующие с программной пластиной 10. Последняя оборудована по окружности управляющими выступами 20-22, которые обеспечивают подъем и опускание рычагов (журавлей) . Управление выступами 20 осуществляется блоком управляющих электромагнитов 23. Рычаги с люльками, в которых находятся кварцевые пластины, проходя технологический цикл, опускаются поочередно в ванны 24-27,смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру 28.Устройство содержит также измерительный приемник с генератором 29 и счетно-решающий блок 30.Устройство для травления кварцевых пластин работает следуюшим образом. Вращение вала электродвигателя 1 через редуктор 2 передается на полушестерни 3 и 4. Количество зубьев, диаметр и расположение зубчатых зацеплений 4-5 и 3-8 подобраны так, что обеспечивается поочередная работа пластин 7 и 10, причем на цикл (т, е, один оборот вала редуктора) происходит один поворот на угол с(, карусельной пластины 7 и два возвратно-поступательных вертикальных перемещений программной пластины 10. Выступы 11 и отверстия 31 на карусельной пластине 7 расположены так, что обеспечивается совпадение качающихся рычагов (журавлей) 14 строго в одной вертикальной плоскости с управляющими выступами 20-22 после каждого очередного поворота на угол с(. карусельной пластины 7, Конфигурация управляющих выступов 20-22 программной пластины обеспечивает подъем, опускание и сохранение состояния (при отсутствии выступов) рычага по жесткой программе и те же манипуляции по перестраиваемой (гибкой) программе (для ванны травления), автоматически настраиваемой по результатам измерения пьезоэлементов для каждого пьезоэлемента, находящегося в люльке 18 рычага 14.На первом такте рычаг (журавль) 14, находящийся в зоне приемника 29 поднимается и люлька 18, пустая при начальной загрузке или с пьезоэлементом, уже прошедшим обработку травлением, заходит в окно приемника 29. На втором такте люлька 18 выходит из приемника, кварцевая пластинаостается в приемнике измерительногогенератора, где замеряется частотапластины, а счетно-решающий блок 30вычисляет время дополнительного травления. По принятому решению счетнорешающеГо блока кварцевая пластинапоступает в кассету готовых изделий, или остается в приемнике, илиидет в брак. На третьем такте в приемник 29, если он свободен, поступает новая пластина, для которой определяется количество циклов травления.На чертветом такте люлька поступаетв приемник и захватывает новую илинедоработанную пластину. Во времяпятого такта все рычаги (журавли) поворачиваются на один шаг (угол Х) .Кварцевая пластина опускается вванну 25 травления при помощи электромагнита и управляющего выступа 20 О по сигналу счетно-решающего блока навычисленное количество (по времени)циклов движения карусели. В концеванны травления все рычаги (журавли)поднимаются и, пройдя перегородку, 25 опускаются в ванну 26 ультразвуковойпромывки, а далее - в ванну 27 обезжиривания и сушильную камеру 28 пожесткой программе техпроцесса до поступления кварцевых пластин вновь визмерительный приемникВсе такты движения фиксируютсяконцевыми датчиками, сигналы поступают в счетно-решающий блок 30, который осуществляет управление установкой.Предлагаемое устройство позволяетповысить производительность, так какпроцесс измерения и травления пластин осуществляются непрерывно и последовательно один за другим, устанозка травления не простаив,.ет в ожидании завершения предварительной сортировки. Время травления каждой пластины рассчитывается и реализуется индивидуально, что устраняет возмож ность перетравливания или недотразливания пластин, обеспечивая тем самым точность подгонки частоты кварцевых пластин. Интервал разброса частоты уменьшается в 10-15 раз. Перевалка пластин из кассеты в зазор и обратно, а также выгрузка готовой илибракованной партии изделий происходиттолько один раз, что приводит к сокрашению выхода пластин в брак из-засколов, Выход годных кварцевых резонаторов увеличивается на 9-12,Формула изобретенияУстройство для травления кварцевыхпластин, содержащее измерительный приемник с генератором,выход которого соединен с входом счетно- решающего блока, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру,/ 10 отличающееся тем, что,с целью повышения производительноститруда и обеспечения точности подгонки частоты кварцевых пластин, в него введены поворотный механизм, выполненный в виде карусели качающихсярычагов и программный механизм, выполненный в виде программной пластины с размещенными на ней окружностиуправляющими выступами и блока управления рычагами, при этом выступы,программного механизма расположеныпод соответствующими отверстиями.поворотного механизма, а выход счетно-решающего блока соединен с входом блока управления рычагами. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Глюкман Л. И. Производство пьезоэлектрических кварцевых резонаторов. Энергия, 1964, с. 109-113.741414 фиг СоставиТель Т. Панинаедактор В. Трубченко 1 ехред И.Асталош Корректор 5 ака одписно иал ППП фПатент, г, Ужгород, ул. Проектная,16/52 Гираж 9 цНИИПИ Государст по делам изоб 113035, Москва, ЖннОго комитета СССРтений и открытийРаушская наб., д. 4/