Способ получения хромовых покрытий

О П И С А Н И Е (ц 823458ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советски кСоциалистическиеРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(23) 11 риорнтет ае декам иэееретеиий и еткрмтий(71) Заявитель ВЫХ ПОКРЫТИЙ ПОЛУЧЕНИЯ 4) СП 1 Изобретение относи крытнй из газовой фазь н хромовых покр пени чистоты пиропиэ ческих соединений. Известен способ поп покрытий, вкпючающий пиропиэом хромоорган и обеэугпероживающий дороне 1.ООвС. Процесс обезугперожипьно ускоряется 2.счет взаимодействия хрсмаобразуется окисная пленка, рмаживает процесс обезугпеповыщает количество кислотся к получению по 1, в частности к поытий высокой стеом метаппоорганиучения хромовыхосаждение хромаических соединенийотжиг в сухом воНедостатком атого способа явпяется низкая производительность, Так, еспи очистки 0,1 г хромового покрытая от уг перода до содержания его в покрытии 0,1 весЛ требуется 30 ч, то дпя 50 г отжиг в течение 120 ч обеспечивает очистку от углерода лишь до 1,1 вес.%, а дпя снижения содержания угперода менее От 1 .вес.% требуются сотни часов.Наиболее бпиэким к изобретению является способ попучения хромовых покрытий газофазным осаждением с поспедуюшим отжигом покрытий во влажном водования значитеОднако эас парами ведыкоторая эатароживания ирода в покрытии.Дель изобретения - повышение чистотыпокрытий и йроизводитепьности процесса.Поставпенная цель достигаетСя тем,что обезугпероживаюший отжиг хромовыхнокрытий, попученных пиропизом хромобрганических соединений, ведут при 110013 ОО С цикпически по впажном и сухомводороде, при атом время отжига во впаж 5ном водороде составпяет 1-5 в сухом3-10 ч, а копичество циклов 2-4,Время обработки во впажном водородевыбирается с таким расчетом, что спойокиси хрома составпяет не бопее 1-3 мкм,Так как величина окисной пленки зависитот времени отжига и его температуры,то с повышением температуры ато время уменьшается./1100 100 Менее 0,1 Менее 0,1 0,1 0,1 10 100 Продолжительность отжига покрытийво влажном водороде в интервале 11001300 С бодрее 5 ч недопустима иэ-зарезкого увеличения, толщины окисленногослоя, а менее 1 ч - нецелесообразна,так как ухудшается технологичность про-.,цесса.Время отжига хромовых покрытий всухом водороде определяется временемвосстановления тонкой окисной пленки3 ч при 1300 С и 8-10 ч при 1100 С.Количество циклов определяется кактемпературой процесса, так и толщинойпокрытия. Менее чем за 2 цикла обезуглеродить хромовое покрытие до содержания углерода менее 0,1 вес.уо не удается,а более чем 4 цикла проводить нец лесообраэно, .так как за 4 цикла достигаетсяобезуглероживание сравнительно толстыхпокрытий (до 0,3 мм),Как видно из таблицы, циклическое про- ведение процесса отжига позволяет сравнительно за короткое время получить хромовое покрытие с содержанием углерода и кислорода менее 0,1 вес,%, Микро твердость полученных осадков - 100 - 120 кг/мм. Высокая чистота получающихся покрытий и высокая производительность процесса позволит широко испольэовать предлагаемый способ,4П р и м е р. Хромовое покрытие наносят на частицы окиси алюминия раэ:лером400-1000 мкм. Пиролиэу подвергаютбис-атилбензолхром в атмосфере инертного газа аргона или гелия) при 350450 С.Частицы при атом приводятся в псевдоожиженное состояние путем механического встряхивания камеры с частицами навибростенде. Частота вибрации 50-70 Гц.Толщина покрытия при атом 50-70 мкм.Частицы с нанесенным покрытием отжигаются в атмосфере водорода, вначалеувлажненного посредством барботирования 5 Через воду, затем сухого, затем сноваувлажненного и т.д. Количество циклов(влажный водород - сухой водород) - 2-4.В таблице представлены условия проведения и результаты отжигов, осуществленных предлагаемым способом. формула изобретенияСпособ получения хромовых покрытий,включающий осаждение хрома, например, 50пиролиэом хромоорганических соединенийи обеэуглероживающий отжиг во влажномводороде при 1300-1100 С, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чистоты покрытий и проиэводиРтельности процесса, отжиг во влажном водороде чередуют с отжигом в сухом во.дороде при продолжительности, соответственно, 1-5 и 3-10 ч и числе циклов 2-4.5 8Источники информации,принятые во внимание при акспертизе1. Девятых Г, Г., Опи,н А. С, и Осипова Л. И. Получение металлов особой чистоты через петучие меташюорганичес 234"18 Ькие соединения. Сб, Металлы высокойчистоты, М., Наука", 1878, с, 3.111 12.2. Авторское свидетельство СССРЮ 293462, кл. С 23 С 11/081968.Составитель Л, КазаковаРедактор Г. Кацалап ТехредЛ.Пекарь Корректор В. БутягаЗаказ 2010/34, Тираж 1048 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо пенам изобретений и открытий113035, Москва, Ж-З 5, Раущская наб., д. 4/5филиал ППП Патент, гУжгород, ул. Проектная, 4