Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа

(61) Дополни (22)Завалене е ирисеедине (23) Приорит Мудюрстюе Сс ю дюми ам 6 в ап) Авторизобретен П. Бочаро 7) Заивител Известно ВКУ для РЭМсодержащеедетектор излучения с предусилителем, видеоусилитель, блок развертки и синхронизации, соединенный с отклоняющей системой электронно-оптической колонны,электронно-лучевой индикатор, блок устройствсогласования, блок запоминания и визуализации изображения, выполненный в видезапоминающей электронно-лучевой трубки(ЗЭЛТО), дисплея, усилителей электричес1 Оких сигналов и блоков раеверток и синхрониэации 2,Устройство позволяет исследовать образцы при медленных и однокадровых развертках с использованием ЗЭЛТ, сбеспв 15чиваюпрй запоминание и последующее одновременное воспроизведение электронного изображения на дисплее. Однако втоустройство имеет сложную конструкцию,ввиду того, что блок запоминании и виаеуализации иэображения выполнен в вадесамос гонтелъного прибора, требующегоприменения устройств согласовании и дополнительных рвэвертываюших и усилительИзобретение относится к электронно- оптическому приборостроению, в частности, к устройствам видеосигналов, и может быть использовано в растровых электронных микроскопах,Известны видеконтрольные усройства (ВКУ) для растровых електронных микроскопов (РЭМ), содержащие детектор излучения с предусилителем, блок разверток а синхронизации, видеоусилитель, соединенный последовательно с электронно-лучевым индикатором 11 . В приведенном устройстве при сканировании образца медленными или однокадровыми развертками изображениее получается мелькающим или однократнымеПрименениепослесвечениемность вивувлън и оконта ктнык алаизлучения, такааа строка в релесввчвниа етт 1 ачрааоь инескопов с длительнымобеспечивает всзможанализа участков мало- малой интенсивностью к интенсивность сввчвжимах возбуждения а пссетса аа несколько по(54) ВИПЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА3ъ 1и 1,1 х схм Лпя согпясоваиия работы лвухпучевой ЗЭЛТ с дисплеем.1 елью изобретения является упрощениеуст ройс т ва.Постигается это твм, что известноеустройство дополнительно содержит коммутаторы раэвврток и видеосигналов иблок режимов работы видеоконтрольногоустройства, причем, первый и второйвхоль 1 коммутатора видеосигналов соеди Оиены соответственно с выходом детектора излучений с предусилителем и первымвыходом блока режимов работы ВКУ, второй выход которого подключен к управляющим входам блока развертки и синхрониза щ 1 и и коммутатора разверток, две парывыходов которого соединены с отклоняю 1 пими системами электронно-Оптической колонны и электронно-лучевого индикаторасоответственно, а пара входов подключена 20к выходам блока развертки и сихронизации, другие лва выхода которого соединены с откпоняю 1 цей системой запоминающейэлектронно-лучевой трубки, управляющийвход, а также сигнальные вход и выходкоторой подключены соответственно к второму выходу блока режимов работ ВКУ идвум выхолам коммутатора видеосигналов,при атом второй выход которого соединенс входом видеоусилители,г 1 а чертеже пригелена функциональнаясхема устройства,Рилеокоцтропьное устройст 1 ю содержитэлектронно-онти 1 ескую колонну 1, лвтвктор излучений 2 с нрелусипитепем, коммутатор в 1 цтос 11 гнапов 3, блок 4 режимоврабо 1 ы ВКУ, за 11 ом 11 наю 1 пую электроннолучевую трубку 5, блок 6 разеерток исинхрониза 1 дп 1, еилеоусипитепь 7, электронно-лучевой индикатор 8, коммутаторЮразверток О.Устройство работает следующим обрезом,Электронный зонд сформирован 1 гый взпектронно-оптической колонне 1, сканирует по поверхйости образца. При этомв результате взаимодействия зонда с поверхностью образца эмиттируются электроны, число которых находится в прямойзависимости от рельефа образца и посту 59пают на детектор 2 с предусилителем, который преобразовывает их в видеосигнал,усиливает и подает на вход коммутаторавидеосигналов 3.Елок режимрв работы ВКУ 4 может55устанавливать три режима работы видеоконтрольного устройства РЭМ посредствомпереключения видеосигнала, изменения уп 12 4рявпякютих 11111 ряже 11 ий 3:1 ЛТ . 1 яв 1 ония блоком 6 рпзвертки и синхронизяш 111и коммутатором раэверток 7,В первом режиме осу 1 нсствпяется записьвидеосит нала и запоминание его. При этомвидеосигнал через коммутатор видеосигналов3 поступает на сигнальный вход ЗЭЛТ ,блок 6 развертки и сихрониэации нодключается к отклоняющим системам электронно-оптической колонны и ЗЭЛТ, осуществляя при этом соответственно синхоонное сканирование электронного зондапо исследуемому образцу и электронноголуча по мишени ЗЭЛТ, В этом режимепроисходит преобразование рельефа исследуемого образца в потенциальный рельефна мишени ЗЭЛТ и запоминание его,Во втором режиме осуществляется воспроизведение этого потенциального рельефа, записанного по мишени ЗЭЛТ, на электронно-пучевом индикаторе 8, При этомблок 4 режимов работы ВКУ отключаетв коммутаторе видеосигналов 3 детекторизлучений 2 с прелусипителем, а в коммутаторе разверток 9 отклоняющую систему электронно-онтической колонны 1 иподключает отклоняющую систему электронно-лучевого индикатора 8, Кроме того,этот блок устанавливает на электродахЗЭЛТ напряжения, необходимые дпя данного режима работы, т, е. режима считыванин и передачи выходного сигнала с мишени ЗЭЛТ на видеоусилитель 7, В этомрежиме создается непрерывное изображение рельефа образца на ЭЛТ.Третий режим позволяет работать вилеоконтропьному устройству РЭМ без запоминания, при этом блок 4 режимов работы ВКУ включают в коммутаторе видеосигналов 3 детектор излучения 2 с предусилителем непосредственно на вход видеоусипитепя 7, а блок 6 развертки и синхронизации полкпючается через коммутатор разверток 0 на отклоняюцпге системыэлектронно-оптической колонны 1 и электронно-пучевого индикатора 8, осуществляяв них синхронное сканирование. В данномслучае видеосигнал поступает непосредственно на вход электронно-лучевого индикатора 8.Этот режим прелнаэначен для работыс образцами, позволяющими исследоватьих быстрыми развертками,Формула изобрете нияВидеоконтропьное устройство лпя рвстювого электронного микроскопа, солержа Ъ 11)7 1бац .Рть Гор 13 вфвеГя с 111 вепу 1 лввтГевв, электроно ву вввО О 1 пик во 1 вп и пвв 1 ъГв 11 ъ.вуевлт,1 ь блпн рйзГвертни и сввввхрощ- вхОдов вводклювсввп к ГвьвхвГвВв 6 лОКО 1 з-ф ц 1 Оаи 11, совлннсвввпвй с откр(оняювцей сис- иертки и сиввхронизГвы 1,другс Гвва Гвввхотемой эввснтронвво-ОГвтической колоннвн, да которого соединены с отклоняюпюй си- электроно-лучеюй индикатор, запоминаю-темой запоминаюпюй электронно учевой щук электронво-лучевую трубку, о т л и- трубки, управлякиций вход, а также сигч а ю вл е е с я тем, что, с целью уп- нальные вход н выход которой подключеровдения устройства, оно дополнительно ны соответственно к второму выходу блока содержит коммутаторы разверток и видео режимов работы видеоконтрольного устсигналов и блок режимов работы видео ройства и двум выходам коммутатора вн контрольного устройства, причем, первый деоскгналов, при этом второй выход нотон второй входы коммутатора виаеосигна- рого соединен со входом видеоусилители. лов соединены соответственно с выходом Источники ннфармашвн, прннятьве но детектора излучений с преаусилителем и внимание при экспертизепервым выходом блока режимов работы в 1. Деркач В. П., Княвввко Г. ф.видеоконтрольного устройства, второй вы- Кухарчук М. С. Электронно-лучевые устход которого подключен я уравляювлим ройства; Киев;Наукова думкау 1974, входам блока развертки и сихронизации и с. 139-140.коммутатора раэвертон, две пары выходов 3,5 салвввп) Песпт 810 оягору 07 Г Бу. которого соединены с отклоняюшвГ. ви сис- О ай 6 Р 8 о Ию 5 й апщо 1 БсОищля Рк 1 ГОВ щс темами электронно-оптввческой колонны и Уо 5 ору Яутфоявищ 978, СЬсао,УЮеюг,р.МФ 5