Электростатическая линза

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП И(,:АНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 5,78 (21) 2 0373/18 01 3 29/ присоединением заявки М23) ПриоритетОпубликовано 2 д,09 аеудеретвееьй еееетет СССР в делам язебретеей(72) Авторы нзобретени А. Зай М, Москаленк Заявитель ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ ЛИНЗА Изобретение о зам,конкретннзам, и может ннолучевых приб х для фокусировки 10 нструктения - упростить ктической линзы прифокусировки.ется тем, что подлообразом, что элекымют один другой,Цель изобре электроста е качест ваЭго достига иена таким жка тродыа изоимно пере осится к электронным к электростатическим быть использовано в эле пучка.Известны электростатические осесимметричные линзы, образованные трубчатыми металлическими электродами, соединенными при помощи изоляторов 1. В приборах с высокой разрешающей способностью электроды должны быть изготовлены не ниже, чем по второму классу точности. Это снижает технологичность конструкции, увеличивает ее стоимость и вес.Наиболее близкой по технической сущности к изобретению является электростатическая линза, содержащая, по крайней мере, два соосных трубчатых электрода различного диаметра, образованных проводящими покрытиями на внутренней поверхности подложек и отделенных один от другого изолирующими промежутками 2.Больший из электродов нанесен непосредственно на внутреннюю поверхность стеклянной горловины прибора, а меньшийиз электродов нанесен на специально изготовленный стеклянный трубчатый элемент, соосный с горловиной и присоединенный к ней изнутри. В данной конструкции 5линзы электрод меньшего диаметра не перекрывает изолирующего промежутка между электродами, что отрицательно сказымется на фокусировке пучка линзой засчет влияния электростатического полязарядов, наводимых на поверхности изолятора. Кроме того, такое конструктивноевыполнение электростатической линзы практически трудно осуществимо с высокойстепенью точности и не технологично изза наличия дополнительного спая стеклянных элементов.Составитель И. Гаврюшиндактор О, Стенина Техред 3, Фанта Корректор М. Вигула 923 Подпвенного комитета СССРтений и открытий35, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 5747/47 Тира ЫНИИПИ Государ по. делам изоб 113 О 35, Москва, ЖФилиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная 3 6874 лирующие промежутки образованы поверхностью переходов между электродами.На фиг. 1 изображена двухэлектродная линза, на фиг. 2 - трехэлектродная линза,Электроды линзы образованы проводящим покрытием 1, нанесенным на внутренюю новеюность подложки 2, Переход между электродами свободен от проводящего покрытия и образует изолирующий промежуток. Зпектрод меньшего диаметра 1 о 3 входит в электрод большего диаметра 4, янляясь одновременно электростатическим экраном, предохраняющим пучок от нлияния наведенных на изолирующей подложке зарядов. Потенциалы от внеп 1 них 15 источников подводятся к электродам через проводники, впаянные в изолятор или посредством контактных пружин, которые используются одновременно для закрепленич других элементов электронного прожекто- И рааЭлектростатическая линза может быть изготовлена методом вакуумной калибровки стекла с последующим нанесением проводящих покрытий иа его внутреннюю поверхность. В этом случае обеспечивается соосность электродов и точность их иэ- гетовленияе 91 4Предлагаемая электростатическая линза позволяет упростить конструкцию электронно-лучевого прибора, повысить его технологичность, вибропрочность и разрешающую способность. Формула изобретения Электростатическая линза, содержащая,по крайней мере, два соосных трубчатыхэлектрода различного диаметра, образованных проводящими покрытиями на внутренней поверхности подложек и отделенныходин от другого изолирующими промежучками, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что,с целью упрощения конструкции при сохранении качества фокусировки, подложкавыполнена так, что электроды взаимно перекрывают один другой, а изолируюпиепромежутки образованы поверхностью переходов межлу электродами,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе1, Патент США2732511,кл. 313-82, опублик. 1956.2. Патент США3023336,кл. 313-78, опублик. 1962, (прототип).