Интерферометр для контроля качества оптических деталей

Союз Советских Социалистичесеа РеспубликОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 84296 ОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ" .(22) Заявлено 03.02.78 (21) 2577832/25-2 51) М. Кл. 1 В 9/02 соединением заявкиГосударственный квинтет СССР оо делам нзооретеннй н открытий(71) Заявител ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для контроля качества поверхностей крупных оптических деталей и систем.Известен интерферометр, содержащий источник света, конденсор, диафрагму, плос кое зеркало, тубусную линзу, микрообъектив, полусферическую линзу с эталонной поверхностью, светоделительную пластину,выключающийся объектив, окуляр 11.Недостатком данного интерферометра является. совмещение осветительной и наблюдательной систем, что ограничивает"его применение для контроля крупногабаритных оптических поверхностей. ущт- иизким аемом р для к изл е- о му ос. ет х Наи ности к ся интер тически тически включа скопиче делител на блюд ность 2предлаг ферометдетале и источни ющую си кую сист ьный бл тельную по техническои с у устройству являе контроля качества о ержащий монохром учения, рабочую вет плоских зеркал, тел микрообъектив, свет становленную за ни , и эталонную повер Недостатком известного устройства является то, что интерферометр может применяться для контроля оптических поверхностей с отношением диаметра и радиуса кривизны только до 1:3, при контроле систем с отношением, превышаю 1 цим указанную величину, собственные аберрации интерферометра резко возрастают, что делает интерферометр совершенно непригодным для контроля высокоточных светосильных систем и поверхностей. елью изобретения является повышение сти контроля.казанная цель достигается тем, что свеительный блоквыполнен в виде двух вых полусфер, на, плоскую поверх- одной из которых нанесено светоделиое покрытие, центры кривизны сферих поверхностей совмещены с предметоч кой м икрообъекти в а на светодел ител ьслое, а в качестве эталонной поверхноспользуется часть сферической поверх- и со стороны выходного пучка.а чертеже показана принципиальная а устройства. точноУтоделлинзоностьтел ьнческиной тУстрОЙство содсржит мсцохрол 121 1 искиР истцик 1 излучция, систему )лоских зеркал 2 и 3, Гслсскопическую систему 4. микроссьсктив 5, светлслительцый олок 6, выполцсцпый в виде лвчх линзовых полусфер, ця плоскую поверхость одной из которых 1 ишсссцо свстолслительцое покрытие, цецтры кривизцы сферических повсрхцостей совмсцсцы с прслчст 1)ой точкой микрообъсктц)я ця свстолслительцом слос; исследуемую повсрхцость 7, цабгК)дятельиуо ветвь 8, я В кач.ствс этялонцОЙ пОВсрхцости я используется чяс 1 ь сферической поверхцости со стороны выхолцого пучка; в Обратцом ходе лучей за телескопической систсчой 4 установлен смеццый свстодслитсль 9 и 1 остироВочняя НР 0.1 юлятсгьцяя систсля 10 с пс.рс. крсстием.Прсллягясчый ицтс рферочетр работает сг 1 сдчк)псич Обря:50 м.1 л чок свстс) От моцох 170 ыятичсского источцикя 1 излучения после отракения от плоских зеркал 2 и 3 расширяется телескопической спстечой 4, затем микрообъектив 5 преобразует его в схолящийся пучок, лучи которого по нормалям прохолят одну половицу сферической поверхцости свстоделитсльного блока 6 и собираются в центре кривизны эталонной поверхности а, образуя црслметцую светящукся точку О. От поверхности а свет частично отражается и, возвращаясь по нормалям, создает волновой фронт сравнения с цецтроч в точке О. Другая часть света без преломления проходит поверхность а и падает на исследуемук поверхность 7, Если центр кривизны исследуемой поверхности или фокус исслелуемой системы Ои совмещен с точкой О пучок лучей возвращается по тому ке пути и ицтерфсрирует с волновым фронтом сравцепия.Набл)одецие ицтс рференциоццой картины и фотографировапис се осуществляс тся с помощью наблюдательной системы О.Юстирос)ка ицтерфсромстра, т. с. совмс 1 цецие предметной свстя 1 цсйся точки и центра кривизны эталоццой повсрхцости а, и прОвсрка сохрсНсция 10 сти 170 Вки проРвводятсяя в автоколлимациоццой схеме от стягОц. цой поверхности а с помощью элементов 1- 6, сменного светолелителя 9 и остировочцой цяолкдательной системы 10 с псрскрссИсл. с:5 с 1 ТОлсИтсл 9 и)ц к)сти 170 вкс иц 1 СрС 1)ерОЧСП ра Л С 1;51 яв ИВ;С) с 5 ВМС 1 11 кого зс ркяля 3. (, Номоцсью перемещения систслп 4, 5, 1 О, КРк Одцс) цело., РВтОкОЛ- .1 мяпиццый слик с)г этялоццой поверхности я приволится в цс цтр перекрестия с чипичялг 1 ыч его р 1 злерол. В рабочем рскимс ицтсрферочетра лоск)с зсрксЛс 3 лстяцавливястся В рабс)чем полокении ДГя учецьшсция потерь световой эцсргии. 1 римецсис линзового свстодслитсльцого б,нкя позволяет создать этялоццый и рабочий пучок лучей ицтерфсромстра с апертурой до 0,7, так кяк прслчстцяя свстяпьяяся точка хорошего качества сформироваца внутри стекла этого блока. Примепсцие прсллагасмого ипсрферомстра лля коптроля крупцогабя- РИТЦОЙ ОПТИКИ ПОЗВО 51 ЕГ ПРОКОЦТРОЛИРОВЯТЬ, а следвятсльцо, и изготовить с высокой точностью крупп)гасяриц 1 е оптические летали и системы с яцсртлрои ло 0,7.28Фс 2712/лс 2 ияобетенилИнтсрфсромстр лля контроля качестваОптР 1 чс.ских лс Галс.и, содержа пии моцохроматический источник излуспия, рабочую ветвь, вк почаюцсую систему плоских зеркал, телескописску 10 систелл и микрообъсктив, светоде.исльныЙ Олок, мстя нОВлен 1 уО за ним цаблюдательцуо ветвь, и этялоцпую поверхность, отли 1 с 2)оиийся тем, что, с целью повышения точпости контроля, светолелительпый блок выполнен и виде двух линзовых полусфер, а плос кую поверхность одной из которых цацессцо светоделительцое покрытие, центры кривизны сферических поверхостей совмещены с предметной точкой микрообъектива на светоделительном слое, я В качестве эталонцой поверхности использустся часть сферической поверхцости со стороны выходцого пучка.Источники информации, прицятые во внимяцис при экспертизе1. Оптико-мехапическая промышленность, 973, Ло 10, с. 25 - 27.2. Новая техника в астрономии. Вып. 3,Наска, 1970, с. 207.Составитель Н. Захаренко Редактор А. Мурадян Техред О. Луговая Корректор М. Селехман Заказ 5268/30 Тираж 866 Подписное ЦН И И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патентэ, г. Ужгород, ул. Проектная, 4