Устройство для измерения продольной аберрации микрообъективов

Н,т1 Фя ф МИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик(51) М. Кл. С 01 М 11/02 ГооударотаенимХ оитот Совета Миотрав СССР по делам ообротеХ и отрмтий(43) Опубликовано 05.09.78.Бюллетень 33 535.317 (088.8) 5) Дата опубликования описания 26.07,78 2) Авторы изобретения М. ннов и Е, В, Крнвопусто Ленинградский институт точной механи(71) Заявител 54) УСТРОЙСТВО ПЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОДОЛЬНО АБЕРРАЦИИ МИКРООБЪЕКТИВОВИзобретение относится к оптико-механической промышленности и может быта использовано для контроля качества микрообьективов, при исследовании неизвестных систем, для проверки качества расчета новых систем и для проверки правильности назначении допусков на изготовление.Известны устройства, реализующие интерференционные методы контроля, которые позволяют косвенным путем измерить продольную сферическую аберрацию микрообьектива Щ ни во Наиболее близким по технической сущности является устройство для продольной аберрации мнкрообьективов, содержащее источник света, конденсатор, марку, .микрообьектив, сферйческое зеркало, наблюдательную систему 2.Недостатком устройства является то, что оно не позволяет производить качественную оценку продольной аберрации.Целью изобретения является измерее продольной аберрации микрообьектиЭта цель достигается тем, что центркривизны сферического зеркала, снабженного устройством для измерения продольных перемещений, совмещен с плоскостью5 изображений микрообьектива, в плоскостипредметов которого расположена марка,а в плоскости выходного зрачка - диафрагма, выделяющая исследуемые эоныНа чертеже изображена оптическаято схема устройства для измерения продольной аберраци микрообьективов.Оно содержит источник света 1, кондевсор 2, светофильтр 3, марку 4, рас-.положенную в плоскости предметов микт 5 рообьектива 5, диафрагму 6, сферическоезеркало 7, центр кривизны которого совмещен с плоскостью иэображений микрообъектива 5, отсчетное устройство .8,наблюдательную систему - стереомикрос 26 коп 9,Устройство работает следуюптим обра, эом.Лучи от источника света 1 проектиру.ются конденсором 2 через светофильтр".25 3 на марку 4 в виде штриха. Марка 4расположена в плоскостй предметов микрообъектива 5. Лучи от марки 4 прохо дят микрообьектив 5, диафрагму 6, расположенную в плоскости выходного зрачка микрообъектива 5 и выделяющую исследуемые зоны, и собираются в плоскости иэображений микрообьектива 5, с которой совмещен центр кривизны зеркала 7, и, отразившись от него по нормали, снова проходят через диафрагму 6, микрообьектив 5 и собираются в плоскости 1 О предметов микрообьектива 5, где и образуется. перевернутое автоколлимационное изображение марки 4. Марка 4 и автоколлимационное иэображение наблюдаются в стереомикроскоп 9. 15Диафрагмой 6 выделяют, исследуемую зону, т, е. открывают два симметричных относительно оптической оси отверстия 10, которые и определяют высоту йадения пучков лучей на микрообъектив 5. 20Перемещением зеркала 7 добиваются совпадения его центра кривизны с плоскостью иэображений микрообьектива 5 для исследуемой зоны. Момент совпадения характеризуется совмещением марки 25 4 и его автоколлимационного изображения по глубине и наблюдается стереомикроскопом 9; Далее выделяют другую исследуемую зону, При этом, если существует продольная сферическая аберрация, ЗО то плоскость изображений для атой зоны не совпадает с центром кривизны зеркала 7 и наблюдается расхождение марки . 4 и его автоколлимационного изображения, т, е. они кажутся по-разному удаленными от наблюдателя. Перемещением сферического зеркала 7 добиваются совмещения марки 4 и автоколлимационногизображения. Продольную сферическуюаберрацию определяют как разность перемещений зеркала 7.;Величину перемещений измеряют устройством 8, напримероптикат ором.,Измерение продольной хроматическойаберрации производится так же как измерения продольной сферической аберрации,однако при атом в процессе измеренийменяют светофильтры, а исследования ве-дут для одной зоны.формула изобретенияУстройство для измерения продольной аберрации микрообъективов, содержащее источник света, конденсор, марку, микрообъектив, сферическое зеркало, наблюдательную систему, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью измерения продольной аберрации микрообъективов, центр кривизны сферического зеркала, снабженного устройством для измерений продольных перемещений, совМещен с плоскостью изображений микрообъектива, в плоскости предметов которого расположены марки, а в плоскости выходного зрач-. ка - диафрагма, выделяющая исследуе- фмые зоны.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе,1, Журнал "Оптико-механическая промышленность", % 1, 1935, с. 5-9,2. Авторское свидетельство СССР, М. 67224, кл. Ог 01 М 11/02, 1946.623124 нтель В, ЯншнО. Андрейко т ПодписноеСовета Министров СССРи открытийнаб, д, 4/б комите елам нэобретени Ж, Раушск иМосква 03 ктная, 4 тент лнал П од, ул. РедакторО. Филиппова Тек аз 4896/41 Тираж ЦНИИПИ Государственног о рект . А. Власенко