Устройство для изготовления металлических лент осаждением из газовой фазы

ЕС":СООЗНЛЯ1.1 С Ркк"Р О П И С А"Н"ИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия Союз Советских Социалистических Республик(61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заяв о 17,04,76 (21) 2351474/22-02 С 23 С 11/02 С 23 Съ 13/00 С 21 С 37/00 ением заявтетприс ударстаенныи комитетвета Министроа СССРо делам иэобретенийн открытий При(45) Дат бликован писания 27,06,78 анов,ов, И. А. Габесильщик, Р. Кионов, Ю, А,аг) Авторы изобретени в Государственный пр институт Гипроникел ый и научно-исследоомбинат "Североникел ьскийм,В, И. Ленина витали СТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЛЕНТ ОСАЖДЕНИЕМ3 ГАЗОВОЙ ФАЗЫ(54 к цветной мепроизводствуением из гаи инертного газа и механизм съема лен-, ты с барабана 121.Эти устройства не позволяют получать металлическую ленту с ровными краями и постоянной по ширине толщиной.Цель изобретения - получетие ровных краев и обеспечение постоянной по ширине толщины ленты. зобретение о итс ргии, в част лических ле мет нт ос зово Иы,но устр йство т пут получени металлических ле талла из газовой ционную камеру с нижней части подл виде непрерывной ленты и термообр осаждения мержрщее реакнной в ее полненной и злы снятия азы, соде рас положе жкой, вь Поставленная цель достигчто барабан установлен в корторцовыми зазорами, а узелного газа выполнен в виде посо штуцерами для подачи и отдля выхода газа в торцовыеположенные на уровне рабочести барабана.При атом механизм съемарабана выполнен в видустановлено на боткк ф ленты с ба" лезвие ко- поверхное ножа, рабочей торого сти бар Кро полостьютройство дл лент, попе В этом устройстве происходит химическая реакция восстановления с образованием металлических частиц в газовой 5 фазе, которые переносятся погоком газа на подложку, где в :браэуется компактное покрытие за счет оплавления, Покры-. тие в дальнейшем подвергается термообработке. гоИзвестно также устройство для изготовления металлич .ских лент осаждением из газовой фазы, содержащее установленный в корпусе барабан с приводом вращения, узлы подачи осаждаемого материала г 5 ербловский, Е, М. Вигдор нихтс, Л. А. Иванов, В. Курицына, А. С. Мнухин Романенков и А. К. Старается тем, усе содачи инер лых букс верстиями азоры, рас- поверхноречный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А фиг. 1.В корпусе 1 устройства расположен барабан 2, связанный с приводом вращения 3, узел 4 подачи осаждаемого материала, узел 5 подачи инертного газа и механизм съема ленты 6 с барабана 2, выполненный в виде ножа 7, лезвие 8 которого установлено на рабочей поверхности 9 барабана 2. Нож 7 имеет полость 10 для охлаждения и трубы 11 для подачи и отвода хладагента. Узел 5 подачи инертного геза выполнен в виде полых букс 12 со щтуцерами 13 для подачи и отверстиями 14 для выхода инертного газа в торцовые зазоры 15, образованные15 стенками корпуса 1 и торцами барабана 2, Отверстия 14 расположены на уровне рабочей поверхности 9 барабана 2. Корпус 1 нмеет патрубок 16 для отсоса и уплотненную щель 17 для отвода ленты 6, Усл. ройство снабжено также подводами 18 и, отводами 19 для теплоносителя.Через узел подачи 4 в корпус 1 непрерывно подается газовая смесь осаждаемого материала, содержащая, например,25 пары карбонила металла (никеля), которая обтекает рабочую поверхность 9 барабана 2 и выводится наружу через патрубок 16. В полость буксы 12 через штуцер 13 под небольшим избыточным давМ лением подается инертный гаэ чистая окись углерода), постоянно продувающий зазор 15 между стенками корпуса 1 и торцами барабане 2 и уходящий вместе35 с газовой смесью через патрубок 16. Осаждающийся на барабане 2 в виде лен ты 6 металл снимается с помощью ножа 7 и через уплотненную щель 17 выводится иэ устройства на приемный барабан,формула иэ обретения1. Устройство для изготовления металлических лент осаждением из газовойфазы, содержащее установленный и корпусе барабан с приводом вращения, узлыподачи осаждаемого материала и инертного газа и механизм съема ленты с барабана, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью получения ровных краев иобеспечения постоянной по ширине толшины ленты, барабан установлен в корпусе с торцовыми зазорами, а узел подачи инертного газа выполнен в виде полых букс со штуцерами для подачи и отверстиями дпя выхода газа в торцовыезазоры, при этом отверстия расположенына уровне рабочей поверхности барабана.2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что механизм съемаленты с барабана выполнен в виде ножа,лезвие которого установлено на рабочейповерхности барабана,3. Устройство по пп. 1 и 2 о тл и ч а ю щ е е с я тем, что лезвие ножа выполнено с полостью для охлажде ния,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1, Патент франции М 2008748,кл. В 21 С 37/00, 1970.2, Патент Франции % 2101412,кл. С 23 С 13/00, 1972.618448 р ,т иг,7 Подписноеета Совета Министрови открытийушская наб д, 4/5 аэ 4216/24 Тираж 11ЦНИИ ПИ Государственного комитпо делам изобретений113035, Москва, Ж, Р жгород, ул, Проектная, 4 илиал ППП "Патент",Составитель В, Мальцев едактор Ж, Рожкова Техред А, Алатырев Корректор А, Власенко