Дозирующее устройство

(11) 52 1467 ОП ИСАНИНАИЗОЬРЕТИНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоцио.ккстицескихРеспублик/38 нсоединением заявкиГосударственный квинтетСената Манне-,ов СССРпо делам изобретенийи открытий) Опуб вано 15,07,763 юллетень %2 45) Дата опубликования описания 13.10.7 2) Авторы изобретения Л, С, Валеев, Г. В. Евдокимов, Г 71 итель ДОЗИРУЮШЕЕ УСТРОЙСТВ Изо ющей тека фоторезиста, что в конечнозывается на точности и надежиустройства. счете скараб Для повышения надежностиусловиях эксплуатации с быстр шими материалами в предлагае стве прошневой цилиндр снабж для подачи растворителя и сжа а камера цилиндра выполнена с 10 ной полостью, образованной стелиндра и кольцевой выточки на верхности поршня, посредством и точности озастываюмом устроен штуцеро го воздухадополнительнками цибоковой п которой в пускной канал периодически штуцером подачи растворите воздуха.На чертеже схематическ сываемое устройство, включ расходный резервуар 1 фото рующую камеру 2 со с и каналом для ввода ф пневмопривод 4, штуце го воздуха и штуцер 6 того воздуха в расходСжатый воздух пос инеи со ля и сжатого изображено оающее в себя озиист е ливным отверстоторезиста, поры 5 подвода нь подвода чисто ный резервуар. тупает через шт еремещает порсжауц ше пиевмопривод етение относится к области дози ники и может быть использовано различных отраслях народного хозяиства вкачестве дозатора быстрозатвердевающихматериалов, например, в установках нанесения фоторезистора при проведении процессовфотолитографии.Известны дозирующие устройства, содерхсащие расходный резервуар, соединенный сдозирующим узлом 11 6 т. В этих устройствах дозирование осуществляется посредством сжатого воздуха, а дозиоующий узелснабжен запорным элементом типа клапаналибо золотника.Известны также устройства. снабженныепоршнем для выдачи чозы 4, 61.Известен также пневматический дозатор,содержащий оасходный резервуар с отверстием в днище, соединенный каналом с дозируюшей камерой, выполненной в виде поршневого цилиндра с нневмоприводом и выпускнымканалом 1,Однако в известном дозатоое после выдачи порции фоторезиста на стенках сливного ка 1:ала остается быстрозастывающая плен" мельянов и В, И. Сладков521467 вправо до упора, затем подача воздуха через штуцер 7 в пневмопривод 4 прекращается, и одновременно подается чистый сжатый воздух через штуцер 6 в расходный резервуар 1 фотореэиста, фоторезист под давлением воздуха проходит отверстие входа фотореэиста, полость А и через спивное отверстие подается строго дозированной порцией на подложку, причем порция зависит только от времени подачи сжатого воздуха 1 р в расходный резервуар 1 фотореэиста, Через несколько секунд прекращается подача сжатого воздуха через штуцер 6 в расход- ный резервуар 1 фоторезиста и подается сжатый воздух через штуцер 8 в пневмо привод 4, поршень 3 перемещается влево до упора, отсекая полость А от сливного отверстия и соединяя это отверстие с полостью Б и штуцером 5.Отсчитав заданное количество выданных 3) порций фоторезиста, автоматически через штуцер 5 подается под давлением раствори- тель, который прбходит полость Б и с большой скоростью вытекает из сливного отверстия, промывая его, 2Через несколько минут подача раствори,теля прекращается, и через штуцер 5 подается чистый сжатый воздух для продувки сливного отверстия от оставшихся капель растворителя, после чего подача воздуха ЗО через штуцер 5 прекращается. соединенным каналом с дознрующей каберой,выполненной в виде поршневого цилиндра спневмоприводом и выпускным каналом, оличающееся тем что,сцельюповышения надежности и точности в условиях эксплуатации с быстрозатвердевающимиматериалами, поршневой цилиндр снабженштуцером для подачи растворителя и сжатого воздуха, а камера цилиндра вь".полненас дополнительной полостью, обра,кованнойстенками цилиндра и кольцевой выточки набоковой поверхности поршня, посредствомкоторой выпускной канал периодически соединен со штуцером подачи растворителя исжатого воздуха. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе,1, Авт,св, М 329401 кл. й 01 Г 17/04,1972. 2. ЦНИИ Электроника, серия "Микроэлектроника", информационный листок,М 002209, Опентанов Ю. В. и др, Дозатор для подачи раствора фотореэиста на центрифугу,3. Авт,св, Ио 87445 кл, О 01 Р 11/04,1950,4. Щербаков, "Г 1 невматика в машиностроении, стр. 153-154.5. Авт.св, М 231139, кл. 01 Р 15/02,1965,Формула изобретения Дозирующее устройство, содержащее рао. Патент США М 177950Зб6, кл. 222 ходный резервуар с отверстием в днище. 108, 1962,. Богдан Корректор Сос иц Техвченко Редактор Подписное 074/534 ИИПИ Го ССС 13035,лиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул, Проектная Тираж 864 арственного комитета по делам изобретени Москва, ЖРауш Совета Министро и открытийкая наб., д. 4/5