Накопитель матричного типа

Л. -ю НИЕЕНИЯДЕ ТЕЛЬ СТВУ 11 Я 793 0 Сова Советовал Социал лоти чваап.(51) М, Кле б 11 С 11/4 23) Приоритет публиковано 15.067 Государственный комитет Совета Министров СССР(088,8) Бюллетеньло делам изобретен и отнрытий ата опубликования описания 20.07.76 72) Авторы изобретени Р. А. Лашевский, Е. Б. Нусинов и М, В. Сэйга(54) НАКОПИТЕЛЬ МАТРИЧНОГО ТИПА Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в качестве тестовой структуры при производстве и проектировании больших интегральных схем, Большие интегральные схемы (БИС), имеющие тысячи элементов, изготавливают в едином технологическом процессе на полупроводниковых пластинах, содержащих десятки таких БИС, Уже на этапе проектирования БИС, а затем и при их изготовлении, необходимы данные об однородности и воспроизводимости параметров элементов в пределах одной БИС. Вследствие высокой степени интеграции БИС для определения разброса параметров элементов необходимо измерять большое количество элементов, но они должны быть расположены по возможности так же близко друг к другу, как в БИС и на площади, близкой к площади БИС, Очевидно, что сама БИС непригодна для этих целей ввиду того, что нет доступа к каждому элементу схемы. Контрольная структура, расположенная в каждой БИС на пластине, имеет всего несколько транзисторов и поэтому по ним можно получать сведения об однородности параметров элементов только по пластине, но не по каждой БИС на пластине. Использование накопителя матричного типа позволяет разместить полупроводниковые элементы на кристалл с плотностью, соответствующей плотности элементов БИС. Однако при большом количестве элементов в матрице будет и большоеколичество координатных шин матрицы, и проверка такого накопителя матричного типа назондовой установке при количестве зондов,меньшем количества координатных шин, требует обязательной перестройки зондов послекаждого измерения, При этом необходимостьустанавливать зонды на каждую контактнуюплощадку столько раз, сколько шин в матри 10 це, исключает применение такого накопителяв качестве тестовой структуры из-за низкойнадежности работы устройства, так как каждая площадка может быть использована неболее двух раз,15 Известны накопители матричного типа, содержащие координатные шины с контактнымиплощадками и полупроводниковые элементы,расположенные в перекрестьях координатныхшин. Однако наличие в известных устройствах20 дешифраторов, расположенных на том жекристалле БИС ЗУ не дает возможности непосредственно подключаться к измеряемымэлементам в матрице и определять их параметры, в результате чего происходит искаже 25 ние картины распределения параметров исследуемых элементов накопителя.Целью изобретения является повышение надежности работы устройства, В предложенномустросйтве это достигается тем, что в нем каж 30 дая координатная шина содержит дополнительные контактные площадки, электрическисоединенные между собой.На чертеже представлена схема предложенного устройства.Накопитель образован в виде матрицы, содержащей т строк и а столбцов, с общим количеством т и элементов. Координатные шины строк и столбцов оканчиваются контактными площадками. Контактные площадки на координатных шинах по строкам сгруппированыв к групп по количеству зондов по строкам ив 1 групп по количеству зондов по столбцам:А, - А - й групп координатных шин по строкам;А - соответствует первому зонду по строкам;А - к-му зонду по строкам;В, - В - 1 групп координатных шин по столбцам;В, - соответствует первому зонду постолбцам;В - 1-му зонду столбцам.тВ каждой группе А - А - находится8координатных шин по строкам, В каждойигруппе В, - В, находится - координатныхшин по столбцам. На продолжении каждойПкоординатной шины по строкам имеется -контактных площадок, соединенных электрически между собой, а на продолжении каждойтнкоординатной шины по столбцам имеетсяконтактных площадок, электрически соединенных между собой,Зонды устанавливаются на площадках так,чтобы при перемещении головки с зондамиили столика с пластиной вдоль одной из осей(вдоль строк или столбцов), не происходиловыхода зондов за пределы контактных площадок любой из координатных шин. Одно (например, первое) положение зондов отмеченона рисунке точками в центрах контактных 5179384площадок, При каждой такой установке зондов на контактные площадки накопителя имеется возможность выбрать для измерения любой из АХ 1 подключенных элементов накопи 5 теля, не перемещая зонды, а производя толькоих электрическое переключение, Каждое следующее перемещение зондов или столика с пластиной вдоль столбцов (или строк) заключается в переходе каждого из зондов в стро ках (или столбцах) на соседнюю шину, приэтом все зонды по столбцам (или строкам) перемещаются на следующую контактную площадку той же координатной шины, Одно из возможных положений зондов (например, вто рое, т. е. следующее за положением, указанным точкой) отмечено на рисунке крестиком.Оно означает переход к новой координатной шине по строкам при той же координатной шине по столбцам. При этом выбираются сле дующие АХ 1 элементов. Для измерения всехт лэлементов потребуется . К - перемей 1щений зондовой головки или столика с пластиной, при этом каждый зонд устанавливается 25 на контактную площадку только один раз.Предложенное устройство дает возможностьиспользования автоматических зондовых установок без перестройки зондов, так как каждая контактная площадка используется толь ко один раз. Этим обеспечивается возможностьиспользования напыленных контактных площадок, не выдерживающих многократного контактирования,35 формула изобретенияНакопитель матричного типа, содержащийкоординатные шины с контактными площадками и полупроводниковые элементы, распо ложенные в перекрестиях координатных шин,отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, каждая координатная шина содержит дополнительные контактные площадки, электрически соединен ные между собой.