Датчик квадрупольного масс-спектрометра

О П И С А Н И Е 1475685 Союз Советских Социалистических РеспубликИЗОЬЕЕТЕНИЯ ВТОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУсударственныи комитетсвата Министров СССРпа делам изобретенийи открытий(3 зцорит ь 2 30 06 lо Бюз 1 ет Оц бтикова 53) УДК 543.51 (088 76,Дата опублцковация описани(71) Заявите 4) ДАТЧИК КВАДРУПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА оединенем приб Изобретение касается масс-спектрального анализа.Известныс датчики квалрупольцого массспектрометра содержат квалруполь из четырех металлических стержней, смонтированный на изоляторах внутри цилиндрического корпуса. Трудность изготовлеция этих датчиков заключается в сложности точцой центровки стержней квадруполя и источников ионов ц в сложности монтажа всей внутренней арматуры в корпусе.Отличие предложенного датчика в том, что в качестве анализирующей системы использована средняя часть диэлектрической оболочки прибора, выполненная требуемой формы, например крестообразной, с нанесенным ца рабочие участки электропроводящим слоем. Это позволяет увеличить точность центровки и упростить конструкцию.На фиг. 1 дана принципиальная электрическая схема приоора; на фиг. 2 - продольный разрез датчика; ца фиг. 3 - поперечное сечение колбы датчика в области источника ионов (А - А); на фиг. 4 - сечение датчика в области квадруполя (Б - Б); ца фиг. 5 - свил цацоколь прибора (В).Выводы электродов квадруполя 1 - 4 присоединены к внешнему ВЧ генератору, который создает на квадруполе высокочастотное поле необходимой частоты и потенциала,К выводам 5 и б присоединены соответствующие лиафрагмы источника ионов, а к выводам 7 и 8концы катода.Вывод 9 коллектора ионов прис к:ц.ецгнему усилителю ц самопцшущ оВся арматура латчцка заключена в стеклянную колбу 10 с цатрубком 11 лля присоединения к исследуемому объекту.1 о Колоу прибора изготовляют методом вакуумной калиоровкц таким образом, что ее поперечным секрециям придается различная конфигурация ц размеры, которые выдерживаются с высокой точностью.1 з Средняя часть колбы должна иметь попе.речное сечение крестообразной формы, образованное четырьмя продольными желобами гицероолического илц цилиндрического профи.ля, вдавленным внутрь колбы (см. фиг. 4), 20 Концам колбы придают формы точных ци.лццдрическнх раструбов, коаксиальных средней части. Зтц раструбы предназначены для размеще;шя ионного источника и коллектора ионов.25 На внутренние гиперболические или цилинлрцческие поверхности желобов средней части колбы ца участках г - д, е - ж, з - и, к - л, (см, фпг, 4) любым способом, например напылением металла в вакууме, наносят электропропрозоляц;у;о пленку, имеющую прочную475685 20 юг.Р адгезию к стеклу (на фиг. 2 и 4 показана пунктиром). Эту пленку выводят также на донышко и переходное закругление большого цилиндрического раструба (фиг. 3), где к ней прижимаются четыре контактные пружинки 12, соединенные с выводами 1 - 4. Промежутки между цилиндрическими поверхностями (д-е, яс-з, и-к, л-г) не имеют проводящего слоя и служат изоляторами между электро- проводящими пленками. Таким образом создаются четыре электрода квадруполя и их выводы. Диафрагмы 13 и 14 источника ионов смонтированы на выходной линзе 15, в которой они центри 1 эуются и крепятся при помощи керамических изоляторов 16 и 17 и точных заклепок 18. Линза 15 центрируется цилиндрической частью в раструбе колбы па скользящей посадке. Ьлагодаря этому вся система линз устанавливается коаксиально квадрупольной ча сти кол бы с высокой точностью.Линзы соединены проводниками с соответствующими выводами. К двум таким же вводам присоединен катод (вид В).К цилиндрическому раструбу колбы в области ионного источника припаян цилиндрический патрубок 11 для присоединения прибора к объекту исследования. Диаметр патрубка должен быть достаточно велик для быстрой откачки внутренней полости колбы. Для облегчения откачки средней части прибора все линзы снабжаются отверстиями 19. Коллектор ионов, представляющий собойизолированный электрод 20, и заземленный экран 21 размещены в малом цилиндрическом раструбе колбы и прпсоедипепы соотвегствен но к выводам 9 и 9.При откачке испытуемого обьекта датчикфильтра масс может быль обезгаэкен нагреванием до температуры более низкой чем температура начала размягчения стекла. 11 о этому колбу необходимо изготовлять пз гугоплавкого стекла с температурой размягчения 700 в 8 С.Линза 15 и экран 21 должны быль сделаныиз металла с коэффициентом теплового рас ширения, близким к коэффициенту тепловогорасширения стекла колбы.Присоединяют патрубок 11 к объекту испытания любым из известных способов. П р ед м е т изобретения Датчик квадрупольного масс-спектрометра, содержащий источник ионов, коллектор ионов, анализирующую систему и оболочку, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью увеличения точности центровки и упрощения конструкции, в качестве анализирующей системы использована средняя часть диэлектрической оболочки прибора, которой придана требуемая форма, например крестообразная, с нанесенным на рабочие участки электропроводягцим слоем,45685 Кал ь Н. Катинов , Миронова оставит ехре Поди,ясное Тираж 833овета Министров СССткрытийя иаб д. 4/5 аказ 5818 ЦНИИПИ Госуд п 013035омитетаетеннй и полиграфии и книжной торгов Обл. т сстромского управления издате Редактор Т. Рыбалов фигВид д,1602 арственного о делам из Москва Ж Корректор А. Дзесо