Интерферометр для контроля качества выпуклых гиперболических и вогнутых эллиптических

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 04,Х 1.1970 ( 1489660/2с присоединением заявкиИ. Кл. 6 01 Ь 9 иорите оиитет по дела зобретений и бтирытипри Совете МинистровСССР Ъ Д 1 5 д 1.715.1(088.8) Опубликовано 14,111,1972. Бюллетень1Дата опубликования описания 15,1 Ч.1972 авторизобретепптЗаявитель Д, Т. Пуряев1 осковское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамен высшее техническое училище им. Н, Э. БауманаВЫПУКЛ ИЧЕСКИ ТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТ ИПЕРБОЛИЧЕСКИХ И ВОГНУТЫХ ЭЛЛИПОВЕРХНОСТЕЙ т другой поверхности плаы контролируемой поверхноем расстояниетинки до вершти равно кривизны емой потситет; преломле- пластининтер ероме содержит непрерыв- фокуспру- срообъеку 3, одна , экран 4 картины. на фиг. 1 г, 2 - воновле троли го сз - 1 и Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано, в частности, для контроля качества асферических поверхностей второго порядка.Известен интерферометр для контроля качества выпуклых гиперболических и вогнутых эллиптических поверхностей, содержащий монохроматический источник света, например оптический квантовый генератор, фокусирующее устройство, создающее точечный источник света, плоскопараллельную пластинку с одной полупрозрачной поверхностью, экран для наблюдения интерференционной картины, имеющий отверстие в центре и расположенный вблизи точечного источника света, и вспомогательную оптическую деталь индивидуального назначения. Однако этот интерферометр требует применения высокоточных вспомогательных оптических деталей индивидуального назначения, т. е, пригодных для контроля асферических поверхностей строго одинаковых параметров,Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что для упрощения конструкции и расширения диапазона контролируемых поверхностей точечный источник света установлен перед одной полупрозрачной поверхностью пластинки на расстоянии, равном половине расстояния между геометрическими ами контролируемои поверхности, при гбз - 1 гтгде го и е - соответственно радиуспри вершине контролир,верхности и ее эксцентрс и п - толщина и показательния плоскопараллельноки,Принципиальные схемы фпредставлены на фиг. 1 и 2.Описываемый интерферометроптический квантовый генератор 1ного действия, например ОКГ,ющее устройство 2 (например, митив), плоскопараллельную пластинкповерхность которой полупрозрачнаядля наблюдения интерференционнойКонтролируемая поверхность 5выпуклая гиперболическая, а на фигнутая эллиптическая,Плоскопараллельна я пластинка уна перпендикулярно оси симметриируемой поверхности па расстоянииот ее вершины. В этой формуле го - радиус кривизны при вершине контролируемой поверхности; е - эксцентриситет контролируемой поверхности; Ы - толщина плоскопараллельной пластинки; и - показатель преломления плоскопараллельной пластинки,Лучи, выходящие из оптического квантового генератора, фокусируются микрообъективом и образуют точечный источник света, расположенный от пластинки на расстоянииа= (2) где Рг и Р - геометрические фокусы (анаберрационные точки) контролируемых поверхностей.Лучи, идущие из точечного источника света, достигают пластинки и разделяются на два пучка: один из пучков построен лучами, отраженными от полупрозрачной поверхности пластинки, и образует эталонный сферический волновой фронт; другой пучок проходит через пластинку, достигает контролируемой поверхности, отражается от пее и вновь проходит через пластинку, но в обратном направлении, он образует сферический волновой фронт только в том случае, когда контролируемая поверхность имеет идеальную форсму, а пластнка не вносит больших аберраций в преломленные пучки лучей. Эти аберрации во многих случаях пренебрежимо малы по сравнению с требуемой точностью контроля, но в случае необходимости могут быть учтены при обработке интерференционной картины,При соблюдении указанного расположения деталей интерферометра обеспечивается совпадение центров кривизны двух сферических волновых фронтов; эталонного и контролируемого, несущего информацию о погрешностях контролируемой поверхности, Погрешности определяются по интерференционной картине, которую можно получить как в виде полос (небольшими наклонами пластинки), так и в виде колец.Оптические квантовые генераторы и микрообъективы являются законченными узлами интерферометра и выпускаются нашей промыш ленностью в широком диапазоне параметров.Экран интерферометра является простейшей деталью, Изготовлеггис плоско:гараллельой пластинки необходимого качества не стре чает затруднений в современном оптическомпроизводстве. Таким образом, предложенный ицтерферометр исключителыю прост в изготогленип и не требует применения каких-либо дополнительных деталей индивидуального ца значения, поэтому область его применениязначительно шире, чем приборов аналогичного назначения, и определяется главным образом диаметром пластинки. Предмет изобретения го г 8 я - 1 и40 где го и в - соответственно радиус кривизны при вершине контролируемой поверхности и ее эксцецтриситет;45 гг и и - толщина и показатель преломления плоскопараллельцой пластинки. Интерферометр для контроля качества выпуклых гипероолических и вогнутых эллиптц ческих поверхностей, содержащий моюхроматический источник света, например оптический квантовый генератор, фокусирующее устройство, создающее точечнын цсточк света, плоскопараллельнуго пластинку с одной полупро зрачцой поверхностью и экран для цабл.одеция интерфереццопой картиггь 1, имеющий отверстие в центре и располохсепный вблизи точечного источника света, от,гивагоиггцгс,г тем. что, с целью упрощения гсонструкцигг и ЗО расширения диапазона контролируемых поверхностей, точечный источник света установлен перед одной полупрозра шой поверхностью пластинки ца расстояп, раном половине расстояния между геометрческими фо кусами контролируемой поверхности, причемрасстояние от другой поверхности пластинки до вершины контролируемой поверхости равно:Составитель Л. Лобзова Редактор Л. Жаворонкова Техред А. Камышникова Корректор В. Жолудева Заказ 941/2 Изд. Мо 375 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2