Микрорефлектометр

ПИСЗОБРЕ Союз Советских оциалистически РеспубликВИДЕТЕЛЬ АВТОРСКОМУ ъ гА1 1 мое от авт. свидет 26-10) цо 14 Х,1964 ( 901 оединением заявки с пр Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР.Х.196 Дата ия 12,Х 1.1966 икования опи авторизобретения ушкев Заявител МИКРОРЕФД ЕКТОМЕ- оптическая схсветителем, имею ит непрозрачпозади измеряру 4, полупрокоцденсор 7 иель может быть объективом 9. орефлектометра ема, визирный перпендикулярдоское зеркало. Известные устройства, используемые в качестве бесконтактных оптических щупов (перфлектометр Лейтца) в приборах для определения размеров изделий, ограниченных полированными, отражающими свет поверхностями различной формы, содержат визирные микроскопы, осветцтели с маркой ц непрозрачные зеркала. Однако эти устройства не позволяют получить изображения марки в фокальцой плоскости визирного микроскопа над зеркалом.Предложенное устройство отличается от известных тем, что марка установлена на оптической оси объектива микроскопа (в случае, если осветитель не имеет собственного объектива) цлц ца оптической оси объектива осветителя и пересекает эту ось в точке, не совпадающей с фокусом объектива. Кроме того, непрозрачное зеркало установлено с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной оптической оси микрорефлектометра. Все это позволяет получить изображение марки в фокальцой плоскости визирного микроскопа цад зеркалом, а также использовать прибор для наведения ц отсчета при измерении размерои без относительного перемещения микроскопа и объекта измерения.На фиг. 1 представлена оптическая схема описываемого микрорефлектометра для случая, когда осветитель не имеет собственного объектива; на фиг. 2 ма микрорефлектометра с о щим собственный объектив.Мцкрорефлектометр содерн цое зеркало 1, установленное емой детали 2, объектив 3, ми зрачцое зеркало 5, окуляр б, источник 8 излучения. Осветит снабжен также собственнымОсновными частями микр являются осветительная сист микроскоп и расположенное цо оптической оси прибора п 5 Осветительная система (см. фцг. 1) состоитиз источника 8 излучения, конденсора 7, полупрозрачного зеркала 5 и миры 4, на которой нанесена марка. Объектив 3, который в рассматриваемой схеме относится как к осве- О тительной системе, так и к визирному микроскопу, дает изображение марки в плоскости А. Установленное в соответствующем месте ца пути лучей плоское зеркало 1 изменяет их направление на противоположное и дает цзоб ражецие марки в плоскости А, которая совпадает с фокальной плоскостью визирного микроскопа. Таким образом изображение марки может наблюдаться с помощью визирного микроскопа, состоящего из объектива 3 и оку- О ляра б.Схема, приведенная на фиг, 2, принципиально ничем не отличаясь от схемы на фиг, 1, гредусматривает применение двух объективов 3 и 9 отдельно для осветительной системы и визирного микроскопа. Такая схема с пристроенным осветителем позволяет использовать в качестве микрорефлектометра обычный измерительный микроскоп.Применение микрорефлектометра в качестве оптического щупа заключается в следующем.При приближении детали 2 к отраженному от зеркала 1 изображению марки можно наблюдать второе изображение марки, отраженное от зеркальной поверхности Я. При перемещении детали второе изображение будет перемещаться в ту же сторону, что и деталь, Указанный эффект может быть использован при наведении микрорефлектометра на зеркальную поверхность, расположенную параллельно или с небольшим наклоном к оптической оси прибора. Принцип может быть успешно использован для измерения отверстий, в частности глухих.Расстояние М от плоскости А до зеркала 1, которое в основном ограничивает высоту поверяемой детали, может быть определено из следующего соотношения;Л 4 -2 Р (К Р)где Р - главное фокусное расстояние объектива микроскопа (осветителя); К - расстояние между плоскостями В и С, т. е. расстояние от марки до главного фокуса О окуляра;Р - расстояние от марки до главного фокуса О объектива.Предмет изобретения10 1. Микрорефлектометр, предназначенныйдля использования в качестве бесконтактного оптического щупа в приборах для измерения размеров деталей, ограниченных полированными плоскими, цилиндрическими и кониче скими поверхностями, содержащий визирныймикроскоп, осветитель с маркой и располохкенное перпендикулярно оси микроскопа непрозрачное зеркало, отличающийся тем, что, с целью получения изображения марки, ис пользуемого для наведения на объект измерения, в фокальной плоскости визирного микроскопа над зеркалом, марка установлена на оптической оси объектива микроскопа или осветителя и пересекает эту ось в точке, не сов падающей с фокусом объектива.2, Микрорефлектометр по п. 1, отличающиггся тем, что, с целью использования прибора для наведения и отсчета при измерении размеров без относительного перемещения ЗО микроскопа и объекта измерения, непрозрачное зеркало установлено с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной оптической оси микрорефлектометра.87353фигСоставитель В. Ванторинн Техред Т. П. Курилкдакторорректоры: О. Б. Тюрин и Т. Н. Костиков Заказ 3390/15 Тираж 900 Формат бум. 60 Х 90/8 Объем 0,24 изд. л. ПодписиоЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССМосква, Центр, пр. Серова, д. 4пография, пр. Сапунова