Патенты с меткой «микрорефлектометр»

Номер патента: 187353

Опубликовано: 01.01.1966

Автор: Янушкевич

МПК: G01B 11/30, G01N 15/02

Метки: микрорефлектометр

...так и к визирному микроскопу, дает изображение марки в плоскости А. Установленное в соответствующем месте ца пути лучей плоское зеркало 1 изменяет их направление на противоположное и дает цзоб ражецие марки в плоскости А, которая совпадает с фокальной плоскостью визирного микроскопа. Таким образом изображение марки может наблюдаться с помощью визирного микроскопа, состоящего из объектива 3 и оку- О ляра б.Схема, приведенная на фиг, 2, принципиально ничем не отличаясь от схемы на фиг, 1, гредусматривает применение двух объективов 3 и 9 отдельно для осветительной системы и визирного микроскопа. Такая схема с пристроенным осветителем позволяет использовать в качестве микрорефлектометра обычный измерительный микроскоп.Применение...