Способ изготовления алмазного инструмента

(2 (2 рхтонких алмазосодержащих пусе из металлизированного Суть способа, включающего товления корпуса из металлидиэлектрика, нанесения алмая, удаления части корпуса по и и травления лезвия инструается в том, что перед операния алмазоносного слоя на энную поверхность корпуса й компенсационного материа- Я70 - (Ь 1 + п 2), где п 1 - металлизации, мкм; Ь 2 - толосного слоя, мкм,1 ил,1330692 л СССР 78.ИЯ АЛМАЗ(5 Г (5 изготовлению бора и других льваническим ользовано для На черт ехнология На пов дллизэции енсацион олщиной(см. ного м 70- й 1+Ь где п 1 - толщина слоя металлизации, мкм;Ь 2 - толщина алмазоносного слоя, мкм, Нанесение слоя компенсационного материала 3 обеспечивает упрочнение слоя металлизации 2, что позволяет после нанесения алмазоносного слоя 4 (см. фиг.1 в) и удаления части корпуса 1 по его периферии (см. фиг.1 г) вскрыть поверхность слоя металлизации, обращенную к диэлектрику, а затем после выполнения операции травления, получить лезвие инструмента толщиной, равной толщине алмазоносного слоя 4 (см, фиг,1 д),СУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕДОМСТВО СССРСПАТЕНТ СССР)) Изобретеструменторазивныхтодом и Бюл. М 32 нский еликобритании 7. е свидетельство . В 26 О 9/00, 1 ИЗГОТОВЛЕНМЕНТА ние относится к в из алмаза, эл материалов гаможет быть исп Изобретение относится к изготовлению струментов иэ алмаза, эльбора и других разивных материалов гальваническим тодом и может быть использовано для лучения сверхтонких алмазосодержащихвий на корпусе из металлизированного электрика.Способ изготовления прецизионного разивного инструмента, включающий ерации изготовления корпуса из металлированного диэлектрика, осаждения слоя мпенсационного материала, последуюо нанесения алмазоносного слоя, удалечасти корпуса по его периферии и вления лезвия инструмента, позволяет учить инструмент с низкой трудоемкою изготовления корпуса, высокой точною инструмента, обусловленной лезвием,ным толщине алмазоносного слоя, а такуменьшенного веса, что значительно увеивает срок службы высокооборотных инделей установок дисковой резки,получения све лезвий на кор диэлектрика. операции изго зированного зоносного сло его перифери мента, заключ цией нанесе металлизиров осаждают сло ла толщиной толщина слоя щина алмазон ведена пооперационнаяления инструмента.ь корпуса 1 со слоем меиг,1 а) наносят слой коматериала 3 (см. фиг,1 б)П р и м е р. Для изготовления корпуса 1 инструмента фиг.1) использовался фольгированный стеклотекстолит марки СФ-35, из которого изготавливали круг диаметром 56 мм. Посадочный диаметр - 19,05 мм, На поверхности, металлиэированной медью слой металлизации 2), выделяли участок поверхности, ограниченный наружным диаметром круга и внутренним диаметром 48 мм.Исходя из требуемой толщины лезвия 4, равной 20 мкм, и толщины слоя металлизации 2 35 мкм в соответствии с минимальным экспериментально определенным суммарным размером слоев 2; 3 и 4 равным 70 мкм, определяли толщину слоя компенсационного материала 3, равную 15 мкм. В качестве компенсационного материала была выбрана медь. Медь указанной толщины наносили из электролита меднения состава, г/лСоЯО 4 80 - 90К 4 Р 207 350-370И Нз 4 Оз 20 - 25рН 85Режим осаждения:Температура 5055 СКатодная плотность тока 2,5Время 15 минДалее осаждали алмазоносный слой 4 толщиной 20 мкм из электролита никелирования Уотса, состава, г/л:ВЯО 4 140200КС 2 3040НзВОз 25+40рН 4,2+4,5алмазный порошок АСМ 7/5 40 г/лРежим осаждения:Температура 45+50 СКатодная плотностьтока 25 А/дмВремя 20 минПосле нанесения алмазоносного слоя механическим путем удаляли материал корпуса на глубину 400 мкм по радиусу. Экспериментально определенная минимальная толщина слоев 2,3,4 при механической обработке коопуса составляет 70 мкм. При тольцине слоев 2, 3,4 меньше 70 мкм происходило механическое повреждение алмаэоносного слоя вследствие его недостаточной прочности и жесткости.Полученное лезвие инструмента обрабатывали в растворе травления состава, г/л:С 20 з 300Н 2304 бРежим травления.Температура 20 СВремя ЗчВ течение указанного времени травления слой металлизации 2, компенсационной 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 слой 3, вскрывшиеся при механической обработке корпуса 1 полностью удалялись, обнажая алмазоносный слой,Для изготовления корпуса инструментаиспользовался листовой полистирол маркиУПС-06 бесцвет, металлизированныйслоем меди 2 толщиной 1 мкм в соответствии с известным процессом металлизации.Исходя из толщины лезвия 4, равной 20мкм, и толщины слоя металлизации 2 - 1 мкм всоответствии с экспериментально определенным суммарным размером слоев 2, 3 и 4, равным70 мкм, определяли толщину слоя компенсационного материала 3, равную 49 мкм, В качествекомпенсационного материала была выбранамедь. Медь указанной толщины наносили изэлектролита меднения состава, г/л;Со 504 80 - 90К 4 Р 207 350-370МН 4 ИОз 20 - 25РН 85Режим осаждения:Температура 50-55 СКатодная плотностьтока 2,5 А/дм 2Время 50 мин,Изготовленный описанным выше способом инструмент использовался для резкина кристаллы пластин из полупроводникового кремния, Глубина резки 250 мкм, подача 50 мм/с. Инструмент эксплуатировалсяна установке ЭМпри скорости вращения 30000 об/мин. Ширина дефектной зоны40 мкм,Использование предлагаемого способа изготовления прецизионного абразивного инструмента на корпусе изметаллизированного диэлектрика обеспечивает значительное увеличение точностиинструмента при сохранении низкой трудоемкости его изготовления.Формула изобретенияСпособ изготовления алмазного инструмента, при котором на корпус издиэлектричес кого материала наносятметаллический слой и закрепляюталмазоносный слой, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что накорпусе дополнительно закрепляют металлический компенсационный слой, который располагают между первым металлическим иалмазоносным слоями, после чего в радиальном направлении удаляют материал корпуса идвух металлических слоев на величину выступания алмазоносного слоя, при этом толщину 3компенсационного слоя выбирают из условия:Я70 - СЛ 1+ й 2),где Ь 1 - толщина первого металлическогослоя, мкм;п 2 - толщина алмазоносного слоя, мкм.1838088 г Корректор О,Кравц дакто ГКНТ СССР оизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 10 288 ИИ Составитель Е.Ковенскародная Техред М,Моргентал Тираж Подписное сударственного комитета по изобретениям и открытия 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5