Магниторезистивный датчик

Номер патента: 1807534

Авторы: Касаткин, Муравьев

ZIP архив

Текст

)М Изобретение относится к области автоматики и может быть использовано в тахометрах, датчиках перемещения, устройствах измерения постоянного и переменного магнитных полей,Цель изобретенйя - упрощение устройства,Изобретение поясняется чертежами, где на фиг. 1.показана структура датчика в разрезе; на фиг. 2 - принципиальная схема датчика; на фиг, 3 - элементы магниторезистивных сопротивлений; на фиг. 4 - топологии магниторезистивных элементов,Магниторезистивный датчик содержит подложку 1, на которой последовательно сформированы диэлектрический подслой 2, магнитная пленка 3, разделительная пленка 4, магнитная пленка 5, изолирующий слой 6, слой проводников с контактами 7 и защитный слой 8, Структура датчика представляет собой мостовую схему, включающую четыре контакта 9-12, четыре магниторезистивных элемента 13 - 16, имеющих разные характеристики относительно внешнего магнитного поля в определенном направлении. госудлгстзгнног. пдтентногВедОмстВО сссГГОГПАтент сссР).5 Ц 1807534 А 1(57) Использование: область автоматики, а именно для измерения магнитных полей и частоты вращения, Сущность изобретения: датчик значительно проще в изготовлении при тех же технических характеристиках. Это достигнуто благодаря тому, что в магниторезистивном датчике применена структура с двухслойными магнитными пленками, разделенными слоем резистивного материала с удельным сопротивлением, по крайней мере в три раза превышающем удельное сопротивление магнитной пленки. 4 ил,Устройство работает следующим образом. При отсутствии. в датчике постоянного электрического тока, протекающего через контакты 9, 11, намагниченность в магниторезистивных элементах 1 - 16 устанавливается в двухслойных магнитных пленках вдоль оси легкого намагничивания (ОЛН) и антипараллельно.друг другу. При подаче постоянного электрического тока в. датчи к воздействием воз н икающих магнитных полей от токов в различных магнитных пленках на намагниченность датчика можно пренебречь, . т,к, эти поля много меньше поля анизотропии, Пусть внешнее магнитное поле подается в плоскости датчика под углом а к ОЛН, В идеальном случае. когда толщины магнитных, пленок одинаковы, размагничивающих полей нет, и перемагничивание происходит когерентным вращением. Под действием внешнего магнитного поля намагниченность отклоняется на угол /3 а, при этом изменение сопротивления в маг-.ниторезистивном элементе 16 - з 1 п ф а в элементе 13 - соз ф Таким образом, раз 2ност. напряжений на контактах 10, 12 будет (воз /3 з 1 п- ф, При использовании рези.2стивного материала с удельным сопротивлением, по крайней мере втрое большим, чем удельное сопротивление магнитной пленки. небольшой ток будет протекать по разделительному слою, что приведет к уменьшению тока через магнитные пленки, т.е, не.большому уменьшению сигнала считывания, но при этом отпадает ряд технологических операций по формированию отверстий в разделительном слое в случае диэлектрика,Таким образом, при тех же технических характеристиках предлагаемое устройство существенно проще в изготовлении,Формула изпбреения Магниторезистивный датчик содержащий подложку с диэлектрическим покрыти5 ем, поверх которого последовательнорасположены первая магнитная, разделительная и вторая магнитная пленки. изолирующий, проводниковый и защитный слои,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью10 упрощения технологии изготовления датчика, разделительная пленка выполнена изматериала, удельное сопротивление которого не менее чем в три раза превышаетвеличину удельного сопротивления магнит- .15 ной пленки,иг.4 едактор рушенко Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 1383 ВНИИПИ Госу Составитель В, ЮдинаТехред М.Моргентал Корректор М, Тираж Подписноевенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5

Смотреть

Заявка

4935432, 12.05.1991

ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ УПРАВЛЕНИЯ

КАСАТКИН СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ, МУРАВЬЕВ АНДРЕЙ МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 43/08

Метки: датчик, магниторезистивный

Опубликовано: 07.04.1993

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1807534-magnitorezistivnyjj-datchik.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторезистивный датчик</a>

Похожие патенты