Способ изготовления герметизированного токоввода

(5 т)5 Н 011 23/1 СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМИ ГКНТ СССР ПРОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГЕРМЕТИЗИРОВАННОГО ТОКОВВОДА(57) Сущность изобретения: токопроводящие элементы нанесены на боковую поверхность керамического стержня, который размещают в отверстии фланца, а герметизацию отверстия расплавом стеклопорошка состава, мас,% РЬО 56 58, 2 пО 14,0 15,5, В 20 з 14 - 17, Сы 20 з 5,5 - 8,0, Я 102 3 - 4, А 120 з 1,5 - 3,5 в атмосфере паров состава, мас.%: 31 С 14 38 - 49, СОС 12 31 - 34, Н 20 20 - 28, 2 табл. и ин- учно- ктроиння с полосковой ческом корпусе.Известен сп зированного ток ния слоя из спла нанесением изо В-й на поверхн ня с последующ вом Ял - РЬ 1),Однако реал только при испо риала корпуса к щего 42% М 1, Да сложность, мно масть подбора ко талл изации физико-механй (вязкость, растек щих взаимную м (Мо - Мп) в изоля металлизациеи в металлиособ изготовлени оввода путем ф ва Мо - Мп с посл лирующего слоя ости керамическ ей пайкой в кор герметирмироедующим з сплава го стержусе сплаВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Казанский химико-технологическиститут им,С,М,Кирова и Казанский наисследовательский институт радиоэленики(56) Заявка Японии М 60-117760,кл. Н 01 1 23/46, опублик.25.06,85.Авторское свидетельство СССРМ 549438, кл, С 03 С 27/04.В 23 К 1/20, 1977,Изобретение относится к способу изготовления токопроводящих элементов радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.Применяемые в настоящее время способы изготовления токопроводящих элементов реализуются в виде единичных или групповых герметизированных токовводов, как металлостеклянных, так и металлокерамических (Любимов М,Л. Спаи металлов со стеклом. М,;Энергия, 1968). Однако данные конструкции имеют значительные массогабаритные характеристики при ограниченном количестве точек контакта и высокую стоимость.Наиболее перспективным направлением решения проблемы является способ изготовления герметизированного токоввода путем герметизации керамического стержизовать этот способ можно,00 льзовании в качествемате- ,(Л овара или сплава, содержанной технологии присущи гостадийность, необходимпонентов сплавов для меи изоляции по ческим характеристикам аемость, КЛТР), исключаюиграцию проводящего слоя ционный (В - М 1) (Топфер М,Микроэлектроника толстых пленок. М.:Мир,1973).Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ изготовления герметизированного токоввода,включающий размещение токопроводящего элемента в отверстии фланца, заполнение полости отверстия стеклопорошкомсостава, мас.о :ЯОг, 2,1+ 0,5ВгОз 8,8+ 1АгОз 0,8+ 0,8гпо 12+ 1ВаО 1,7+ 0,5РЬО 77 6+2расплавление стеклопорошка, выдержку иохлаждение до герметизации токоввода,причем в качестве токопроводящего элемента используют металлический стержень(2,Недостатком известного способа является невозможность обеспечения герметичности токоввода при большом числепроводников.Цель достигается тем, что по способуизготовления ге рметизированного токоввода, включающему размещение токопроводящего элемента в отверстии фланца,заполнение полости отверстия стеклопорошком, расплавление стеклопорошка, выдержку и охлаждение до герметизациитоковвода, в качестве токопроводящего элемента используют керамический стерженьна боковую поверхность которого вдоль образующих нанесены полосковые проводники, стеклопорошок выбирают состава,мас, о :РЬО 56-58ЕпО 14,0-15,5ВгОз 14-17Сиг 03 5,5-8,0Я 10 г -,сА 1 гОз 1,5 - 3,5,а выдержку осуществляют не более 15 минв атмосфере паров состава, мас,о ;Я 1 С 14 38-49СЦС 4 31 - 34НгО 20-28,Керамические стержни, на боковую поверхность которых вдоль образующих нанесены полосковые проводники, в качестветокопроводящих элементов ранее не использовались, а применялись в качествепассивной части гибридных интегральныхсхем.Стеклопорошок состава, мас, о ;Я 10 г 3 - 4РЬО 56 - 58ВгОз 14-17А 1 гОз 1,5-3,5 Сцг 0 5,5-6,02 пО 14,0-15,5описан в АУЭ 0.027.056,ТУ.П р и м е р 1. Герметизированный токо 5 ввод изготавливают путем размещения токопроводящего элемента в отверстиифланца, в качестве токопроводящего элемента используют керамические стержни изматериала ВК 94 - 1 (60 х 15) с полосковыми10 и роводн иками, (ширина проводни ка 100мкм, расстояние между проводниками 200мкм, количество проводников 100 шт.), Фланец изготовлен из титана марки ВТ,0, Нанесение стеклопорошка, мас, о :15 Я 10 г 3РЬО 56ВгОз 14А 1 гОз 3,5СОгО 820 ЕпО 15,5на токопроводящий элемент и в отверстиефланца ведут методом трафаретной печати,а после их соединения проводят выдержкупри температуре плавления стеклопорошка25 (500 С) в атмосфере паров, мас.о :Я 1 С 4 38СоС 1 г 34НгО 28Перевод ЯС 4, СвС 1 г в парообразное со 30 стояние осуществляют распылением этихсоединений с последующей подачей в зонуоплавления стеклопорошка,Время обработки составляет 15 мин.После термообработки ведут охлаждение до35 комнатной температуры, Составы компонентов парогазовой смеси и стеклопорошкауказаны в табл.1.П р и м е р ы 2 - 12 ведут аналогичнопримеру 1 с изменением соотношения ком 40 понентов стеклопорошка и парогазовойсмеси (см,табл, 1). Результаты испытанийгерметизированных токовводов приведеныв табл. 2.Испытания токоввода на герметичность45 проведены согласно ОСТ 4 ГО 073,212-85"Микросборки корпусные" ОТУ, Испытанияна гидролитическую стойкость проведенысогласно ГОСТ 10134-82. Испытания напроверку сопротивления изоляции прово 50 дили согласно ГОСТ В 21269-75,Таким образом, заявляемый способ позволяет получить токоввод с герметичностью, в 2 - 3 раза превышающейаналогичный показатель прототипа, при55 большем числе проводников (до 100), соп ротивлением изоляции 5,9 10 Ом, гидролитиюческой стойкостью 1 класс,Формула изобретенияСпособ изготовления герметиэированного токоввода, включающий размещение1767585 РЬ - 56,0 - 58,0;2 п 0 - 14,0 - 15,5;В 203 - 14,0 - 17,0;Сц 20 - 5,5 - 8,0;5102 - 3,0 - 4,0;А 1203 - 1,5 - 3,5,а выдержку осуществляют не более 15 минв атмосфере паров состава, мас, о:ЯС 14 - 38 - 49;Со С 12 - 31 - 34;Н 20 - 20-28. токопроводящего элемента в отверстие фланца, заполнение полости отверстия стеклопорошком, расплавление стеклопорошка, выдержку и охлаждение до герметизации токоввода, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения герметичности при большем числе проводников, в качестве токопроводящего элемента используют керамический стержень, на боковую поверхность которого вдоль образующих нанесены полосковые проводники, стекло- порошок выбирают состава, мас.%: 10 Составы парогазовой смеси и стеклопорошковТаблиа лица 1Парогазовая смесь, масФ состав Стеклопорошок, мас.2п 2 Состав 3102РЬОА 1 зозСцзо3,5 8,0 Компонент 1 В,П,ВСС 1 38 42 49 1 3,0 56 14 15,5 34 33 31 228 25 20 4,0 58 1,5 5,5 14,0 но Табли а 2 Время обработки парогазовойсмесью, мин Состав парогазовой смеси Состав стеклопорошкаУдельное объемное сопротивле" ние, хх Ом см Количество Герметичность,проводников, Нэ Па сшт, х Класс гидролитической стойкости ххх 100 оо оо Оо Оо 3 1 2 3 2 3 оо 100 аа 100 1 Оа оо оо По прототипу СЦ 84-1 сц 84 1100 х - 5,6 10 Вмэ Па с согласно ОСТ 4 ГО 073 212-85хх - не менее 00 Иом согласно ГЕО 364 012 ТУххх - 1 класс согласно АУЭО 027 056 ТУ Составитель Е,КолпаковТехред М,Моргентал Корректор Н,Ревская Редактор Заказ 3553 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород. ул,Гагарина, 101 15 15 15 8 25 25 15 15 15 25 25 25 12,6 1012,7 1 аг о-"1,8 О11,91 О12 1 О11,7 а114 1012 1 1 О1,8 о11,9 1012 1 а113 108710 10 Го6,2 105,9 1 О5,7 О"5,810 о5,81 О5,9 о5,67 1 аф6,0 1 оф5,7 о"5,8 о"5,8 10 о6,2 1 Ов20 1 О