173607

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 01.1 Ч.1964 (ЛЪ 892122/26-10)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 21.Ч 11.1965, Бюллетень1Дата опубликования описания 21.1 Х.1965 Кл, 570, 5,ПК 603 Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССРУДК 778.111.(088 8) Г. А. ШаУлицкий Авторы изобретения ин, И. И. Ефименк обков, Г. М. Велев и А. РВ П Н Цент ныи научно-исследовательски и организации произво нститут технол а аявител йС 1.,.11),г 1, иОТОУСТАНОВКА ПЕЧАТИ КОПИЙ КОПИРОВА ДЛЯ КОНТА Подгисная гру(та И 235 Известны копировальные фотоустановки для контактной печати копий с разных негативов на одну общую подложку с оптическим совмещением по одной точке или с совмещением по механическим меткам при изготовлении совмещенных негативов или печатных схем,Предложенная фотоустановка позволяет повысить производительность труда и улучшить качество продукции, причем все узлы для выполнения отдельных операций размещены в одном корпусе и связаны одним общим узлом управления. В корпусе описываемого устройства размещены узел установки негативов, выполненный в виде нескольких поворотных координатных столов, положение которых фиксируется в зоне узла совмещения и в зоне экспонирования, манипулятор, установленный на горизонтальной плите, перемещающейся в призматических направляющих в зону предварительной установки подложки, и снабженный перемещающимся в любом направлении координатно-поворотным столом, соединенным посредством шаровой опоры с магнитным столом, предназначенным для закрепления вспомогательного стола-спутника, узел предварительной установки, узел точного совмещения рельефа негатива и подложки и осветительный блок для экспонирования, Узел точного совмещения снабжен двухканальной оптической системой, в поле зрения окуляра которой одновременно видны два различных участка совмещаемой поверхности и совмешение производится по двум удаленным точкам.На чертеже дана схема описываемой фотоустановки.Узел точного совмещения представляет собой оптическую систему, состоящую пз двух 10 ооьективов 1, удаленных друг от друга на25 - 30 ил, двух осветителей 2 отраженного света, двух преломляющих призм 3, складывающей призмы 4, окуляра 5 с разделенным полем зрения.15 Узел установки негативов состоит нз координатных столов б с негативами 7, закрепленными на поворотном диске 8, который через фрикционную муфту 9 и редуктор 10 приводится во врашенне электродвигателем 11.20 Фиксация положения столов б после поворота на 180 осуществляется клиновым фиксатором 12, ролик И которого обкатывается по кулачковому диску 14, сидящему на валу редуктора 15,25 Вспомогательный стол-спутник 1 б, предназначенный для грубой ориентации полупроводниковой пластины по рискам, для закрепления пластины при совмещении и прижима пластины к негативу после совмещения при ЗО экспонировании, состоит пз стального основания с рисками, имеющего канал вакуумногоприсоса пластины.Манипулятор, предназначенный для перемещения вспомогательного стола-спутника относительно негатива, состоит из координатно-поворотного стола 17 с призматическими шариковыми направляющими и дифференциальными винтами 18, вертикально перемещающегося в призматических шариковых направляющих ползуна 19 (перемещение ползуна осуществляется с помощью винта 20), шаровойопоры 21 с зажимом 22 и электромагнитногостола 23 для закрепления стола-спутника (бпри совмещении. Манипулятор установлен нагоризонтально перемещающейся в призма. 5тических шариковых направляющих плите 24,которая фиксируется конусными фиксаторами 26 с помощью ручки 26 в двух крайних поло:кениях.Осв:тительпый блок для экспонирования 20состоит из ультрафиолетовой лампы 27 с отражателем 28, вентилятора 29, конденсора 30,затвора "1 и зеркала 32,Все узлы и механизмы размещены в корпусе 33 и связаны между собой общей системой 25управления (на чертеже не показано),На стол-спутник 16, установленный на магнитном столе 23:манипулятора и находящийся под лупой 3 ч и зеркалом 36 узла предварительного совмещения, помещают полупро- ЗОводниковую пластинку, покрытую светочувствительным слоем, и производят грубое совмещение по рискам на спутнике и на пластине (получение первого рельефа на пластинепроизводится без совмещения). 35 С помощью ручки 26 передвигают манипулятор под негатив, в начале движения манипулятора автоматически включается вакуумный присос и пластинка закрепляется на сто ле-спутнике 16. В конце движения манипулятор фиксируется под негативом 7 поворотом ручки 26. Посредством вращения винта 20 ползун 19 со столом 23, столом-спутником 16 и установленной на нем пластинкой переме шается вверх до полного контакта поверхностей пластины и негатива. Шаровая опора 21 обеспечивает параллельность поверхностей пластины и негатива, что фиксируется ручкой зажима 22. С помощью координатных диффе ренциальных винтов 18 и винта поворота 36 при наблюдении в оптическую систему узла точного совмещения перемещают пластину до точного совмещения установочных отметок на ней и негативе. Включают вакуумный присос для прижима стола-спутника 16 к негативу 7, при этом автоматически отключается магнит стола 23. Вращением винта 20 опускают магнитный стол с ползуном вниз до упора.Нажатием кнопки включают электродвигатель 11 на поворот диска 8 узла негативов на экспонирование. При этом негатив 7 с совмещенной пластиной и столом-спутником 16 перемещается в зону экспонирования, а второй негатив поступает на манипулятор. При достижении конечного положения автоматически открывается затвор 31 узла экспонирования и включается магнитный стол манипулятора. Величина экспозиции определяется реле времени. По окончании экспонирования затвор автсматически закрывается и загорается световое табло, разрешающее следующий поворот узла установки негативов.Негатив со столом-спутником 16 и проэкспонированной пластиной после поворота останавливается над манипулятором. Вращением винта 20 сгсл 23 подиимают до соприкосновения со столом-спутником 16, отключают вакуумный присос и вновь опускают стол 23 со столом-спутником вниз до упора. Ручкой 26 перемещают манипулятор под лупу 34 узла предварительного совмещения. При этом вакуумный присос автоматически отключается. Пластина снимается и передается на следующую операцию. Затем все операции повторяются.Предм ет изобретен н я1. Копировальная фотоустановка для контактной печати копий с разных негативов на одну оощую подложку при массовом изготовлении совмещенных негативов или печатных схем, ст.гичающаяся тем, что, с целью повышения производительности труда и улучшения качества продукции, в одном корпусе размещены узел установки негативов, выполненный в виде нескольких поворотных координатных столов, положение которых фиксируется в зоне узла совмещения и в зоне экспонирования, манипулятор, установленный на горизонтальной плите, перемещающейся в призматических направляющих в зону предварительной установки подложки, и снабженный перемещающимся в любом направлении координатно-поворотным столом, соединенным посредством шаровой опоры с магнитным столом, предназначенным для закрепления вспомогательного стола-спутника, узел предварительной установки, узел точного совмещения рельефа негатива и подложки и осветительный блок для экспонирования, причем все узлы фотоустановки связаны с одним общим узлом управления.2. Фстсустановка пс п. 1, от,гичаюигаяся тем, что, с целью повышения точности совмещения рельефа негатива и подло.кки ири минимальных затратах зремени по двум удаленным друг от друга точкам, узел точного совмещения снабжен двухканальной сптической системой, в поле зрения окуляра которой одновременно видны два различных участка ссвмещаемой поверхности.