Патенты с меткой «173607»

Номер патента: 173607

Опубликовано: 01.01.1965

Авторы: Белевич, Ефименко, Неробков, Улицкий, Шапкин

МПК: H05K 3/12

Метки: 173607

...в призма. 5тических шариковых направляющих плите 24,которая фиксируется конусными фиксаторами 26 с помощью ручки 26 в двух крайних поло:кениях.Осв:тительпый блок для экспонирования 20состоит из ультрафиолетовой лампы 27 с отражателем 28, вентилятора 29, конденсора 30,затвора "1 и зеркала 32,Все узлы и механизмы размещены в корпусе 33 и связаны между собой общей системой 25управления (на чертеже не показано),На стол-спутник 16, установленный на магнитном столе 23:манипулятора и находящийся под лупой 3 ч и зеркалом 36 узла предварительного совмещения, помещают полупро- ЗОводниковую пластинку, покрытую светочувствительным слоем, и производят грубое совмещение по рискам на спутнике и на пластине (получение первого рельефа на...