Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка

(19) (11) 51)5 6 01 В 11/24 САНИЕ К АВТ икладно еритвльвано для о контросоидов, в ными оттроении, ие точновой пучок.поверхителем и ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР МУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Государственный институт пр й оптики(56) Пуряев Д.Т.,Методы контроля оптических асферических поверхностей. М,: Машиностроение, 1976, с. 123, рис. 54.Духопел Иг.И Качкин С.С., Чунин Б.А,Изготовление и методы контроля асферических поверхностей. Л.: Машиностроение, 1975, с,. 80-82, рис. 64, 65.(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВТОРОГО ПОРЯДКА(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля вогнутых параболоидов и эллипсоидов, в том числе с большими относительными отверстиями, в оптическом приборостроении. Цель изобретения - повышение. точности контроля. Оптическая система интерферометра позволяет направить в раИзобретение относится к изм ной технике и может быть использо технологического и аттестационног ля вогнутых параболоидов и эллип том числе с большими относитель верстиями, в оптическом приборос Цель изобретения - повышен сти контроля. Это достигается тем, что свето направляется на контролируемую ность дополнительными светоделЕТЕ Н ИЯр бочую ветвь световой пучок после однократного отражения от контролируемой поверхности. Это дает возможность исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами контролируемой поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей. Световой пучок от источника 1 монохроматического излучения разделяется светоделителем 2 на два пучка. Из прошедшей части пучка объектив 6 формирует плоский эталонный фронт, который после прохождения свето- делителя 7 попадает в объектив 8 блока регистрации интерференционной картины, Отраженная светоделителем 2 часть пучка после отражения от зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождения диафрагмы 13 попадает на контролируемую деталь 15, после отражения от детали 15 излучение падает на свето- делитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты до пол. учения интерференционной картиныпо которой судят о качестве контролируемой поверхности детали 15, 2 ил. фокусирующим объективом с диафрагмой, установленной в его заднем фокусе. Это позволяет направить световой пучок после однократного отражения от контролируемой поверхности в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей,5 10 15 20 25 30 35 40 45 На фиг. 1 изображена оптическая схема интерферометра для контроля вогнутых параболоидов; на фиг. 2 - схема рабочей ветви интерферометра для контроля вогнутых эллипсоидов.Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, светоделитель 2 для разделения излучения на две ветви - рабочую иэталонную, последовательно установленные по ходу прошедшего светоделитель 2 излучения фокусирующий объектив 3, диафрагму 4, плоское зеркало 5, объектив 6 для формирования плоского эталонного волнового фронта, светоделитель 7 для совмещения эталонного и контролируемого волновых фронтов, блок регистрации интерференционной картины, состоящий из объектива 8, диафрагмы 9 и фотоприемного устройства 10, и размещенные по ходу отраженного светоделителем 2 излучения плоское зеркало 11, второй фокусирующий объектив 12, диафрагму 13, установленную в заднем фокусе объектива 12, объектив 14, установленный с возможностью вывода из хода лучей.Интерферометр работает следующим образом.Световой пучок от источника 1 монохроматического излучения частично проходят светоделитель 2, частично им отражается, Прошедшая часть пучка направляется объективом 3 в диафрагму 4 и после отражения от зеркала 5 попадает в объектив 6, формирующий плоский эталонныйволновой фронт, После прохождения светоделителя 7 эталонный волновой фронт попадает в объектив 8 блока регистрации интерференционной картины, Отраженная светоделителем 2 часть пучка после отражения от плоского зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождения диафрагмы 13 падает на контролируемую деталь 15.При контроле параболоидов объектив 14 выведен из рабочей ветви интерферометра, Контролируемый параболоид 15 установлен так, что его фокус Г совмещен с диафрагмой 13, а ось параболоида параллельна оптической оси рабочей ветви интерферометра. После отражения от контролируемого параболоида 15 волновой фронт падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты, Интерферирующие волновые фронты попадают затем во входной объектив 8 блока регистрации, в котором по анализу интерференционной картины судят о качестве контролируемой поверхности 15.При контроле эллипсоидов объектив 14 введен в рабочую ветвь интерферометра, Контролируемый эллипсоид 15 установлен так, что один из его фокусов Г 2 совмещен с диафрагмой 13, а другой фокус Р 1 - с фокусом объектива 14. Далее контролируемый волновой фронт, пройдя объектив 14, падает на светоделитель 7 и интерферирует с эталонным волновым фронтом, Качество контролируемой поверхности определяется как и при контроле параболоидов,Формула изобретения Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу лучей фокусирующий объектив, диафрагму, объектив, предназначенный для формирования эталонного волнового фронта, размещенный так, что его передний фокус совмещен с диафрагмой, и светоделитель, предназначенный для совмещения эталонного и контролируемого волновых фронтов, и расположенный в выходном пучке блок регистрации интерференционной картины, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен вторым светоделителем, установленным между источником излучения и фокусирующим объективом, и размещенными по ходу отраженных вторым светоделителем лучей вторым фокусирующим объективом и второй диафрагмой, установленной в заднем фокусе второго фокусирующего объектива,/О тор С. Шевкун СостТехр Фе Ред ж Подписное омитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ С осква, Ж, Раушская наб., 4/5 зводственно-издательский комбинат "Патент", г, Уж ул, Гагарин 528 Т ИИПИ Государственно113035 ль В. Фео,ктиМоргентал