Способ получения интерферограммы для контроля качества линз и объективов

РФЕРОЧЕСТВА ерительконтроля повыше- достигаелен н,ых т о качестве контроает бус в ниэовлено претаммы с ений в объекинте рогра скаж емого кар олир на. не емого сущности получени я качеств освещаю имированОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПОПР ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ И ГКНТ СССРОПИСАНИЕ ИЗОБ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Сибирский физико-технически . тут им. В,Д,Кузнецова при Томском ственном университете им, В.В,Ку .(72) В.Г.Гусев. (56) Мигну М.ЧЯ.К. Арр. Ор 1. 19 р. 1146,Авторское свидетельство ССС ЬЬ 1512275, кл. 6 01 В 9/02, 20.10.8 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИНТЕ ГРАММЫ.ДЛЯ КОНТРОЛЯ КА ЛИНЗ И ОБЪЕКТИВОВ(57) Изобретение относится к изм ной технике и предназначено для качества линз и объективов, Цельние точности и чувствительности - ется исключением ошибок, обусло Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля качества линз и:объективов и.может найти применение в производстве, занятом их.из- готовлением., Известен способ полученйя интерферограммы для контроля качества линз и объективов, по которому сходящийся квази- сферический волновой фронт, сформированный контролируемым объектом, направляют к центру его кривизны, совмещенному с интерферометром Майкельсона из двух прямоугольных поизм, с помощью которого разделяют. волновой фронт на два фронта и проводят. сдвиг между, ними для получения. интерферограммы бокового(51)5 6 01 В 11/24 9/О фазовыми искажениями фронта волны освещения. Освещают диффузный рассеиватель пространственно-ограниченным пучком когерентного излучения, записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта со значением 1 фокусного расстояния голограммы Фурье рассеивателя с помощью коллимированного опорного пучка, осуществляют смещение рассеивателя в его плоскости и изменение угла падения огорного пучка, повторную запись голограммы Фурье рассеивателя и проведение фильтрации полученной двухэкспозиционной голограммы до получения интерферограммы контроля. Освещение рассеивателя производят расходящейся сферической волной с радиусом В кривизны фронта в плоскости рассеивателя К = 1 /( - 1), где- расстояние от главной плоскости контролируемого объекта до регистрирующей среды, 1 ил,сдвига, по которой судя лируемого объекта.Недостаток способа заключ кой точности контроля, что о ошибками, возникающими при ции регистрируемой интерфе целью определения фазовых и фиксируемой точке контролиру та, так как интерференционная сопряжена со зрачком контр объекта,Ближайшим по технической предлагаемому является спосо интерферограммы для контро линз и обьективов, по котором диффузный рассеиватель кол5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 ным пучком когерентного излучения, записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта с заданным значением 1 фокусного расстояния голограмму Фурье рассеивателя с помощью коллимированного опорного пучка, смещают рассеиватель в его плоскости и изменяют угол падения опорного пучка на регистрирующую среду от 01 до Ж согласно соотношению а = 1(зи 61 - зи й), где а - величина смещения рассеивателя, и проводят фильтрацию полученной "двухэкспозиционной голограммы до получения интерферограммы контроля,Недостаток способа - низкая точность контроля. Это объясняется тем, что фазовые искажения фронта волны освещения диффузного рассеивателя суммируются с фазовыми искажениями за счет волновых аберраций контролируемого объекта на регистрируемой интерферограмме бокового сдвига, по которой судят о качестве контролируемого объекта,Цель изобретения - повышение точности и чувствительности контроля.Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемом способе освещают диффузный рассеиватель пространственно-ограниченным пучком когерентного излучения, записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта.со значением 1 фокусного расстояния голограмму Фурье рассеивателя с помощью коллимированного опорного пучка, осуществляют смещение рассеивателя в его плоскости и изменение угла падения опорного пучка, вновь записывают голограмму Фурье рассеивателя и проводят фильтрацию полученной двухэкспозиционной голограммы до получения интерферограммы контроля.- В отличие от известного способа освещение рассеивателя осуществляют расходящейся сферической волной с радиусом В кривизны фронта в плоскости рассеивателя Й = 1 /( - 1), где- расстояние от главной плоскости контролируемого объекта до регистрирующей среды,В предлагаемом способе возможность достижения положительного эффекта с физической точки зрения обеспечивается созданием условий получения анаберрационного волнового фронта сферической формы в плоскости диффузного рассеивателя и получения при этом интерферограммы бокового сдвига в диффузно рассеченных полях на основе записи голограммы Фурье.На чертеже изображена схема устройства, реализующего способ. Устройство включает когерентный источник 1 света, светоделитель 2, линзу 3, пространственный фильтр 4, матовое стекло 5 с механизмом 6 его сдвига, узел 7 крепления контролируемого объекта, фотопластинку 8, зеркало 9, блок 10 формирования и наклона коллимированного опорного пучка,Способ выполняют следующим образом.Когерентное излучение от источника 1 с помощью линзы 3 и пространственного фильтра 4 в виде непрозрачного экрана с точечным отверстием, расположенного в фокальной плоскости линзы 3, трансформируется в анаберрационный сферичный волновой фронт освещения матового стекла 5. С помощью контролируемого объекта, находящегося в узле 7 крепления, в плоскости фотопластинки 8 получают Фурье-образ диффузно-рассеянного матовым стеклом 5 поля при выполнении условия, что радиус кривизны фронта расходящейся сферической волны в плоскости матового стекла 5 равен В = т-/( - ф, где- фокусное расстояние контролируемого объекта,- расстояние от, его главной плоскости до плоскости фотопластинки 8. С помощью сформированного в блоке 10 коллимированного опорного пучка из луча, отразившегося от светоделителя 2 и зеркала 9, проводится запись голограммы Фурье за время первой экспозиции. Перед второй экспозицией смещают с помощью механизма б сдвига матовое стекло 5 в его плоскости и изменяют угол падения опорного коллимированного пучка согласно соотношению зи 61 - 3 и 6 = аЮ где а - величина сдвига матового стекла 5, причем (зи 61 - зи 6) б/2, где с - диаметр апертуры контролируемого обьекта,Записанную таким образом двухэкспозиционную голограмму Фурье восстанавливают либо коллимированным пучком и проводят пространственную фильтрацию дифракционного поля с помощью непрозрачного экрана с круглым отверстием, расположенного в плоскости голограммы, либо неразведенным лазерным пучком, и регистрируют интерферограмму бокового сдвига в плоскости бесконечной ширины в дальней зоне дифракции, Проведение пространственной фильтрации в различных точках голограммы обеспечивает возможность контроля по полю,Подвергнутое испытаниям устройство обеспечивает повышение точности контроля при одновременном повышении его чувствительности, что имеет важное значениедля применения в науке и технике.1712779 Составитель В. Клим Кобылянская Техред М.МоргенталРедактор Корректор Э, Лончак аз 528 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 1 Формула изобретенияСпособ получения интерферограммы для контроля качества линз и объективов, заключающийся в том, что освещают диффузный рассеиватель пространственно-ог раниченным пу.чком когерентного излучения, записывают на регистрирующей среде посредством контролируемого объекта со значением 1 фокусного расстояния голограмму Фурье рассеивателя с 10 помощью коллимированного опорного пучка, осуществляют смещение рассеивателя в его плоскости и изменение угла падения опорного пучка, вновь записывают голограмму Фурье рассеивателя и проводят фильтрацию полученной двухэкспозиционной голограммы до получения интерферограммы контроля, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точною сти и чувствительности контроля, освещение рассеивателя осуществляют расходя щейся сферической волной с радиусом В кривизны фронта в плоскости рассеивателя й = Р/( - ф, где - расстояние от главной плоскости контролируемого объекта до регистрирующей среды.