Способ контроля формы вогнутых эллиптических поверхностей

(5 Ц 5 6 11 2 ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИЯ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ В(57) Изо ной техн контроле эллипти тение по анализа помощь состоящ а, Осве тсти проикачествезеркалонавливаюруемойфокусом(56) Пуряев Д,Г. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М Машиностроение, 1976, с. 101-104.Кривовяз Л.М., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптическойизмерительной лаборатории. М.; Машиностроение,1974, с. 100-101,(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВОГНУТЫХ ЭЛЛИПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми эллиптическими поверхностями.Известен способ контроля. вогнутых эл- липтических поверхностей, в котором контролируемую эллиптическую поверхность освещают из дальнего ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей. Затем посередине между фокусами устанавливают полупрозрачное зеркало.Лучи, отраженные от полупрозрачного зеркала, создают эталонный волновой фронт, Лучи, прошедшие через полупрозрачное зеркало, отраженные от контролируемой поверхности и вторично прошедшие через полупрозрач 1 ное зеркало создают анализируемый волнот вой фронт,Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ контроля вогнутых бретение относится к измерительике и может быть использовано при оптических деталей с вогнутыми ческими поверхностями, Изобрезволяетупростить контроль путем интерференционной картины с ю автоколлимационной системы, ей из эллиптической пОверхности огательного оптического элеменщение эллиптической поверхнозводят из ее ближнего фокуса, вкоторого используют плоское с центральным отверстием и устат его посередине между контроли-поверхностью и дальним ее . 1 ил. эллиптических поверхностеи, в котором сначала подбирают вспомогательное сферическое зеркало в зависимости от параметра и эксцентриситета эллиптической поверхности, вспомогательное сферическое зеркало устанавливают соосно с эллиптической поверхностью и совмещают его центр кривизны с ближним к эллиптической поверхности ее фокусом. Затем эллиптическую поверхность освещают из ее дальнего фокуса гомоцентрическим пучком лучей и по отраженному последовательно эллиптической поверхностью и вспомогательным сферическим зеркалом волновому фронту судят о форме контролируемойповерхности,Недостатком этого способа является наличие операции подбора вспомогательного сферического зеркала к каждой контролируемой эллиптической поверхности в зависимости от параметра и эксцентриситета последней.1712777 50 Цель изобретения - упрощение контро-ля вогнутых эллиптических поверхностей.Поставленная цель достигается тем, чтоусовершенствуется способ контроля вогнутых эллиптических поверхностей, заключающийся в том, что контролируемуюповерхность освещают из ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей, устанавливаютвспомогательный оптический элемент перпендикулярно оси излучения, регистрируют 10отраженный волновой фронт, по которомусудят о форме контролируемой поверхности,Освещение контролируемой поверхности производят из ее ближнего фокуса, в 15качестве вспомогательного оптическогоэлемента используют плоское зеркало сцентральным отверстием и устанавливаютего посередине между койтролируемой поверхностью и дальним ее фокусом, 20На чертеже изображена схема.реализующая способ контроля вогнутой эллиптической поверхности с помощью неравноплечего интерферометра.Схема контроля включает лазер 1, расширитель лазерного излучения 2, светоделитель 3, эталонное зеркало 4, первыйобъектив 5, контролируемую поверхность 6,плоское зеркало 7, объектив 8, экран 9.Контроль вогнутой эллиптической поверхности осуществляется следующим образом,Излучение лазера 1 преобразуется вширокий пучок с помощью расширителя 2.Светоделитель 3 делит пучок параллельных 35лучей на два, один из которых направляется на эталонное плоское зеркало 4, а другой преобразуется первым объективом 5 вгомоцентрический пучок, Контролируемую деталь 6 устанавливают так, что ближний к ней фокус Ег совмещают с центромгомоцентрического пучка (с задним фокусом первого объектива 5), Затем располагают посередине между контролируемойдеталью 6 и дальним ее фокусом Е 1 перпендикулярно оси излучения отражающую поверхность плоского зеркала 7. Оптические элементы 6 и 7 образуют автоколлимационную схему. Лучи, выходящие из Е 2 падают на контролируемую поверхность 6, после отражения от нее направляются в фокус Е 1. Плоское зеркало 7 собирает лучи в вершине (на чертеже точка Е 1 ) контролируемой поверхности. Лучи после отражения от плоской и контролируемой поверхности собираются в фокус Е 2 и преобразуются первым объективом 5 в параллельный пучок, Второй объектив 8 строит изображение контролируемой поверхности в плоскости экрана 9 и проецирует в ту же плоскость другой пучок от эталонного зеркала 4. На экране 9 наблюдают интерференционную картину, по которой судят о форме контролируемой поверхности 6.Предлагаемый способ контроля вогнутых эллиптических поверхностей по сравнению с прототипом исключает необходимость при изготовлении очередной эллиптической поверхности с другими параметрами и эксцентриситетом подбирать или изготавливать снова вспомогательный сферический элемент и тем самым обеспечивает уменьшение числа вспомогательных сферических элементов.Формула изобретения Способ контроля формы вогнутых эллиптических поверхностей, заключающийся в том, что контролируемую поверхность освещают из ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей, устанавливают вспомогательный оптический элемент перпендикулярно оси излучения, регистрируют отраженный волновой фронт., по которому судят о форме контролируемой поверхности, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью упрощения контроля, освещение поверхности производят из ее ближнего фокуса, в качестве вспомогательного оптического элемента используют плоское зеркала с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контролируемой поверхностью и дальним ее фокусом,1712777 0 3 5 едактор М, Васильев каз 528 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиямпри ГККТ С 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Составитель Ю. Ко Техред М,Моргента атов Корректор Э. Лончаков