Способ изготовления записывающей головки струйного типа

Номер патента: 1688113

Авторы: Аксенов, Гусарь, Дунаев, Щекина, Юношев

ZIP архив

Текст

СООЗ СОВЕТСКИХСО ИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1)5 б 01 О 15/ ГОСУДАРСТВЕЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сь 00. 5 еае 1, Ю 11 огп В. ВочсЬег апО Рао Н.Мес 1 е 1 аоб, 33-37.(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАПИСЫВАЮЩЕЙ ГОЛОВКИ СТРУЙНОГО ТИПА(57) Изобретение относится к приборостроению, а именно к способам изготовления Изобретение относится к приборостро-. ению, а именно к способам изготовления элементов конструкции регистрирующих устройств.Цель изобретения - повышение производительности и ускорение процесса изготовления.На фиг, 1 показана записывающая головка, общий вид; на фиг, 2 - разрез А-А на фиг, 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг, 1; на фиг. 4 - 8 - последовательность изготовления многофункциональнойй пластины.При изготовлении подложек 1 с резистивными нагревательными элементами 2 используется ситаловая пластина, на которую напыляют тонкие пленки резистивного и проводникового материала, Методом фотолитографии формируют нагревательные элементы (резисторы) и проводники,При изготовлении многофункциональной пластины 3 заготовку вырезают из бронзовой фольги, обезжиривают венской 431688113 А струиных пишущих головок. Цель изобретения - упрощение процесса изготовления, Для достижения цели пластину 3 с соплами изготавливают из бронзовой фольги, в которой первым процессом фотолитографии формируют сквозные и глухИе отверстия 4 и 5 соответственно, вторым процессом фотолитографии формируют маску, через которую, осаждая медь, получают выступы и наносят защитное покрытие, Полученную заготовку совмещают и склеивают с подложкой, в которой выполнены резистивные нагревательные элементы. 8 ил. известью. декапируют в 1 О;(,-ном растворе соляной кислоты и наносят фоторезист на обе стороны заготовки методом окунания. Экспонирование осуществляют через совмещенныйый пакет шаблонов (двухстороннее совмещение и экспонирование), После проявления засвеченного слоя фотореэиста и термического задубливания производят травление бронзовой фольги в селективном травителе. По окончании травления снимают фоторезист. На полученной заготовке со сквозными отверстиями 4 и глухими отверстиями 5 после проведения повторной очистки проводят вторую фотолитографию, для чего наносят с двух сторон фоторезист и попеременно совмещают и экспонируют фоторезистивную маску 6 под коллектор 7 и выступы 8 на всех модулях групповой обработки. После формирования фоторезистивной маски 6 проводят гальваническое наращивание меди, получая при этом коллектор 7 и выступы 8. Затем фотореэистудаляют и наносят защитное гальваническое покрытие 9 из никеля. Проверенные под микроскопом многофункциональные пластины 3 совмещают и склеивают с подлоой 1.Формула изобретения Способ приготовления записывак)- щей головки струйного типа, при котором изготавливают подложку с реэистивными нагревательными элементами и многофункциональную пластину из заготовки с последующим соединением их между собой,отличающийся тем,что,сцелью повышения производительности и ускорения процесса изготовления, заготовку пластины получают из бронзовой фольги, методом фотолитографии формируют в за готовке сквозные и глухие отверстия, затемповторной фотолитографией формируют фоторезистивную маску, по которой методом гальванического наращивания формируют выступы иэ меди. после чего удаляют 10 фоторезистивную маску и проводят защитное гальваническое наращивание никеля на всю поверхность многофункциональной пластины.Фиг 9 Фи Составитель Г. Загубныйехред М.Моргентал Корректор М. Шароши едактор М. Циткина роиэводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 10 аказ 3703 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5

Смотреть

Заявка

4708694, 21.06.1989

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4149

АКСЕНОВ АНАТОЛИЙ АФАНАСЬЕВИЧ, ГУСАР ЮРИЙ СЕРГЕЕВИЧ, ДУНАЕВ БОРИС НИКОЛАЕВИЧ, ЩЕКИНА ТАМАРА АНАТОЛЬЕВНА, ЮНОШЕВ СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01D 15/18

Метки: головки, записывающей, струйного, типа

Опубликовано: 30.10.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1688113-sposob-izgotovleniya-zapisyvayushhejj-golovki-strujjnogo-tipa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления записывающей головки струйного типа</a>

Похожие патенты