Устройство для неразрушающего контроля электрофизических характеристик магнитных пленок

ГОСУДАРСТ 8 ЕН 1 ЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ(56) 1 ЕЕЕ Тгапз оп Мадп ч. МА 6-18, М 6,1982; 1.1. - Яц, ап 6 Рах 1 оп "йар 16 ап 6попбегзтгцстцге п 1 еазцгеаептз о 111 еап 1 зотгор йе 16 1 и ЬцЬЬ 1 е дагпе 1 бп 1 з. 541 УСТРОЙСТВО ЛЛЯ НЕРАЗРУШАЮШЕГО КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для неразрушающего контроля параметров магнитных пленок. Цель иэоИзобретение относится к области электроизмерений и может быть использовано в электронной и радиотехнической промышленности для нераэрушающего контроля основных параметров магнитных пленок, используемых для производства запоминающих устройств вычислительной техники,Целью изобретения является расширение функциональных воэможностей устройства эа счет одновременного измерения как эффективного поля аниэотропии, так и гиромагнитного отношения с использованием одного резонатора,Цель изобретения достигается тем, что в устройстве цилиндрический СВЧ-резонатор, помещаемый во внешнее магнитное поле так, что ось цилиндра совпадает с направлением поля электромагнита, выпол 1666994 А бретения - расширение функциональных возможностей устройства за счет возможности измерения гиромагнитного отношения и величины поля аниэотропии с помощью одного резонатора, Устройство содержит СВЧ-резонатор цилиндрической формы, источник постоянного магнитного поля, причем ось цилиндрического резонатора совпадает с направлением магнитного поля, кассету для размещения подложки и кассеты для размещения магнитной пленки. Толщина кассет для пленки выбирается иэ условий получения ферромагнитного резонанса на заданной частоте. Применяя две кассеты с различной толщиной можно определить гиромагнитное отношение и величину поля аниэотропии пленки. 4 ил,нен составным из цилиндрического корпуса, кассеты для подложки и двух сменных кассет для образца, являющихся съемными торцовыми стенками резонатора, скрепляемыми с корпусом резонатора по направляющим, при этом длины сменных кассет 11 и 2 определяются из условия возникновения ФМР на рабочих частотах.Устройство засчет использования сменных кассет разной длины позволяет осуществить регистрацию ферромагнитного резонанса на двух частотах с последующим расчетом эффективного поля анизотропии Нфф и гиромагнитного отношения у по формулам1666994 И( йб 2 т 1Н 2 - Нгде б, Ь - частота СВЧ;Н 1, Н 2 - величина полей ФМР на частотах соответственно б и 12.На фиг. 1, 3 представлена конструктивная схема предлагаемого устройства; на фиг. 2, 4 - конструкция кассеты.Устройство содержит цилиндрический резонатор 1, размещенный между полюсами 2 источника постоянного магнитного поля так, что ось цилиндра совпадает с направлением постоянного магнитного поля. Резонатор 1 состоит из цилиндрического корпуса 3, к которому по направляющим 4 с одной стороны устанавливается кассета 5 для подложки, а с другой - поочередно две кассеты 6 для образца, являющиеся одновременно его торцовыми стенками.На фиг. 2 представлена конструкция кассеты 6, внутри которой выполнен паэ 7 для образца, содержащая основание 8 .и крышку 9, скрепленные между собой винтами 10. Конструкция данной кассеты обеспечивает локальность измерений через отверстие 11 основания. Основание кассеты 8 является рабочей частью резонатора 1:. Длина основания меняется в зависимости от рабочих частот.Устройство работает следующим образом.В кассету 5 для подложки помещают подложку и устанавливают с одного торца резонатора 1. В кассету 6 для образца с 1 помещают исследуемую магнитную пленку на подложке, и кассету скрепляют с корпусом резонатора 3 по направляющим 4 с другого торца.Проводят регистрацию спектра ферро 5 магнитного резонанса на одной частоте ,Вынимают кассету 6 для образца с и на ееместо устанавливают кассету 6 гдля того жеобразца с 12 и снова проводят измерения начастоте б.10 Меняя длину резонатора сменной кассетой для образца. можно регистрироватьспектры ферромагнитного резонанса надвух частотах и определить эффективное поле анизотропии и гиромагнитное отноше 15 ние одним резонатором,Формула изобретения Устройство для неразрушающего контроля электрофизических характеристик маг нитных пленок, содержащее источникпостоянного магнитного поля и СВЧ-резонатор цилиндрической формы с продольной осью, совпадающей с направлением магнитного поля источника постоянного маг нитного поля, и установленные в пазы напротИвоположных торцах цилиндра подложку и пленку на подложке, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства 30 за счет измерения эффективного поля магнитной аниэотропии и гиромагнитного отношения, резонатор снабжен сьемной кассетой для подложки и двумя съемными кассетами для магнитной пленки с подпож кой, установленными в пазы корпуса.1666994 Составитель А.РомановТехред М.Моргентал Корректор В,Гирняк едактор Н.Коляда оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 1 каз 2521 Тираж 423 Подписное 8 НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж, Раушская наб., 4/5