Устройство для охлаждения микроэлектронных узлов

ОЮЗ СОВЕТСНИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСН 91 Б 614 УБЛИ 3 34 7/20, Н н МИТЕТТНР 11 ТИЯМ ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ЭОБРЕТЕНИЯ ЕЛЬСТВУ АВТОРСН(56) Патент США Кф 4498851,кл. Н 04 В 35/04, 1986.Авторское свидетельство СССРУ 1540050, кл,. Н 05 К 7/20,Н 04 В 35/04, 1981.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯМИКРОЭЛЕКТРОННЫХ УЗЛОВ(57) Изобретение может быть использовано для охлаждения полупроводниковых приборов. Цель - улучшение массогабаритных характеристик и повышениеплотности компоновки и монтажа. Устройство содержит биморфный пьезокерамический вибровозбудитель 1, выенны ласт овани по шипопа одам жения резо 7 изплен ти тине 3 8 для ример, аждаяаправй те ым уз- пласт ИСАНИЕ И виде двух пьезокерамичек 2, соединенных между собои пластиной 3 из металл разованием основания и поля ных по толщине в одном напр с электродами, разделенными рине на несколько частей 4,5 но подключенных к разным вых двухфазного источника 6 напр Устройство имеет пластинчаты наторы в виде гибких пластин металла, установленных и зак ных на основании со стороны 3 перпендикулярно ей, На пла имеется установочная площадка микроэлектронного узла 9, нап полупроводникового прибора. К гибкая пластина 7 формирует н ленный поток воздуха, отводящ ло, выделяемое микроэлектронн лом 9 и поступающее на гибкие нычерез пластину 3. 2 илИзобретение относится к охлаждаюЫнм устройствам и наиболее эффективйо может быть использовано для охлаждения полупроводниковых приборовв вычислительной и радиоэлектронной5технике.Цель изобретения - улучшение массогабаритных характеристик и повыШение плотности компоновки и монтажа.На фиг.1 показано устройство дляОхлаждения; на фиг.2 - эпюры колеба. -ний основания устройства охлаждения.Устройство для охлаждения содержит биморфный пьезокерамический виб 1)овозбудитель 1, выполненный в видедвух пьезокерамических пластинок 2,соединенных между собой пластиной 3гз металла с образованием основанияполяризованных по толщине в одномн аправлении, с электродами, разделеными по ширине на несколько частейи 5, попарно подключенных к разнымвыходам двухфазного источника напряжения б. соответственно, и пластинатые резонаторы в виде гибких пластни 7 из металла, которые установленыЙ закреплены на основании со стороныразмещения его пластины 3 из металлаПерпендикулярно ей, причем основаниецыполнено с установочной площадкой8 для размещения микроэлектронногоузла 9, напримерполупроводниково, го прибора, которая расположена напластине 3 из металла основания би 35Морфного пьезокерамического вибро.возбудителя 1,Устройство для охлаждения микроэлектронных узлов работает следующимобразом.40Подача переменного напряжения наэлектроды 4 и 5 пьезокерамическихпластинок 2 вызывает колебательныедвижения частей электродов 4 и 5 в 45противоположных фазах. Фазы колебаний частей электродов 4 также, каки частей электродов 5 обоих пьезокерамических пластинок 2 совпадают,так как обо указанные пластинки 250поляризованы по толщине в одном на-правлении, Это приводит к изгибу пла-;стины 3 из металла основания биморфного пьезокерамического вибровозбудителя 1, Формы которого в противопо 55ложных фазах показаны на эпюрах(Фиг,2 а,б). Передняя часть пластины3 из металла на эпюрах показана прямой линией, так как неподвижно прикреплена к корпусу микроэлектронного узла 9. При резонансной частоте по гибким пластинкам 7 пластинчатых резонаторов, выполняющих Функцию ребер охлаждения, из-за колебания основания формируется бегущая волна. Колеблющаяся свободная концевая часть гибких пластинок , перемещаясь влево по своей правой стороне, образует вакуум, куда всасывается воздух и формируется воздушный вихрь. Концевая часть гибких пластинок 7, перемещаясь вправо, отталкивает этот вихрь, формируя другой по свой левой стороне. Таким образом, каждая гибкая пластинаформирует направленный поток воздуха, отводящий тепло, выделяемое микроэлектронным узлом 9 и поступающее на гибкие пластины 7 через пластину 3 основания биморфного пьезокерамического вибровозбудителя 1.Формула изобретенияУстройство для охлаждения микроэлектронных узлов, содержащее биморфный пьезокерамический вибровозбудитель, выполненный в виде двух пьезокерамических пластинок, соединенных между собой с образованием основания с установочной площадкой и поляризованных по толщине в одном направлении, с электродами, разделенными на несколько частей, которйе попарно подключены к разным. выходам двухфазного источника напряжения, соответственно, и пластинчатый резонатор, выполненный в виде гибкой пластины из металла и соединенный с биморфным пьезокерамическим,вибровозбудителем, о т - л и ч а ю щ е е с я тем,. что, с целью улучшения массогабаритных характеристик и повышение плотности компоновки и монтажа, оно снабжено дополнительными и пластинчатыми резонаторами идентичными основному, а основание биморфного пьезокерамического вибровозбудителя снабжено пластиной из металла, установленной на нем и соединенной с его пьезокерамическими пластинками, причем гибкие пластины основного и дополнительных пластинчатых резонаторов закреплены на основании биморфного пьезокерамического вибровозбудителя со стороны его пластины из металла перпендикулярно плоскости размещения укаэанной пластины,5 1 д 14148 6 а части электродов биморфного пьеэо- щих электродов, при этом установочкерамического вибровоэбудителя рас- ная площадка основания расположена положены по ширине их соответствую- на его пластине из металла.Составитель А.Поповаедактор Л,Пчолинская Техред Л,Олийнык Корректор С,Черни аказ 3900 Тираж 693 Подписное НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгородгарина,101