Способ определения толщины и показателя; преломления тонких пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 104005
Автор: Карасев
Текст
СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУВ. В. КарасевОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯТОНКИХ ПЛЕНОК влено 16 февраля 1951 г, за05692(443362 а Гостекн Предметом изобретения является способ непрерывного измерения толшины и показателя преломления тонких пленок, нанесенных на металлах цли диэлектриках, основанный на определении величины эллиптичности отраженного (поляризованного) света. Для определения указанных величин в предлагаемом способе, измерение отношения амплитуд слагающих вектора и сдвига фаз отраженного поляризованного света производится одновременно и сведено к одной операции.На фиг, 1 показан первый вариант (автоматический) применения способа, на фиг. 2 - второй вариант ),обращенная схема), отличающийся от первого тем, что источник света и фотоэлектронный умножитель поменялись местами.Сущность способа заключается в том, что монохроматический свет от источника Я) (фцг. 1), пройдя через щель А, неподвижцый поляризатор (поляроид) Ркомпенсатор К (например, пластинку в )/., волны) и линзу 1, падает на исследуемую пленку Т и, отразившись от нее, проходит через вращающийся поляризатор Р деполяризатор Ор и падает на катод фотоэлектронного умножителя фЗУ. Фототок после усилителя поступает ца логометр Ь,), При прохождении через вращающийся поляризатор свет при определенном положении компенсаторг, устанавливаемого прп помощи модулятора М и устройства Й (последнее - необязательно), модулируется, причем модуляция светового потока достигает 100 7 о.Для определения азимута поляризации слукит источник белого света 5 лучи которого проходят через жестко связаш)ый с компецсатором К поляроид Р (а также поляроид Р.,), вращавшийся поляроид Р, ц падаю; на катод Фотоэлектронного умножитсля (или Фотоэлемента ФЗУ, соответственно фотоумножителя ФЗУ-З), Когда плоскости колебания поляроидов Р, ц Рсовпадают, то мскду фототоками в Фотоуможитслях (или Фотоэлементах) нет сдвига фаз. Когда поляроид Ра поворачивается, то между Фототокамц возникает сдвиг фаз, равцьш углу поворота плоскости поляризации. Сдвиг фаз измеряется логометром Е (типа фазометра). Для определения отцо 1 цения амплитуд применяется второй логометр Е,А, также типа фазомстра.Вместо схем с поляооцдом Р., может оыть применена схема с электромагнитным генератором (жестко связанным с осью вращающегося поляризатора Р.), ток от которого поступает в логометр Ел и модулятор М.Установка компенсатора К может производиться и вручную.Существующие способы измерения указанных параметров тонких пленок не позволяют производить измереиия достаточно быстро, не ооеспечивают автОматизации процесса, тогда как предлагаемый способ обеспечивает непрерывное наблюдение за изменением толщины пленки и непрерывную запись показаний поляризатора и анализатора и поэтому может найти,применение в лабораторной практике.П р едм ет из об р етени я 1. Способ определения толщины ипоказателя преломления тонких пленок, основанныи на измерении сдвига фаз и азимута поляризации отраженного от пленки поляппзованногомонохроматического света, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения непрерывности измерений, устанавливают на максимум создаваемой вращающимся поляризатором модуляции пластинку в 5 волны, являющуюся компенсатором.2, Способ по п. 1 с применением для измерения азимута поляризации логометра типа фазометра, о т л ич а ю щи й ся тем, что, с целью получения непосредственного отсчета азимута поляризации, в логометр подают ток от фотоэлемента, освещаемого светом, прошедшим через поляроид и вращающийся поляризатор,
СмотретьЗаявка
443362, 16.02.1951
Карасев В. В
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06, G01N 21/21, G01N 21/43
Метки: пленок, показателя, преломления, толщины, тонких
Опубликовано: 01.01.1956
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-104005-sposob-opredeleniya-tolshhiny-i-pokazatelya-prelomleniya-tonkikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины и показателя; преломления тонких пленок</a>
Интерференционный способ измерения показателя преломления диэлектрических пленок переменной толщины
Номер патента: 737817
Опубликовано: 30.05.1980
МПК: G01N 21/46
Метки: диэлектрических, интерференционный, переменной, пленок, показателя, преломления, толщины
...того, уточняющим признаком способа является то, что изменение угла падения освещающего пленку пучка осуществляют в плоскости, параллельной ингерференционным полосам в пленке и перпендикулярной ее поверхности.В этом случае наблюдаемое изменение ширины полосы полностью обуславливается изменением угла падения световых лучей на пленку и не требуетсявведения дополнительных поправок, учитывающих проекционные искажения интерференционной полосы.Способ позволяет определить показатель преломления в пленках переменной толщины не измеряя оптическую толщину пленки ни в одной ее точке. Однако, если оптическая тблщина пленки иэвестна в какой-нибудь ее точке с погрешностью не превышакщей величины, соответствующей одному порядку интерференции...
Устройство для автоматического измерения малых толщин пленок
Номер патента: 104007
Опубликовано: 01.01.1956
Автор: Карасев
МПК: G01B 11/06, G02B 27/28
...переменная составляющая фототока будет скомпенсирована.На вторую обмотку логометра подается ток, питающий синхронный электродвигатель, который вращает второй поляризатор, В результате, отраженный от пленки свет, пройдя через пластинку 10 четверть волны, плоско поляризуется, причем азимут поляризации зависит от толщины пленки.Плоско поляризованный свет, пройдя третий вращающийся поляризатор 11 и второй деполяризатор 12, поступает на второй фотоэлектронный умножитель 1 З. Одновременно на третий фотоэлектронный умножитель 14 поступает свет, не отраженный от пленки и прошедший через третий поляризатор, второй деполяризатор и четвертый поляризатор 15, установленный так, чтобы переменные составляющие фототоков в обоих фотоумножителях были бы...
Осветитель с регулируемой степенью поляризации света
Номер патента: 699466
Опубликовано: 25.11.1979
Авторы: Абаскин, Афанасенко, Ксанфомалити, Пеньковский, Хамелин
МПК: G02B 27/28
Метки: осветитель, поляризации, регулируемой, света, степенью
...6 укреплен лимб 7,Пластинка 6 создает сдвиг фаз 8 == 23 (П По )4,1 /Л между компонентами поляризованного света для каждойэлементарной длины волны света, прощед 66 4щего через фильтр 3, Перед поляризатором 4 установлен преобразователь состояния поляризации света в виде двух,одинаковых по толщине 4 плоскопараллельных двулучепредомляюши пластинок8, 9, оптические оси которых параллельны их плоскостям и составляют между собой угол 45 . Непосредственно за пооляризатором установлен с воэможностьювращения как относительно поляризатора4, так и совместно с ним, дополнитель 1ный преобразователь состояния поляри- .зации света 1 0 в ниде плоскопараллельной двулучепреломляюшей пластинки толшиной дз из одноосного кристалла с двойным преломлением...
Способ получения пленки заданной толщины
Номер патента: 1583736
Опубликовано: 07.08.1990
Автор: Трунов
МПК: G01B 11/06
Метки: заданной, пленки, толщины
...В процессе напыления этот коэффициент ступенчато уменьшаютчерез равные интервалы времени на постоянную величину, Определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца. Для этого пучок, отраженный От участка П 1, с по мощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, Отраженный От участка П 2 с помощь)о зер кала 8 через светоделитель 5, При нулевой разностй фаз напыление прекращают, ПО )О параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю Оптическую толщину пленки, По расчетным формулам определяют коэффициент модуляции 15 при напылении на кОнтрольный Об)азец и подложку, Осуьцествля)от напыление вещества НЯ...
Способ получения пленки заданной толщины
Номер патента: 1583737
Опубликовано: 07.08.1990
Автор: Трунов
МПК: G01B 11/06
Метки: заданной, пленки, толщины
...модулированным потоком ВеществаОпределяют разность фаэ пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца Для этого пучок, отраженный от участка П 1, с помощью светоделителя 5 на" правляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от. участка П 2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напылениепрекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модулирования принапылении на контрольный образец и подложку. Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец,имеющий два участка. С помощью светоделителей 2 и 3 и...
Предыдущий патент: Пневматический влагомер с регулятором влажности бумаги
Следующий патент: Дериватор призматический
Случайный патент: Способ дистанционного измерения относительного перемещения