Раствор для травления сплавов

ОЮЭ СОВЕТСКИК ОЦИАЛИСТИЧЕСН РЕСПУБЛИН А 1 Р 10 ЗОБРЕТЕН ПИСА АВТОРСКОМ Сочетание хлорикислоты применялос меди и солянойранее для травлеплавов,ся к химическо зобретение относ равлению металло вьта и сплавов снове коб ния алюминияСостав 1 ВХлорид меСоляная кХлорид аммОкись медиВодаКоличеств егХ а тности сплавов ь использованй электронно 0-40 слотаония 10-15Остальн ьш -авления и умя рельефных яной ки пред- разствор содер л с 0-5 2-4 3-5 15-2 Ост аль Изобретение м ровано следуюш люсттабл.жет быть про ми примерами ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССРВ 1127914, кл. С 23 Р 1/00, 1984,Авторское свидетельство СССРВ 526652, кл. С 09 К 13/00, 1976.(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ СПЛАВОВ(57) Изобретение относится к химическому травлению металлов и сплавов, вчастности никеля и кобальта. Целью и никеля, и может бытв производстве изделитехники.Целью изобретения являетчение скорости трние растравливанитов по контуру.Предлагаемый рамас.7:Азотная кислота(д 1,38 г/см ) 4Хлорид медиЩавелевая кислотаСоляная кислота(д = 1,18 г/см )Вода изобретения является увеличениескорости травления и уменьшение растравливания рельефных элементов.Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля содержит,(д 1,18 г/см ) 15-25; вода остальноеВведение таких компонентов, как щавелевая кислота и хлорид меди повышает скорость травления и уменьшаетрастравливание рельефных элементовпо контуру, 2 табл,гаемом и известном растворчно. В известном составе аморфныйплав не травится.Сочетание азотной кислоты и шаве"вой кислоты применялось для травлея сплавов серебра.Состав, вес.3;Азотная кислота 20-35Глицерин 0,05-0,1Щавелевая кислота 15-25Диэтиленгликоль 0,05-0,1Вода Остальное1468967 Из вышеизложенного можно заключить, что применение предлагаемого электролита позволяет улучшить свойства травления сплава, увеличить скорость травления, обеспечить точное воспроизведение изображения схемы и снизить трудоемкость за счет уменьшения времени травления. формула изобретения Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля, содержащий смесь неорганических кислот, органическую кислоту и воду, о т л и ч а - ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения скорости травления и уменьшения растравливания рельефных элементов по контуру, он дополнительно содержит хлорид меди, а в качестве неорганических кислот и органической кислоты - соответственно смесь азотной с соляной и щавелевую кислоту при следу ющем соотношении компонентов, мас.й:Азотная кислота(6=1,18 гсм ) 15-25 Шавелевая кислота 3-5Хлорид меди 2-4Вода Остальное Таблица 1 Рецептура предла- Состав, вес.й по примерам гаемого раствора1 2 3 4 5 Азотная кислотаХлорид медиЩавелевая кислотаСоляная кислотаВодаХарактеристика полученных результатов 35 . 40 48 551 2 3 42 3 4 510 15 17 2552 40 28 11Защитное Зашитное покрытиепокры- не нарушено. Хинитие мальная ширина элеслегка мента 50/1 ОО мкмнару- шено та Количество азотной и щавелевой кислоты отличается от предлагаемого. В указанном растворе травление аморфного сплава не происходит. 5Сочетание азотной и соляной кислоты применялось для травления металлов преимущественно напыленной структуры ванадий - медь - никель, Количество азотной и соляной кислот от О личается от предлагаемого.Введение в раствор щавелевой кислоты позволяет сократить время травления и тем самым получить более качественное изображение. В известных 15 растворах для травления металлов щавелевая кислота выполняет роль буферирующей и ингибирующей добавки, В пред. лагаемом растворе она используется для интенсификации процесса травления 20 преимущественно кобальтового сплава.Хлорид меди способствует равномерному травлению. В данном растворе сочетание соляной кислоты с определенным количеством хлорида меди спо собствует образованию иона (СоС 1 ), оказывает смягчающее травящее действие на кобальтовый сплав 71 КНСР. Преимущества предложенного травителя представлены в табл.2 (травле"нию подвергали сплав 71 КНСР). 60 5 6 30 9 Защитное покрытие нарушено, произошел растрав элемен1468967 Таблиц а 2 Компоненты ипоказатели Предлагаемый Прототип 48 20 разрушается. Частичное нарушениезащитного слоя, преимущественно по кон" туру Растравливание элементов по контуру,мкм На 2-3 На 8-10 Составитель И.ПиоттухТехред М,Дидык Корректор О, Кравцова Редактор 1 ф.Бандура Заказ 1320/27 Тирак 938 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина101 Азотная кислотаСоляная кислотаСерная кислотаЩавелевая кислотаУксусная кислотаХлорид медиТрилон БФенилмочевинаВодаВремя травления, минСтойкость фоторезистапри травлении Не 34 16 18 0,7 0,3 31 17