Способ определения параметров шероховатости слабошероховатой поверхности и устройство для его осуществления

СОЮЗ СОВЕТСКИХсоциАлистическихРЕСПУБЛИК Ои 6779 Л 4 а 01 В ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ величение чув в ительнос ений по г за сч некту особе едения нз твенныи,Максимяк овато и поверхние, 1978,(54) СПО ШЕРОХОВА ВЕРХНОСТ ЩЕСТВЛЕ (57) Изоб тельной т зован ат Ои по ния явля:Вф ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТпО изОБРетениям и ОтнРытиямПРИ ГКНТ СССР(56) Дунин-Барковский ИИзмерения и анализ шерсволнистости и некруглосности. - И,: Иашинострос. 230. СОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОСТИ СЛАБОШЕРОХОВАТОЙ ПОИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУ НИЯ ретение относится к измериехнике и может быть исполья диагностики слабошерохоерхности, Целью изобретется повышение точности и нт енсивности излучения. В спустройстве, реализующем данныйпособ, для облучения объекта 7 поормали используется источник 1 вы кокогерентного излучения. В интерферометре Иайкельсона объектная иопорная волны строго соосно смешиваются на выходе интерферометра. Вдальнейшем изменяют разность ходаопорной и объектной волн, добиваясьнх противофазности, о чем судят поминимуму интенсивности результирующего поля. Измеряют однокоординатное распределение интенсивности вплоскости изображения объекта, интенсивность результирующего поля и опорного пучка, по которым судят о Функции распределения по высотам мюкронеровностей, а также о параметрахшероховатости слабошероховатой поверхности. 2 с.п. Ф-лы, 1 ил.3 145 рассчитывают корреляционные моменты фазы объектного поля третьего и четвертого порядков. В соотношениях (2) и (3) обозначение () означает усреднение, Ч (х,у) - локальное значение фазы объектного поля ФР средняя Фаза.По полученным значениям структурных параметров поверхности объекта можно судить о функции распределения по высотам неровностей спабошероховатой поверхности и определить параметры шероховатости поверхности (дисперсию, высоты, среднюю высоту неровностей и т,д,),формула из обрет ения Составитель В.Бахтин Техред М. Ходанич Редактор Г.Волкога Корректор Г.Решеткик Заказ 7494/38 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного коьытета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1. Способ определения параметров шероховатости слабошероховатой поверхности, заключающийся в том, что коллимированный пучок когерентного излучения разделяют на два пучка равной интенсивности, опорный и измерительный, освещают измерительным пучком исследуемую поверхность, совмещают отраженный от поверхности пучок с опорным, наблюдают интерференционные полосы и определяют параметры шероховатости, о т л и ч а ю " щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и увеличения чувстви" тельности, используют пучок линейно поляризованного когерентного излучения, пучки совмещают до исчезновения интерференционных полос, изменяют разность хода до получения минимальной интенсивности светового излучения по всей плоскости наблюдения, регистрируют суммарную интенсивность излучения .во всей плоское-. ти и однокоординатное распределение интенсивности, перекрывают измери" 6779тельный пучок, регистрируют интенсивность опорного пучка и по подученным данным рассчитывают параметры шероховатости,2. Устройство .для определения параметров шероховатости слабошероховатой поверхности, содержащее источник 10 когерентного излучения, расположенные последовательно по ходу излуче"ния коллиматор и светоделитель, делящий излучение на два пучка, опорныйн измерительный, отражатель, располо женный в опорном пучке, держательисследуемого объекта, расположенныйв измерительном пучке, и Фотоприемник с диафрагмой, расположенной вобласти формирования интерференцион ной картины, о т, л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения точностии увеличения чувствительности, оноснабжено четвертьволновой пластинкой, расположенной между светоделите лем и отражателем и ориентированнойтак, что ее оптическая ось образуетугол 45 с плоскостью поляризацииизлучения, пьезокерамической подвижной, расположенной в,опорном пучке 30 и скрепленной с отражателем, последовательно расположенными между светоделителем и фотоприемником поляризатор ом, апертур ной ди афр агмой объ ектив о м,установленным таким образом,что плос кость держателя объекта и плоскостьфотоприемника оптически совмещены, идополнительным светоделителем, дополнительным Фотоприемником с диафрагмойрасположенным по ходу отражен ного от светоделителя излучения, установленным в плоскости, оптическисопряженной с плоскостью держателяобразца, и выполненным с возможностьюперемещения в зтой ппоскости.