Способ измерения функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности

(19) (11) В 11/30 ОМИТЕТОТКРЫТИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ двтосному свидятельствм(56) Танащук Н.П. Новый оптическийметод определения функции распределения микроплощадок шероховатой поверхности по направлениям, - В кн.;Фотометрия и ее метрологические(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ФУНКЦИИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ УГЛОВ НАКЛОНА ИИКРОНЕРОВНОСТЕЙ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ(57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретенияявляется повышение . точности и рас,ширение пределов измерений функциираспределения углов наклона микронеровностей, размеры которых сравни 8789Бюпе Р 5ицкий государственный мы с длиной волны, за счет устранения влияния дифракционного уширенияпучков излучения, отраженных от микроппощадок, Для этого формируют коллимированный пучок когерентного излучения от источника 1 излучения.Посредством четвертьволновой пластин"ки 3 и поляризатора 4 создают плоскость колебаний в пучке под углом0 ( М(90 к плоскости падения пучка, отраженное от объекта 12 излучение проецируют объективом 5 черезполяризатор 6 в плоскость диафрагмы7, эа которой расположены электрооптический модулятор 8 и фоторегистратор 9. В выделенной диафрагмой 7зоной корреляции посредством поляризатора 6 и модулятора 8 определяютповорот азимута поляризации в этойзоне. Сканируя изображение, определяют массив значений Е, по которому рассчитывают функцию распределе-.ния углов наклона микроплощадок шероховатой поверхности. 1 ил.1456778 20= атсз Изобретение относится к измерительной технике и может быть.исполь.зовано для исследования структурышероховатых поверхностей диэлектри"ков, мета лов, полупроводников, атакже н оптике рассеивающих сред,приборостроении и других отрасляхнауки н техники.Целью глзобретения является повышеиге гочности, а также расширение пре"делон измерения функции распределе-.ггня углов наклона микронеровностей,размеры которых сравнимы с длинойволны Л, за счет устранения влияния дифракционного уширения пучковизлучения, отраженных от микроплощадок,На чертеже приведена схема уст"ройств;., реализующего способ.Устройство содержит источник 1излучения, коллиматор 2, четвертьволновую пластинку 3, поляризатор 4,объектив 5, поляризатор 6, диафрагма 7, электрооптический модулятор 8,фотоэлектрический блок 9 регистрации, устройство О связи с объектом,гликроЭВМ 11, исследуемый объект 12,Способ осущестгляется следующимобразом.,Из когерептного излучения от источника 1 с помощью коллиматора 2Формируют Ьолну с плоским волновггмФронтом, Получают с помощью четнертьволновой пластинки 3 циркулярную поляризацию излучения и, пропуская его через поляризатор 4, формируют плоскость колебаний световойоволны под углом О с 3 ГС 90 к плоскости падения. Освещают волной иссле" дуемую поверхность и проецируют объективом 5 изображение этой поверхности в плоскость полевой диафрагмы 7, пропуская при этом излучение через поляризатор б. Размер диафрагмы 7 выбирают равным порядка 0,1 части размера зоны корреляции в когерентном изображении шероховатой поверхности. С помощью системы поляроид С - электрооптический модулятор 8 добиваются получения минимального сигнала и определяют неличину поворота азимута поляризации световых колебаний выделенной зоны корреггяции где 1 - угловой отсчет поляризационно-,измерительного устройства,Далее путем сканиронания полу Гченного когерентного изображения выделяется новая зона корреляции итаким .зараз м определяют массив значений Я поворотов плоскости поляризации н зонах корреляции полученно го когерентного из ображеггия шероховатой поверхности, Иолученный массивнакапливают н памяти устройства 1 О связи с м.кроЗВ 1"1 11 и путемстатистической обработки на ЭВ 11 определяют функцию распределения микроплощадок шероховатой поверхности поуглам наклона " по формуле7а 1:яе, ;г,г 1ал , +аеГЯЕ.+ а,г:с. + али - показатель гтреломления ве щестн а исследуемой шерохо ватой поверхности,а Ф45 формула г.з тения Спос гб измерения Функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой погерхности, з ахлючающийся в том,что освещают исследуемую поверхность линейно поляризованной волной с плоским Фронтом когерентного излучения, регистрируют отраженное излучеггне и по его воляризационнсй характеристике судят о функции распределения углов наклона гликронеровностей, о т л н ч а ю щ н й с я тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измеренийСоставитель В,БахтинТехред М. Хода нич Корректор Л, Пилипенко Редактор ГВолке "а Заказ 7494/38 Тираж 683 Подписное ВНИИ 11 И Государственного комитета по иэобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113635, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-нолиграФическое предприятие, г. ужгород, ул. Проектная, 4 з 1456778Функций распределения углов наклона регистрации отраженного излучения микроплощадок, размеры которых срав- Формируют изображение исследуемой понимы с длиной волны, освещение осу- верхности и выделяют в нем эоны корреществляют волной, плоскость колеба- . ляции, а в качестве поляризационной ний в которой составляет угол характеристики выбирают азимут полярно оО ЗВ(90 с плоскостью падения, при зации излучения в зоне корреляции,